Pääteefektori on robotin käsi, joka siirtää puolijohdekiekkoja kiekkojen käsittelylaitteiden ja alustajen välillä. Pääteefektorin on oltava mitoiltaan tarkka ja lämpöstabiili, samalla kun sillä on sileä, hankausta kestävä pinta, jotta kiekkoja voidaan käsitellä turvallisesti vahingoittamatta laitteita tai tuottamatta hiukkaskontaminaatiota.
Semicorexin korkean puhtauden piikarbidi (SiC) pinnoitekomponentit tarjoavat erinomaisen lämmönkestävyyden, tasaisen lämpötasaisuuden takaavat tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden sekä kestävän kemiallisen kestävyyden.
Semicorex-alumiinioksidi-keraaminen käsivarsi on erittäin puhdas robottikomponentti, joka on suunniteltu tarkkaan ja saastumattoman kiekkojen käsittelyyn puolijohteiden valmistuksessa. Semicorexin valitseminen varmistaa, että edistyneen alumiinioksidin keraamisen materiaalin laadun lisäksi myös tarkkuus käsityötaito, joka takaa kestävyyden, puhtauden ja luotettavuuden kriittisissä prosessiympäristöissä.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC -varsi on erittäin puhdas piikarbidikomponentti, joka on suunniteltu tarkkaan kiekkojen käsittelyyn ja sijoittamiseen puolijohteiden valmistuksessa. Semicorexin valitseminen varmistaa vertaansa vailla olevan materiaalien luotettavuuden, kemiallisen resistenssin ja tarkkuustekniikan, jotka tukevat vaativimpia puolijohdeprosesseja.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-sic-sormet ovat tarkkuusmuodostettuja komponentteja, jotka on valmistettu korkeapuhtaasta piikarbidista, jotka on suunniteltu suorittamaan puolijohdevalmistuksen äärimmäisten vaatimusten mukaisesti. Semicorexin valitseminen tarkoittaa pääsyä edistyneeseen materiaaliosaamiseen, korkean tarkkuuden käsittelyyn ja luotettaviin ratkaisuihin, jotka luottavat kriittisiin kiekkojen käsittelysovelluksiin.*
Lue lisääLähetä kysely