Tarkennusrenkaat tai reunarenkaat on suunniteltu parantamaan etsauksen tasaisuutta kiekon reunan tai kehän ympärillä.
Semicorex-fokusointirenkaat on pinnoitettu piikarbidilla käyttämällä kemiallista höyrypinnoitusta (CVD) ja tarjoavat erinomaisen lämmönkestävyyden, tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden saavuttamiseksi sekä kestävän kemiallisen kestävyyden, jotka on rakennettu kestämään plasmaetsaus- tai kuivaetsausprosessin äärimmäisiä ympäristöjä. .
Semicorex SiC Focus Ring on erittäin puhdas piikarbidirengaskomponentti, joka on suunniteltu optimoimaan plasman jakautuminen ja kiekkoprosessin tasaisuus puolijohteiden valmistuksessa. Semicorexin valitseminen tarkoittaa tasaisen laadun, edistyneen materiaalisuunnittelun ja luotettavan suorituskyvyn varmistamista, joihin johtavat puolijohdevalmistajat luottavat maailmanlaajuisesti.*
Lue lisääLähetä kysely