Kiina Suihkupää Valmistajat, toimittajat, tehdas

SiC (piikarbidi) suihkupää on erikoiskomponentti, jota käytetään erilaisissa teollisissa prosesseissa, erityisesti puolijohdeteollisuudessa. Se on suunniteltu jakamaan ja kuljettamaan prosessikaasut tasaisesti ja tarkasti kemiallisen höyrypinnoituksen (CVD) ja epitaksiaalisen kasvuprosessin aikana.

Suihkupää on levyn tai levyn muotoinen, ja sen pinnalla on useita tasaisesti jakautuneita reikiä tai suuttimia. Nämä reiät toimivat prosessikaasujen ulostulona, ​​jolloin ne voidaan ruiskuttaa prosessikammioon tai reaktiokammioon. Reikien koko, muoto ja jakautuminen voivat vaihdella sovelluksen ja prosessin vaatimusten mukaan.

Yksi SiC-suihkupään käytön tärkeimmistä eduista on sen erinomainen lämmönjohtavuus. Tämä ominaisuus mahdollistaa tehokkaan lämmönsiirron ja tasaisen lämpötilan jakautumisen suihkupään pinnalla, mikä estää kuumia kohtia ja varmistaa tasaiset prosessiolosuhteet. Parannettu lämmönjohtavuus mahdollistaa myös suihkupään nopean jäähdytyksen prosessin jälkeen, mikä minimoi seisokit ja lisää yleistä tuottavuutta.

SiC-suihkupäät ovat erittäin kestäviä ja kulutusta kestäviä, jopa pitkäaikaisessa altistumisessa syövyttäville kaasuille ja korkeille lämpötiloille. Tämä pitkäikäisyys merkitsee pidentyneitä huoltovälejä ja lyhennettyjä laitteiden seisokkeja, mikä johtaa kustannussäästöihin ja parantuneeseen prosessien luotettavuuteen.

Kestävyyden lisäksi SiC-suihkupäät tarjoavat erinomaiset kaasunjakeluominaisuudet. Tarkasti suunnitellut reikäkuviot ja -konfiguraatiot varmistavat tasaisen kaasun virtauksen ja jakautumisen alustan pinnalla, mikä edistää tasaista kalvon muodostumista ja parantaa laitteen suorituskykyä. Tasainen kaasun jakautuminen auttaa myös minimoimaan kalvon paksuuden, koostumuksen ja muiden kriittisten parametrien vaihtelut, mikä parantaa prosessin hallintaa ja saantoa.

Semicorex tarjoaa matalaresistiivisen sintratun piikarbidin puolijohde-suihkupään. Meillä on valmiudet räätälöidä ja toimittaa edistyneitä keraamisia materiaaleja hyödyntäen useita ainutlaatuisia ominaisuuksia.