Sic -epitaksiaalimoduuli

Semicorex sic -epitaksiaalimoduuli, joka on valmistettu premium -luokan, sic -päällystetyistä grafiitista, on osa epitaksiaalilaitteita, jotka on kehitetty kestämään silikonikarbidien (sic) epitaksiprosessien vaikeimmat elementit. Tämä moduuli, joka on tarkoitettu korkealle lämpötilaan kemiallisissa höyryn laskeutumissovelluksissa (CVD), on tärkeä komponentti osoittaa kiekkojen stabiilisuutta ja tukea korkealaatuisen SIC: n epitaksiaalisen kasvun aikana. Semicorex -sic -moduuli on tehokas perusmateriaali epitaksiaalimateriaalin luotettavalle ja toistettavalle tuotannon laadukkaiden sic -eritelmien mukaisesti.

Semicorex -sic -moduuli on grafiittisubstraatti, joka on peitetty tiheällä ja tasaisella piidarbidipinnoitteisella kerroksella ja on resistentti hiukkasten saastumiselle ja korroosiolle jopa vakavimmissa prosessin kemioissa. SIC -pinnoite kieltää taustalla olevan grafiitin saastumisen ja eroosion ja tarjoaa huomattavan mekaanisen tuen ja suojan jopa 1600 ° C: seen. SIC -moduuli yhdistää grafiitin lujuuden ja konettavuuden piilarbidin yleiseen kulumiseen, korroosioon ja kemiallisiin resistentteihin ominaisuuksiin, mikä tekee siitä parhaiten moduulin kestävyyden kannalta ankarassa epitaksiaalisessa ilmakehässä.

Moduuli on suunniteltu tarjoamaan tasainen lämpöprofiili minimoimalla mittamuutoksen koko lämpöpyöräilyprosessin ajan. Tämä lämmön tasaisuus ja stabiilisuus ovat välttämättömiä kiekon tasaisuuden ja epitaksin tasaisuuden ylläpitämiseksi. Jos kiekko ylläpitää vakaa asento, jolla on korkea lämmönjohtavuus, niin kiekon lämpöolosuhteet prosessoinnin aikana on tasainen, mikä vaikuttaa positiivisesti satoon, kidekaaliin ja seisokkiin, jotka liittyvät osan vioittumiseen tai saastumiseen.

SIC-epitaksiaalimoduuli on yhteensopiva useiden epitaksiaalireaktoreiden kanssa, mukaan lukien kuuma seinä ja kylmä seinä, ja sillä on mahdollisuus mukauttaa muotoiluun ja mittoihin tiettyjen reaktorin asettelujen ja asiakkaiden tarpeiden tyydyttämiseksi. SIC-epitaksiaalimoduuli soveltuu hyvin, mutta ei rajoittuen, 4 tuuman, 6 tuuman ja nousevan 8 tuuman sic-epitaksisovelluksiin. SIC -epitaksiaalimoduulin korkean puhtauden ja optimoidun geometrian takia fysikaaliset häiriöt minimoidaan sen vaikutuksesta kaasun virtauksen dynamiikkaan ja lämpögradienteihin, jotka tukevat epitaksiaalikerroksen hallittua kasvua.

Semicorexin sic -epitaksiaalimoduulit edustavat epäkeskeisen kokoonpanon korkealaatuista kontrolloitua kappaletta. Korkealaatuisten valvontaprotokollien lisäksi Semicorex hyödyntää uusimpia pinnoitusmenetelmiä yhdenmukaisten, tiheiden ja matalan päättyvien SIC-elokuvien soveltamiseksi. Semicorexilla on pitkä historia korkean suorituskyvyn keraamisista pinnoitteista ja grafiittikoneistojen tunnistamisprosessin eduista, jotka tarjoavat parhaan mahdollisen tuotteen käyttöiän, johdonmukaisuuden ja prosessin vakauden erästä erään.

SIC-voimalaitteiden nopeasti kehittyvässä kentässä, jossa materiaalin laatu vaikuttaa suoraan laitteen suorituskykyyn, epitaksiaalimoduuli ei ole vain kulutusta-se on kriittinen mahdollistaja. SEMICOREX: n SIC-päällystetty grafiittiepitaksiaalimoduuli tarjoaa vankan, luotettavan ratkaisun asiakkaille, jotka pyrkivät työntämään tehokkuuden, saannon ja kustannustehokkuuden rajat sic-epitaksissa.