Käsittelyn aikana puolijohdekiekot on lämmitettävä erikoisuuneissa. Reaktori koostuu pitkänomaisista, lieriömäisistä putkista, joissa kiekot sijoitetaan kiekkoveneisiin ennalta määrätylle, tasaiselle etäisyydelle. Jotta kammion prosessointiolosuhteet selviäisivät ja käsittelylaitteistosta, kiekkoveneistä ja monista kiekoista joutuvien jätteiden minimoimiseksi muut kiekkojen käsittelyssä käytettävät laitteet on valmistettu sellaisesta materiaalista kuin piikarbidi (SiC).
Veneet, jotka on ladattu käsiteltävien kiekkojen erällä, on sijoitettu pitkille ulokkeellisille meloille, joiden avulla ne voidaan työntää putkimaisiin uuneihin ja reaktoreihin ja poistaa niistä. Lapat sisältävät litteän kannatinosan, jolle voidaan sijoittaa yksi tai useampia veneitä, ja pitkän kahvan, joka on sijoitettu litistetyn kannatinosan toiseen päähän, jonka avulla melaa voidaan käsitellä.
Ulokelapa on suositeltavaa käyttää uudelleenkiteytettyä piikarbidia ohuella CVD SiC -kerroksella, joka on erittäin puhdas ja paras valinta komponenteille puolijohdekäsittelyssä.
Semicorex voi tarjota räätälöityä palvelua piirustusten ja työympäristön mukaan.
Semicorex High Purity SiC Cantilever Paddle on valmistettu erittäin puhtaasta sintratusta piikarbidikeramiikasta, joka on rakenneosa vaakasuuntaisessa uunissa puolijohteessa. Semicorex on kokenut yritys toimittaa piikarbidikomponentteja puolijohdeteollisuudelle.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Ceramic Paddle on erittäin puhdas ulokekomponentti, joka on suunniteltu korkean lämpötilan puolijohdeuuneihin ja jota käytetään pääasiassa hapetus- ja diffuusioprosesseissa. Semicorexin valitseminen tarkoittaa, että pääset käyttämään edistyneitä keraamisia ratkaisuja, jotka takaavat poikkeuksellisen vakauden, puhtauden ja kestävyyden kriittisissä kiekkojen käsittelysovelluksissa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Paddles ovat erittäin puhdasta piikarbidista valmistettua ulokevartta, joka on suunniteltu kiekkojen kuljetukseen korkean lämpötilan hapetus- ja diffuusiouuneissa yli 1000 ℃. Semicorexin valitseminen tarkoittaa poikkeuksellisen materiaalilaadun, tarkkuussuunnittelun ja pitkän aikavälin luotettavuuden varmistamista, joihin johtavat puolijohdevalmistajat luottavat.*
Lue lisääLähetä kysely