Kiina Ulokeinen mela Valmistajat, toimittajat, tehdas

Käsittelyn aikana puolijohdekiekot on lämmitettävä erikoisuuneissa. Reaktori koostuu pitkänomaisista, lieriömäisistä putkista, joissa kiekot sijoitetaan kiekkoveneisiin ennalta määrätylle, tasaiselle etäisyydelle. Jotta kammion prosessointiolosuhteet selviäisivät ja käsittelylaitteistosta, kiekkoveneistä ja monista kiekoista joutuvien jätteiden minimoimiseksi muut kiekkojen käsittelyssä käytettävät laitteet on valmistettu sellaisesta materiaalista kuin piikarbidi (SiC).

Veneet, jotka on ladattu käsiteltävien kiekkojen erällä, on sijoitettu pitkille ulokkeellisille meloille, joiden avulla ne voidaan työntää putkimaisiin uuneihin ja reaktoreihin ja poistaa niistä. Lapat sisältävät litteän kannatinosan, jolle voidaan sijoittaa yksi tai useampia veneitä, ja pitkän kahvan, joka on sijoitettu litistetyn kannatinosan toiseen päähän, jonka avulla melaa voidaan käsitellä.

Ulokelapa on suositeltavaa käyttää uudelleenkiteytettyä piikarbidia ohuella CVD SiC -kerroksella, joka on erittäin puhdas ja paras valinta komponenteille puolijohdekäsittelyssä.

Semicorex voi tarjota räätälöityä palvelua piirustusten ja työympäristön mukaan.