SiC-pinnoite on ohut kerros suskeptoriin kemiallisen höyrypinnoitusprosessin (CVD) kautta. Piikarbidimateriaali tarjoaa useita etuja piihin verrattuna, mukaan lukien 10-kertainen sähkökentän voimakkuus, 3-kertainen kaistaväli, joka tarjoaa materiaalille korkean lämpötilan ja kemiallisen kestävyyden, erinomaisen kulutuskestävyyden sekä lämmönjohtavuuden.
Semicorex tarjoaa räätälöityä palvelua, auttaa sinua innovoimaan komponentteja, jotka kestävät pidempään, lyhentävät kiertoaikoja ja parantavat tuottoa.
SiC-pinnoitteella on useita ainutlaatuisia etuja
Korkean lämpötilan kestävyys: CVD SiC -pinnoitettu suskeptori kestää korkeita lämpötiloja jopa 1600 °C:een ilman merkittävää lämpöhajoamista.
Kemiallinen kestävyys: Piikarbidipinnoite tarjoaa erinomaisen kestävyyden monenlaisille kemikaaleille, mukaan lukien hapot, emäkset ja orgaaniset liuottimet.
Kulutuskestävyys: SiC-pinnoite tarjoaa materiaalille erinomaisen kulutuskestävyyden, mikä tekee siitä sopivan sovelluksiin, joihin liittyy suurta kulumista.
Lämmönjohtavuus: CVD SiC -pinnoite tarjoaa materiaalille korkean lämmönjohtavuuden, mikä tekee siitä sopivan käytettäväksi korkeissa lämpötiloissa, jotka vaativat tehokasta lämmönsiirtoa.
Suuri lujuus ja jäykkyys: Piikarbidilla päällystetty suskeptori tarjoaa materiaalille korkean lujuuden ja jäykkyyden, joten se sopii sovelluksiin, jotka vaativat suurta mekaanista lujuutta.
SiC-pinnoitetta käytetään erilaisissa sovelluksissa
LED-valmistus: CVD SiC -pinnoitettua suskeptoria käytetään erilaisten LED-tyyppien valmistuksessa, mukaan lukien sininen ja vihreä LED, UV-LED ja syvä-UV-LED, korkean lämmönjohtavuuden ja kemiallisen kestävyyden vuoksi.
Matkaviestintä: CVD SiC -pinnoitettu suskeptori on tärkeä osa HEMT:tä GaN-on-SiC-epitaksiaalisen prosessin loppuunsaattamiseksi.
Puolijohteiden käsittely: CVD SiC -päällystettyä suskeptoria käytetään puolijohdeteollisuudessa erilaisiin sovelluksiin, mukaan lukien kiekkojen käsittely ja epitaksiaalinen kasvu.
SiC-pinnoitetut grafiittikomponentit
Valmistettu Silicon Carbide Coating (SiC) -grafiitista, pinnoite levitetään CVD-menetelmällä tiettyihin korkeatiheyksisten grafiittien laatuihin, joten se voi toimia korkean lämpötilan uunissa yli 3000 °C:ssa inertissä ilmakehässä, 2200 °C:ssa tyhjiössä. .
Materiaalin erikoisominaisuudet ja pieni massa mahdollistavat nopeat lämmitysnopeudet, tasaisen lämpötilan jakautumisen ja erinomaisen hallinnan tarkkuuden.
Semicorex SiC Coatingin materiaalitiedot
Tyypillisiä ominaisuuksia |
Yksiköt |
Arvot |
Rakenne |
|
FCC p-vaihe |
Suuntautuminen |
Murto-osa (%) |
111 mieluummin |
Bulkkitiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Lämpölaajeneminen 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
Johtopäätös CVD SiC -pinnoitettu suskeptori on komposiittimateriaali, jossa yhdistyvät suskeptorin ja piikarbidin ominaisuudet. Tällä materiaalilla on ainutlaatuisia ominaisuuksia, kuten korkea lämpötilan ja kemikaalien kestävyys, erinomainen kulutuskestävyys, korkea lämmönjohtavuus sekä korkea lujuus ja jäykkyys. Nämä ominaisuudet tekevät siitä houkuttelevan materiaalin erilaisiin korkean lämpötilan sovelluksiin, mukaan lukien puolijohdekäsittely, kemiallinen käsittely, lämpökäsittely, aurinkokennojen valmistus ja LED-valmistus.
Semicorexin sic -epitaksiaalimoduuli yhdistää kestävyyden, puhtauden ja tarkkuustekniikan, joka on kriittinen komponentti sic -epitaksiaalisessa kasvussa. Valitse Semicorex vertaansa vailla olevaan laatuun päällystetyissä grafiittisatkaisuissa ja pitkäaikaisessa suorituskyvyssä vaativissa ympäristöissä.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Upper Half Moon on puolipyöreä sic-päällystetty grafiittikiekko-herkkä, joka on suunniteltu käytettäväksi epitaksiaalireaktoreissa. Valitse Semicorex teollisuuden johtavan materiaalin puhtauteen, tarkkuuskoneistoon ja yhtenäiseen sic-pinnoitteeseen, joka varmistaa pitkäaikaisen suorituskyvyn ja ylivoimaisen kiekkojen laadun.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex sic -päällystetyt kiekko-kantajat ovat CVD-piikarbidilla päällystettyjä korkeavarjoisia grafiittiherkkoja, jotka on suunniteltu optimaaliseen kiekkojen tukemiseen korkean lämpötilan puolijohdeprosessien aikana. Valitse Semicorex vertaansa vailla olevalle pinnoitteen laadusta, tarkkuuden valmistuksesta ja todistetusta luotettavuudesta, johon johtava puolijohde FABS luottaa maailmanlaajuisesti.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex sic -päällystetyt kiekko-alttiit ovat korkean suorituskyvyn kantoaalto, joka on suunniteltu erityisesti erittäin katokalvojen laskeutumiseen paineettomissa olosuhteissa. Advanced Materials Engineering, Precision-huokoisuuden hallinta ja vankka SIC-pinnoitustekniikka, Semicorex tarjoaa alan johtavan luotettavuuden ja räätälöinnin vastaamaan seuraavan sukupolven puolijohdevalmistuksen kehittyviä tarpeita.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex 8-tuumaiset kiekkojen renkaat on suunniteltu tarjoamaan tarkka kiekkojen kiinnitys ja poikkeuksellinen suorituskyky aggressiivisissa lämpö- ja kemiallisissa ympäristöissä. Semicorex toimittaa sovelluskohtaisen tekniikan, tiukan ulottuvuuden hallinnan ja johdonmukaisen sic-pinnoitteen laadun vastaamaan edistyneen puolijohdeprosessin tiukkoja vaatimuksia.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex RTP SIC -pinnoittelulevyt ovat korkean suorituskyvyn kiekkojen kantolaukkuja, jotka on suunniteltu käytettäväksi vaatimaan nopeaa lämpökäsittelyympäristöä. Semicorexin johtavien puolijohteiden valmistajien luottamuksen mukaan Semicorex tarjoaa erinomaisen lämpöstabiilisuuden, kestävyyden ja saastumisen hallinnan, jota tukevat tiukat laatustandardit ja tarkkuusvalmistus.*
Lue lisääLähetä kysely