8-tuumainen kiekko-renkaat

Semicorex 8-tuumaiset kiekkojen renkaat ovat huippuluokan puolijohdeprosessointilaitteita, jotka on tarkoitettu suojaamaan ja tukemaan pii-kiekkoja turvallisesti tärkeiden lämpö-, etsaus- ja laskeutumisprosessien avulla. Rakennettu korkealaatuisesta grafiitista tiheälläPiharbidin (sic) päällyste (sic)Lisälujuuden saavuttamiseksi kiekkojen pidike rengas tuottaa erinomaisen lämpöstabiilisuuden, kemiallisen resistenssin ja mekaanisen lujuuden, mikä tekee siitä ihanteellisen käytettäväksi korkean lämpötilan ja syövyttävien ympäristöjen, kuten CVD: n (kemiallinen höyryn laskeuma), PECVD- ja epitaksijärjestelmissä.

Tärkeimmät ominaisuudet:

Materiaalikoostumus:

Substraattimateriaali onkovingrafiitti, joka on valittu korkeaan lämmönjohtavuuteen ja rakenteelliseen homogeenisuuteen. Korkeatiheys ja yhtenäinenPiharbidi (sic) kalvopäällystelevitetään pinnalle, ja siinä on suuri vastus hapettumiselle ja kemialliselle hyökkäykselle jopa kohonneissa lämpötiloissa, jotka ovat yli 1000 ° C. Seos sisältää pitkän keston säilyvyysajan ja kiekkojen saastumisriskin minimaalinen riski.

Suojattu kiekkojen sijainti

Kierroksen haltijan rengas on suunniteltu erityisesti 8 tuuman (200 mm) kiekkojen pitämiseksi tarkkoja toleransseja ja optimaalisesti suunniteltu sisägeometria kiekon tarttumiseksi turvallisesti. Rengas pysyy vakaana asennossa lämpösyklin ja kaasuvirtauksen aikana minimoimalla mikroliikenteen, mikä voi johtaa hiukkasten luomiseen tai kiekkojen rikkoutumiseen.

Lämmön tasaisuus:

Grafiittialustan luontainen lämmönjohtavuus ja sic -pinnoitteen stabiilisuus varmistavat tasaisen lämmönsiirron kiekkojen pinnan yli. Tämä johtaa johdonmukaisiin prosessituloksiin, vähentyneeseen lämpörasitukseen ja parempaan laitteen saantoon.

Kemikaali- ja plasmavastus:

SIC -pinta suojaa grafiittisydin ankarilta prosessin plasmilta ja kaasuilta tarjoamalla vastustuskyvyn toistuville prosessisykleille. Kemiallinen inertti on erityisen hyödyllistä syövyttävissä halogeenissä olevissa etsaus- tai reaktiivisissa kaasuympäristöissä.

Mukauttaminen käytettävissä:

8-tuumaiset kiekko-renkaat voidaan suunnitella räätälöityjen laitteiden tai prosessivaatimusten täyttämiseksi, ts. Edge-tuen suunnittelun, lähtöjen sijainnin ja asennuskokoonpanon vaihtelut. Suunnittelijamme työskentelevät OEM -valmistajien ja FABS: n kanssa tarjotakseen korkeimman suorituskyvyn jokaiselle käyttöön.

Sovellukset:

• LPCVD / PECVD / APCVD
• Epitaksiaalikasvuprosessit
• Diffuusiouunit
• Korkean lämpötilan hehkutus
• Muut puolijohteiden lämpökäsittelyjärjestelmät

Jokainen 8 tuuman kiekkojen holdistilenkaat käyvät läpi tiukan tarkastuksen, kuten mitatarkkuuden todentaminen, pinnoitteen tarttuvuuskoe ja lämpösyklin pätevyys. Edistynyt valmistustekniikkamme varmistaa tasaisen sic -pinnoitteen paksuuden ja hienoimman pinnan viimeistelyn puolijohdeteollisuuden korkeiden vaatimusten täyttämiseksi.

Semicorex 8-tuumaiset kiekkojen renkaat (sic-päällystetty grafiitti) ovat välttämättömiä laitteita seuraavan sukupolven puolijohdetuotantoon, mikä tarjoaa mekaanisen tarkkuuden, materiaalin kestävyyden ja kemiallisen stabiilisuuden. Prosessilaitteiden päivityksistä seuraavan sukupolven kiekkoalustojen rakentamiseen tämä tuote tarjoaa luotettavuuden ja suorituskyvyn, jota tarvitaan nykypäivän vaativien tuotantoympäristöjen mahdollistamiseksi.