Tarkennusrenkaat tai reunarenkaat on suunniteltu parantamaan etsauksen tasaisuutta kiekon reunan tai kehän ympärillä.
Semicorex-fokusointirenkaat on päällystetty piikarbidilla käyttämällä kemiallista höyrypinnoitusta (CVD) ja tarjoavat erinomaisen lämmönkestävyyden, tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden saavuttamiseksi sekä kestävän kemiallisen kestävyyden, jotka on rakennettu kestämään plasmaetsaus- tai kuivaetsausprosessin äärimmäisiä ympäristöjä. .
Kestävät Semicorex-tarkennusrenkaat puolijohdekäsittelyyn on suunniteltu kestämään puolijohdekäsittelyssä käytettävien plasmaetsauskammioiden äärimmäisiä ympäristöjä. Tarkennusrenkaamme on valmistettu erittäin puhtaasta grafiitista, joka on päällystetty tiheällä, kulutusta kestävällä piikarbidipinnoitteella (SiC). SiC-pinnoitteella on korkeat korroosion- ja lämmönkestävyysominaisuudet sekä erinomainen lämmönjohtavuus. Levitämme piikarbidia ohuina kerroksina grafiitille käyttämällä kemiallista höyrypinnoitusprosessia (CVD) parantaaksemme tarkennusrenkaidemme käyttöikää.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Plasmakäsittelyn tarkennusrengas on erityisesti suunniteltu täyttämään puolijohdeteollisuuden plasmaetsauskäsittelyn korkeat vaatimukset. Kehittyneet, erittäin puhtaat piikarbidilla päällystetyt komponentimme on rakennettu kestämään äärimmäisiä ympäristöjä ja ne soveltuvat käytettäväksi erilaisissa sovelluksissa, mukaan lukien piikarbidikerrokset ja epitaksiset puolijohteet.
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin edistykselliset, erittäin puhtaat SiC Focus Rings -renkaat on rakennettu kestämään äärimmäisiä ympäristöjä plasmaetsauskammioissa (tai kuivaetsauskammioissa). Keskitymme puolijohdeteollisuuteen, kuten piikarbidikerroksiin ja epitaksipuolijohteisiin. Tuotteillamme on hyvä hintaetu ja ne kattavat monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kysely