Semicorex RTP -kantoaine on piikarbidilla päällystetty kemiallisella höyrypinnoitusprosessilla (CVD), joka on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaassa kemiallisessa puhdistuksessa. Puolijohdeprosessin ytimessä epitaksisuskeptorit altistetaan ensin kerrostumisympäristölle, joten sillä on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys. SiC-päällysteisellä kantoaineella on myös korkea lämmönjohtavuus ja erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet.
● Erittäin puhdas piikarbidipinnoitettu grafiitti
● Erinomainen lämmön- ja kemikaalinkestävyys
● Korkea lämpötasaisuus
● Erinomainen kulutuskestävyys