SiC-pinnoite on ohut kerros suskeptoriin kemiallisen höyrypinnoitusprosessin (CVD) kautta. Piikarbidimateriaali tarjoaa useita etuja piihin verrattuna, mukaan lukien 10-kertainen sähkökentän voimakkuus, 3-kertainen kaistaväli, joka tarjoaa materiaalille korkean lämpötilan ja kemiallisen kestävyyden, erinomaisen kulutuskestävyyden sekä lämmönjohtavuuden.
Semicorex tarjoaa räätälöityä palvelua, auttaa sinua innovoimaan pidempään kestävillä komponenteilla, lyhentämään kiertoaikoja ja parantamaan tuottoa.
SiC-pinnoitteella on useita ainutlaatuisia etuja
Korkean lämpötilan kestävyys: CVD SiC -pinnoitettu suskeptori kestää korkeita lämpötiloja jopa 1600 °C:een ilman merkittävää lämpöhajoamista.
Kemiallinen kestävyys: Piikarbidipinnoite tarjoaa erinomaisen kestävyyden monenlaisille kemikaaleille, mukaan lukien hapot, emäkset ja orgaaniset liuottimet.
Kulutuskestävyys: SiC-pinnoite tarjoaa materiaalille erinomaisen kulutuskestävyyden, mikä tekee siitä sopivan sovelluksiin, joihin liittyy suurta kulumista.
Lämmönjohtavuus: CVD SiC -pinnoite antaa materiaalille korkean lämmönjohtavuuden, mikä tekee siitä sopivan käytettäväksi korkeissa lämpötiloissa, jotka vaativat tehokasta lämmönsiirtoa.
Suuri lujuus ja jäykkyys: Piikarbidilla päällystetty suskeptori tarjoaa materiaalille korkean lujuuden ja jäykkyyden, joten se sopii sovelluksiin, jotka vaativat suurta mekaanista lujuutta.
SiC-pinnoitetta käytetään erilaisissa sovelluksissa
LED-valmistus: CVD SiC -pinnoitettua suskeptoria käytetään erilaisten LED-tyyppien, mukaan lukien sininen ja vihreä LED, UV-LED ja syvä-UV-LED, valmistuksessa korkean lämmönjohtavuuden ja kemiallisen kestävyyden vuoksi.
Matkaviestintä: CVD SiC -pinnoitettu suskeptori on tärkeä osa HEMT:tä GaN-on-SiC-epitaksiaalisen prosessin loppuunsaattamiseksi.
Puolijohteiden käsittely: CVD SiC -pinnoitettua suskeptoria käytetään puolijohdeteollisuudessa erilaisiin sovelluksiin, mukaan lukien kiekkojen käsittely ja epitaksiaalinen kasvu.
SiC-pinnoitetut grafiittikomponentit
Valmistettu Silicon Carbide Coating (SiC) -grafiitista, pinnoite levitetään CVD-menetelmällä tiettyihin korkeatiheyksisten grafiittien laatuihin, joten se voi toimia korkean lämpötilan uunissa yli 3000 °C:ssa inertissä ilmakehässä, 2200 °C:ssa tyhjiössä. .
Materiaalin erikoisominaisuudet ja pieni massa mahdollistavat nopeat lämmitysnopeudet, tasaisen lämpötilan jakautumisen ja erinomaisen hallinnan tarkkuuden.
Semicorex SiC Coatingin materiaalitiedot
Tyypillisiä ominaisuuksia |
Yksiköt |
Arvot |
Rakenne |
|
FCC β -vaihe |
Suuntautuminen |
Murto-osa (%) |
111 mieluummin |
Bulkkitiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Lämpökapasiteetti |
J·kg-1 ·K-1 |
640 |
Lämpölaajeneminen 100-600 °C (212-1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngin moduuli |
Gpa (4 pt bend, 1300â) |
430 |
Jyvän koko |
μm |
2~10 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Lämmönjohtokyky |
(W/mK) |
300 |
Johtopäätös CVD SiC -pinnoitettu suskeptori on komposiittimateriaali, jossa yhdistyvät suskeptorin ja piikarbidin ominaisuudet. Tällä materiaalilla on ainutlaatuisia ominaisuuksia, kuten korkea lämpötilan ja kemikaalien kestävyys, erinomainen kulutuskestävyys, korkea lämmönjohtavuus sekä korkea lujuus ja jäykkyys. Nämä ominaisuudet tekevät siitä houkuttelevan materiaalin erilaisiin korkean lämpötilan sovelluksiin, mukaan lukien puolijohdekäsittely, kemiallinen käsittely, lämpökäsittely, aurinkokennojen valmistus ja LED-valmistus.
Semicorex Support Crucible on keskeinen komponentti monimutkaisessa aurinkopiikiteiden kasvuprosessissa, ja se toimii vankana perustana raaka-aineiden muuntamiselle korkealaatuisiksi aurinkosovelluksiin tarkoitettuiksi piiharkoiksi. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Barrel Susceptor SiC Coating -pinnoitteella on huippuluokan ratkaisu, joka on suunniteltu lisäämään piin epitaksiaalisten prosessien tehokkuutta ja tarkkuutta. Tämä piikarbidipinnoitteella varustettu tynnyrisuskeptori on valmistettu huolella yksityiskohtiin, ja se on räätälöity vastaamaan puolijohteiden valmistuksen vaativiin vaatimuksiin. Se toimii optimaalisena kiekkojen pidikkeenä ja helpottaa lämmön saumatonta siirtymistä kiekkoihin. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Barrel For Silicon Epitaxy on suunniteltu täyttämään Applied Materials ja LPE-yksiköiden vaativat vaatimukset. Tämä tynnyrin muotoinen suskeptori on valmistettu tarkasti ja innovatiivisesti, ja se on valmistettu korkealaatuisesta piikarbidilla päällystetystä grafiitista, mikä varmistaa poikkeuksellisen suorituskyvyn ja kestävyyden silikoniepitaksisovelluksissa. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Graphite Susceptor SiC Coating -pinnoitteella on olennainen komponentti, joka on suunniteltu piiepitaksiprosesseihin Applied Materials- ja LPE (Liquid Phase Epitaxy) -yksiköissä. Tämä piikarbidilla (SiC) päällystetystä korkealaatuisesta grafiittimateriaalista valmistettu suskeptori takaa erinomaisen suorituskyvyn ja pitkäikäisyyden puolijohteiden valmistusympäristöissä. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex CVD SiC Coated Barrel Susceptor on huolellisesti suunniteltu komponentti, joka on räätälöity edistyneisiin puolijohteiden valmistusprosesseihin, erityisesti epitaksiin. Tuotteillamme on hyvä hintaetu ja ne kattavat suurimman osan Euroopan ja Amerikan markkinoista. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Barrel Susceptor Silicon Carbide Coated Graphite on erikoiskomponentti, joka on suunniteltu käytettäväksi epitaksiprosessissa, erityisesti kiekkojen kuljettamisessa. Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja siitä, kuinka voimme auttaa sinua puolijohdekiekkojen käsittelytarpeissasi.
Lue lisääLähetä kysely