Tarkennusrenkaat tai reunarenkaat on suunniteltu parantamaan etsauksen tasaisuutta kiekon reunan tai kehän ympärillä.
Semicorex-fokusointirenkaat on pinnoitettu piikarbidilla käyttämällä kemiallista höyrypinnoitusta (CVD) ja tarjoavat erinomaisen lämmönkestävyyden, tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden saavuttamiseksi sekä kestävän kemiallisen kestävyyden, jotka on rakennettu kestämään plasmaetsaus- tai kuivaetsausprosessin äärimmäisiä ympäristöjä. .