TaC-pinnoitusgrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla kemiallisella höyrypinnoitusprosessilla (CVD).
Tantaalikarbidi (TaC) on yhdiste, joka koostuu tantaalista ja hiilestä. Siinä on metallisen sähkönjohtavuus ja poikkeuksellisen korkea sulamispiste, mikä tekee siitä tulenkestävän keraamisen materiaalin, joka tunnetaan lujuudestaan, kovuudestaan sekä lämmön- ja kulutuskestävyydestään. Tantaalikarbidien sulamispiste on huipussaan noin 3880 °C puhtaudesta riippuen, ja sillä on yksi korkeimmista binääriyhdisteiden sulamispisteistä. Tämä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon, kun korkeammat lämpötilavaatimukset ylittävät suorituskykyominaisuudet, joita käytetään yhdistepuolijohteiden epitaksiaalisissa prosesseissa, kuten MOCVD ja LPE.
Semicorex TaC Coatingin materiaalitiedot
Projektit |
Parametrit |
Tiheys |
14,3 (gm/cm³) |
Emissiokyky |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kovuus (HK) |
2000 |
Resistanssi (ohm-cm) |
1×10-5 |
Lämpöstabiilisuus |
<2500 ℃ |
Grafiitin mitan muutos |
-10~-20um (viitearvo) |
Pinnoitteen paksuus |
≥20um tyypillinen arvo (35um±10um) |
|
|
Yllä olevat ovat tyypillisiä arvoja |
|
Semicorex -opasrengas CVD -tantaalikarbidipinnoitteella on erittäin luotettava ja edistyksellinen komponentti sic yhden kidekasvun uuneille. Sen erinomaiset materiaalien ominaisuudet, kestävyys ja tarkkuussuunniteltu muotoilu tekevät siitä olennaisen osan kiteiden kasvuprosessista. Valitsemalla korkealaatuisen opasrenkaan, valmistajat voivat saavuttaa parannettua prosessin vakautta, korkeampaa saannon ja ylivoimaisen sic-kidekorun.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex CVD -päällystyskiekkopidike on korkean suorituskyvyn komponentti, jolla on tantaalikarbidipinnoite, joka on suunniteltu tarkkuuteen ja kestävyyteen puolijohteiden epitaksiprosesseissa. Valitse Semicorex luotettaville, edistyneille ratkaisuille, jotka parantavat tuotantotehokkuuttasi ja varmistavat jokaisessa sovelluksessa korkealaatuisen laadun.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TAC -pinnoitteen puolikuun osa on korkean suorituskyvyn komponentti, joka on suunniteltu käytettäväksi sic-epitaksiprosesseissa LPE-epitaksian uuneissa. Valitse Semicorex vertaansa vailla olevaan laatuun, tarkkuustekniikkaan ja sitoutumiseen puolijohteiden valmistuksen huippuosaamiseen.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Halfmoon Part for LPE on TaC-pinnoitettu grafiittikomponentti, joka on suunniteltu käytettäväksi LPE-reaktoreissa ja jolla on kriittinen rooli piikarbidin epitaksiprosesseissa. Valitse Semicorex sen korkealaatuisten, kestävien komponenttien vuoksi, jotka takaavat optimaalisen suorituskyvyn ja luotettavuuden vaativissa puolijohteiden valmistusympäristöissä.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC Plate on korkean suorituskyvyn, TaC-pinnoitettu grafiittikomponentti, joka on suunniteltu käytettäväksi piikarbidin epitaksikasvatusprosesseissa. Valitse Semicorex asiantuntemuksensa vuoksi luotettavien, korkealaatuisten materiaalien valmistuksessa, jotka optimoivat puolijohdetuotantolaitteidesi suorituskyvyn ja pitkäikäisyyden.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC Coated Graphite Part on korkean suorituskyvyn komponentti, joka on suunniteltu käytettäväksi piikarbidin kiteiden kasvu- ja epitaksiprosesseissa, ja siinä on kestävä tantaalikarbidipinnoite, joka parantaa lämpöstabiilisuutta ja kemikaalien kestävyyttä. Valitse Semicorex innovatiivisten ratkaisujemme, ylivertaisen tuotelaadun ja asiantuntemuksen vuoksi luotettavien, pitkäikäisten komponenttien tarjoamisessa, jotka on räätälöity vastaamaan puolijohdeteollisuuden vaativiin tarpeisiin.*
Lue lisääLähetä kysely