Käsittelyn aikana puolijohdekiekot on lämmitettävä erikoisuuneissa. Reaktori koostuu pitkänomaisista, lieriömäisistä putkista, joissa kiekot sijoitetaan kiekkoveneisiin ennalta määrätylle, tasaiselle etäisyydelle. Jotta kammion prosessointiolosuhteet selviäisivät ja käsittelylaitteista, kiekkoveneistä ja monista kiekoista joutuvien jätteiden minimoimiseksi muut kiekkojen käsittelyssä käytettävät laitteet on valmistettu sellaisesta materiaalista kuin piikarbidi (SiC).
Veneet, jotka on ladattu käsiteltävien kiekkojen erällä, on sijoitettu pitkille ulokkeellisille meloille, joiden avulla ne voidaan työntää putkimaisiin uuneihin ja reaktoreihin ja poistaa niistä. Lapat sisältävät litteän kannatinosan, jolle voidaan sijoittaa yksi tai useampia veneitä, ja pitkän kahvan, joka on sijoitettu litistetyn kannatinosan toiseen päähän, jonka avulla melaa voidaan käsitellä.
Ulokelapa on suositeltavaa käyttää uudelleenkiteytettyä piikarbidia ohuella CVD SiC -kerroksella, joka on erittäin puhdas ja paras valinta puolijohdekäsittelyn komponenteille.
Semicorex voi tarjota räätälöityä palvelua piirustusten ja työympäristön mukaan.
Semicorex SiC (Silicon Carbide) ulokesiipi on tärkeä komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti diffuusio- tai LPCVD-uuneissa (Low-Pressure Chemical Vapor Deposition) prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP (Rapid Thermal Processing). SiC Cantilever Paddle kuljettaa puolijohdekiekkoja turvallisesti prosessiputkessa useiden korkean lämpötilan prosessien, kuten diffuusion ja RTP:n, aikana. Se palvelee kiekkojen tukemista ja kuljettamista näiden uunien prosessiputkessa. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-piikarbidiulokelapa on erikoiskomponentti, jota käytetään uuneissa erilaisiin lämpökäsittelysovelluksiin. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySuuri kiekkojen latausvoima piikarbidin SiC keraaminen ulokemela sopii robotin automaattiseen lastaus- ja käsittelyjärjestelmään, koska sillä on vakaa suorituskyky, muodonmuutos korkeassa lämpötilassa ja suuri kiekkojen latausvoima. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kysely