Ylempi puolikuu

Semicorex Upper Half Moon on puolipyöreä kiekko-kantaja, joka on suunniteltu huolellisesti epitaksiaaliseen käsittelylaitteeseen. Epitaksiaalisen kasvuprosessin kriittisenä alttiina komponenttina tämä osa on suunniteltu tukemaan ja stabiloimaan piikiekkoja korkean lämpötilan kemiallisen höyryn laskeutumisen aikana (CVD). Valmistettu korkean puhtaan grafiitista ja suojattu tasaisella piikarbidilla (sic) pinnoitteella. Ylä-puolikuu yhdistää mekaanisen kestävyyden, erinomaisen lämmönjohtavuuden ja poikkeuksellisen korroosionkestävyyden vastaamaan tarkkaan tarpeellisen epitaksian vaatimuksia.

Tämä tuote saa nimensä selkeästä puolikuun geometriasta, joka on tarkoitettu tarkoitukseen rakennettuihin tiettyihin kiertoalustat yhden tahdon tai monen tason epitaksiaalireaktoreilla. Sen ainutlaatuinen muoto ei vain helpota tasaista kaasun virtausta ja lämpöjakaumaa, vaan myös mahdollistaa helpon integroinnin olemassa oleviin lämmitys- ja kiertokokoonpanoihin. Puolipyöreä muotoilu varmistaa optimaalisen kiekkojen sijoittamisen, minimoi lämpöjännityksen ja sillä on avainrooli yhdenmukaisen epitaksiaalisen kalvon paksuuden saavuttamisessa koko kiekkojen pinnalla.

Ylä-puolikuun tuote sisältää erittäin hienon grafiitin substraatin, joka johtuu vakaan erittäin hienon rakenteen yhdistetyistä suorituskyvyn eduista erittäin korkeissa lämpötiloissa, jotka on kytketty vikakestykseen toistuvien ajojen yli. Käytön laajentamiseksi levitettiin korkea puhtaus tiheä sic -pinnoite kemiallisella höyryn laskeutumistekniikalla, eristäen grafiittisubstraatin HCL: stä, Cl₂: stä, silaanista ja muista syövyttävistä prosessin kaasuista. Sic -pinnoite edistää kestävämpää ja pidenneempää käyttöikää sekä ylemmän puolikuun tuotteeseen että osiin kokonaisuudessaan vähentäen samalla kiekkoympäristön saastumista, mikä lopulta hyödyttää prosessin satoa ja elokuvien laatua.

SIC -kerroksen pintapinta on määritelty ja se on tasainen tai sileä edistämään jatkuvan lämmönsiirtoa substraatin ja vakiokalvon muodostumiseen. Lisäksi sic -pinnoite parantaa komponenttivastus hiukkasten muodostumiselle, mikä on avaintekijä vikaan herkissä puolijohdesovelluksissa. Suorituskykyparametrit, mukaan lukien erittäin alhaiset kaasunpoistot ja erittäin alhaiset muodonmuutokset yli 1200 ° C, tarjoavat tehokkaita komponentteja erittäin pitkille käyttöjaksoille, vähentäen järjestelmän seisokkeja ja ylläpitokustannuksia.

Semicorex -ylempi puolikuu on vertaansa vailla toleranssien, pinnoitteen tasaisuuden ja materiaalin valinnan suhteen. Pidämme tiukkaa laadunvalvontaa joka vaiheessa grafiittikoneistosta, sic -pinnoitteiden laskeutumiseen ja lopulliseen tarkastukseen, varmistaen, että jokainen yksikkö täyttää puolijohdeluokan laitteista vaadittavat tiukat standardit. Lisäksi kokemuksemme geometrioiden, paksuuden ja pintakäsittelyjen mukauttamisesta tunnistetaan sovellettavan melkein kaikkiin epitaksialustoihin.

Ylä -puolikuu on kriittisen tärkeä kiekkojen stabiilisuudelle, lämmön yhtenäisyydelle ja saastumisen hallintaan pii- tai yhdisteiden puolijohde -epitaksille. Vastaavasti Semicorex hyödyntää vertaansa vailla olevaa asiantuntemusta, materiaalitekniikkaa ja valmistushallinnon saavuttamiseksi asiakkaiden odotusten saavuttamiseksi luotettaville, korkean suorituskyvyn alttiiden komponenteille.