Sic -päällystetty kiekko -alttiit

Semicorex sic -päällystetyt kiekko -alttiit on suunniteltu täyttämään edistyneiden puolijohteiden valmistamisen kiireelliset vaatimukset, etenkin paineettomissa ulkomaisissa kalvojen laskeutumisjärjestelmissä. Tarkkuussuunniteltu, ne tarjoavat erinomaisen lämmön suorituskyvyn, kemiallisen kestävyyden ja mekaanisen stabiilisuuden-välttämättömän seuraavan sukupolven ympäristöissä ohutkalvojen käsittelyä varten.

Saostumistekniikoissa, joissa ei käytetä painetta, kuten atomikerroksen laskeuma (ALD), kemiallinen höyryn laskeuma (CVD) ja fysikaalinen höyryn laskeutuminen (PVD) erittäin ohuille kalvoille, tärkeimmät vaatimukset ovat tasainen lämpötilan jakautuminen ja pinnan stabiilisuus. Herkkisuunnitelmamme ainutlaatuisuus on siinä, että se sisältää korkean puhtaan huokoisen substraatin, joka antaa sen toimia tehokkaasti tyhjiö- tai lähellä olevissa olosuhteissa vähentäen siten lämpörasitusta ja tarjoamalla tasaisen energiansiirron kiekkojen pinnan yli.

Monireiän rakenne on keskeinen innovaatio: se auttaa vähentämään lämpömassaa, edistää jopa kaasun virtauksen jakautumista ja lieventää painevaihteluita, jotka voivat muuten vaarantaa laskeutumisen tasaisuuden. Tämä rakenne myötävaikuttaa myös nopeampaan lämpö- ja jäähdytysjaksoihin, mikä parantaa kokonaisvoiman ja prosessin hallintaa.

Tarjoamme valikoiman alttiita kokoja, geometrioita ja huokoisuustasoja vastaamaan erilaisia laskeutumisjärjestelmän malleja ja kiekkojen mittoja. Valmistusprosessimme modulaarinen luonne mahdollistaa räätälöinnin täydentämään asiakkaan ohuen kalvoprosessin erityisiä lämpö-, mekaanisia ja kemiallisia vaatimuksia.

Semicorex sic -päällysteinen kiekko-alttiu on korkean suorituskyvyn ratkaisu, joka on räätälöity paineettoman ultra-kalvojen laskeutumisen ainutlaatuisiin haasteisiin. Sen yhdistelmä huokoista rakennesuunnittelua ja vankkaa sic-pinnoitetta tarjoaa optimaalisen tuen tarkkaan puolijohteiden valmistusprosesseille, mikä mahdollistaa paremman kalvon laadun, korkeammat satot ja alhaisemmat toimintakustannukset.