Semicorex-grafiittikeskilevy tai MOCVD-suskeptori on erittäin puhdasta piikarbidia, joka on päällystetty kemiallisella höyrypinnoitusmenetelmällä (CVD), jota käytetään prosessissa epitaksiaalisen kerroksen kasvattamiseen kiekon sirulle. SiC-pinnoitettu suskeptori on olennainen osa MOCVD:tä, joten se vaatii erinomaista lämmön- ja kemikaalinkestävyyttä sekä korkeaa lämpötasaisuutta. Suunnittelimme erityisesti näitä vaativia epitaksilaitesovelluksia varten.
SiC-pinnoitetut grafiitti-MOCVD-suskeptorit ovat keskeisiä komponentteja, joita käytetään metalliorgaanisissa kemiallisissa höyrypinnoituslaitteissa (MOCVD), jotka vastaavat kiekkosubstraattien pitämisestä ja lämmittämisestä. Ylivoimaisen lämmönhallintansa, kemiallisen kestävyytensä ja mittastabiiliutensa ansiosta SiC-pinnoitettuja grafiitti-MOCVD-suskeptoreita pidetään optimaalisena vaihtoehtona korkealaatuiseen kiekkosubstraattien epitaksiaan. Kiekkojen valmistuksessa MOCVD-teknologiaa käytetään rakentamaan epitaksiaalisia kerroksia kiekkosubstraattien pinnalle, valmistautuen kehittyneiden puolijohdelaitteiden valmistukseen. Koska useat tekijät vaikuttavat epitaksiaalisten kerrosten kasvuun, kiekkosubstraatteja ei voida sijoittaa suoraan MOCVD-laitteistoon pinnoitusta varten. SiC-pinnoi......
Lue lisääLähetä kyselySemicorex 6 "kiekkojen haltijat ovat korkean suorituskyvyn kantoaalto, joka on suunniteltu sic-epitaksiaalisen kasvun tiukkojen vaatimusten vuoksi. Valitse Semicorex vertaansa vailla olevan materiaalin puhtauden, tarkkuustekniikan ja todistettujen luotettavuuden suhteen korkean lämpötilan, korkean tuoton sic-prosesseissa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex MOCVD -kiekon pidike on korvaamaton komponentti piikarbidin epitaksikasvussa, ja se tarjoaa erinomaisen lämmönhallinnan, kemiallisen kestävyyden ja mittavakauden. Valitsemalla Semicorexin kiekonpitimen parannat MOCVD-prosessiesi suorituskykyä, mikä johtaa korkeampiin tuotteisiin ja tehokkuuteen puolijohteiden valmistuksessa. *
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin kehittämä Semicorex MOCVD 3x2’’ Susceptor edustaa innovaation ja teknisen huippuosaamisen huippua, joka on erityisesti räätälöity vastaamaan nykyaikaisten puolijohteiden valmistusprosessien vaativiin vaatimuksiin.**
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Coating Ring on kriittinen komponentti puolijohteen epitaksiprosessien vaativassa ympäristössä. Vankka sitoutumisemme tarjoamaan huippulaatuisia tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, olemme valmiita tulemaan pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin sitoutuminen laatuun ja innovaatioon näkyy SiC MOCVD -segmentissä. Mahdollistaa luotettavan, tehokkaan ja laadukkaan piikarbidin epitaksin, sillä on tärkeä rooli seuraavan sukupolven puolijohdelaitteiden ominaisuuksien kehittämisessä.**
Lue lisääLähetä kysely