TaC-pinnoitusgrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla kemiallisella höyrypinnoitusprosessilla (CVD).
Tantaalikarbidi (TaC) on yhdiste, joka koostuu tantaalista ja hiilestä. Siinä on metallisen sähkönjohtavuus ja poikkeuksellisen korkea sulamispiste, mikä tekee siitä tulenkestävän keraamisen materiaalin, joka tunnetaan lujuudestaan, kovuudestaan sekä lämmön- ja kulutuskestävyydestään. Tantaalikarbidien sulamispiste on huipussaan noin 3880 °C puhtaudesta riippuen, ja sillä on yksi korkeimmista binääriyhdisteiden sulamispisteistä. Tämä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon, kun korkeammat lämpötilavaatimukset ylittävät suorituskykyominaisuudet, joita käytetään yhdistepuolijohteiden epitaksiaalisissa prosesseissa, kuten MOCVD ja LPE.
Semicorex TaC Coatingin materiaalitiedot
Projektit |
Parametrit |
Tiheys |
14,3 (gm/cm³) |
Emissiokyky |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kovuus (HK) |
2000 |
Resistanssi (ohm-cm) |
1×10-5 |
Lämpöstabiilisuus |
<2500 ℃ |
Grafiitin mitan muutos |
-10~-20um (viitearvo) |
Pinnoitteen paksuus |
≥20um tyypillinen arvo (35um±10um) |
|
|
Yllä olevat ovat tyypillisiä arvoja |
|
Semicorex TaC Coating Wafer Susceptor on tantaalikarbidilla päällystetty grafiittialusta, jota käytetään piikarbidin epitaksiaalisessa kasvussa parantamaan kiekkojen laatua ja suorituskykyä. Valitse Semicorex edistyksellisen pinnoitusteknologiansa ja kestävien ratkaisujensa vuoksi, jotka takaavat erinomaiset piikarbidiepitaksiatulokset ja pidennetyn suskeptorin käyttöiän.*
Lue lisääLähetä kyselyTaC Coating Guide Rings ovat grafiittirenkaita, joissa on tantaalikarbidipinnoite, ja ne on suunniteltu käytettäväksi piikarbidikiteiden kasvatusuuneissa kiteiden laadun parantamiseksi. Valitse Semicorex sen edistyneen pinnoitusteknologian vuoksi, joka varmistaa erinomaisen kestävyyden, lämpöstabiilisuuden ja optimoidun kiteen kasvun.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Tantalum Carbide Guide Ring on tantaalikarbidilla päällystetty grafiittirengas, jota käytetään piikarbidikiteiden kasvatusuuneissa siemenkiteiden tukemiseen, lämpötilan optimointiin ja kasvun vakauden parantamiseen. Valitse Semicorex edistyneiden materiaalien ja muotoilun vuoksi, jotka parantavat merkittävästi kiteen kasvun tehokkuutta ja laatua.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-tantaalikarbidirengas on tantaalikarbidilla päällystetty grafiittirengas, jota käytetään piikarbidikiteiden kasvatusuuneissa ohjausrenkaana varmistamaan tarkan lämpötilan ja kaasuvirran säädön. Valitse Semicorex sen edistyneen pinnoitusteknologian ja korkealaatuisten materiaalien vuoksi, jotka tarjoavat kestäviä ja luotettavia komponentteja, jotka parantavat kiteiden kasvutehoa ja tuotteen käyttöikää.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC Coating Wafer Tray on suunniteltava kestämään haasteet äärimmäiset olosuhteet reaktiokammion sisällä, mukaan lukien korkeat lämpötilat ja kemiallisesti reaktiiviset ympäristöt.**
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC Coating Plate erottuu edukseen tehokkaana komponenttina vaativiin epitaksiaalisiin kasvuprosesseihin ja muihin puolijohteiden valmistusympäristöihin. Erinomaisten ominaisuuksiensa ansiosta se voi viime kädessä parantaa edistyneiden puolijohteiden valmistusprosessien tuottavuutta ja kustannustehokkuutta.**
Lue lisääLähetä kysely