Kiina Erikoisgrafiitti Valmistajat, toimittajat, tehdas

Erikoisgrafiitti on eräänlainen keinotekoinen grafiitti, joka on käsitelty. Se on tärkeä materiaali, joka on välttämätön puolijohde- ja aurinkosähkövalmistusprosessin näkökohdissa, mukaan lukien kidekasvu, ionin implantaatio, epitaksi jne.

1. PIICON -KARBIDI (SIC)

Piharbidia, kolmannen sukupolven puolijohdemateriaalina, käytetään laajasti uusissa energiaajoneuvoissa, 5G-viestinnässä ja muissa aloilla. 6 tuuman ja 8 tuuman sic-kidekasvuprosessissa isostaattista grafiittia käytetään ensisijaisesti seuraavien avainkomponenttien valmistukseen:

Grafiittipotilas: Tätä voidaan käyttää syntetisoimaan sic -jauheen raaka -ainetta ja auttamaan myös kiteiden kasvua korkeissa lämpötiloissa. Sen korkea puhtaus, korkean lämpötilan resistenssi ja lämpöiskunkestävyys varmistavat stabiilin kidekasvuympäristön.

Grafiitilämmitin: Tämä tarjoaa tasaisen lämmönjakauman, varmistaen korkealaatuisen sic-kidekasvun.

Eristysputki: Tämä ylläpitää lämpötilan yhtenäisyyttä kidekasvuuunissa ja vähentää lämpöhäviötä.

2. ionin implantointi

Ionin implantaatio on keskeinen prosessi puolijohteiden valmistuksessa. Isostaattista grafiittia käytetään ensisijaisesti seuraavien ionin komponenttien valmistukseen:

Grafiitti Getter: Tämä absorboi epäpuhtausioneja ionisäteessä varmistaen ionin puhtauden.

Grafiittikeskuksen rengas: Tämä keskittää ionisäteen parantaen ionimplantin tarkkuutta ja tehokkuutta. Grafiittialusta -alustot: Käytetään piidakäveljen tukemiseen ja stabiilisuuden ja johdonmukaisuuden ylläpitämiseen ionin implantaation aikana.

3. Epitaksiprosessi

Epitaksiprosessi on kriittinen vaihe puolijohdelaitteiden valmistuksessa. Isostaattisesti puristettua grafiittia käytetään ensisijaisesti seuraavien komponenttien valmistukseen epitaksihousuissa:

Grafiittialustat ja alttiit: käytetään tukemaan piikiekkoja, tarjoamalla vakaata tukea ja tasaista lämmönjohtavuutta epitaksiprosessin aikana.

4. Muut puolijohteiden valmistussovellukset

Isostaattisesti puristettua grafiittia käytetään myös laajasti seuraavissa puolijohteiden valmistussovelluksissa:

Etsausprosessi: Käytetään grafiittielektrodien ja syövyttäjien suojakomponenttien valmistukseen. Sen korroosionkestävyys ja korkea puhtaus varmistavat etsausprosessin vakauden ja tarkkuuden.

Kemiallinen höyryn laskeuma (CVD): Käytetään grafiittialojen ja lämmittimien valmistukseen CVD -uuneissa. Sen korkea lämmönjohtavuus ja korkean lämpötilan resistenssi varmistavat tasaisen ohutkalvon laskeutumisen.

Pakkaustestaus: Käytetään testivalaisimien ja kantolaitteiden valmistukseen. Sen korkea tarkkuus ja alhainen saastuminen varmistavat tarkan testituloksen.

Grafiittiosien edut

Korkea puhtaus:

Käyttämällä suurta säilytystilaa on painettu grafiittimateriaali, jolla on erittäin pieni epäpuhtauspitoisuus, se täyttää puolijohdevalmistuksen tiukat materiaalin puhtausvaatimukset. Yrityksen oma puhdistusuuni voi puhdistaa grafiitin alle 5PPM: n alle.

Suuri tarkkuus:

Edistyneillä prosessointilaitteilla ja kypsällä prosessointitekniikalla se varmistaa, että tuotteen ulottuvuuden tarkkuus ja muoto- ja sijaintitoleranssit saavuttavat mikronitason.

Korkea suorituskyky:

Tuotteella on erinomainen korkea lämpötilankestävyys, korroosionkestävyys, säteilykestävyys, korkea lämmönjohtavuus ja muut ominaisuudet, jotka vastaavat puolijohteiden valmistuksen erilaisia ​​ankaria työoloja.

Mukautettu palvelu:

Räätälöidyt tuotesuunnittelu- ja käsittelypalvelut voidaan tarjota asiakkaiden tarpeiden mukaan, jotta voidaan vastata eri sovellusskenaarioiden tarpeisiin.

Grafiittituotteet

(1) Isostaattinen grafiitti
Isostaattisia grafiittituotteita tuotetaan kylmä isostaattinen puristus. Verrattuna muihin muotoilumenetelmiin tämän prosessin tuottamilla upotuksilla on erinomainen vakaus. SIC -yksittäisiin kiteisiin tarvittavat grafiittituotteet ovat kooltaan suuret, mikä johtaa epätasaiseen puhtauteen grafiittituotteiden pinnalla ja sisällä, jotka eivät pysty täyttämään käyttövaatimuksia. SIC-yksittäisiin kiteisiin vaadittavien suurikokoisten grafiittituotteiden syvien puhdistusvaatimusten täyttämiseksi tulisi ottaa käyttöön ainutlaatuinen korkean lämpötilan lämpökemiallinen pulssinpuhdistusprosessi, jotta saadaan suuri ja tasainen puhdistus suurikokoisten tai erityismuotoisten grafiittituotteiden saavuttamiseksi, jotta tuotepinnan ja ytimen puhtaus voi täyttää käyttövaatimukset.

(2) huokoinen grafiitti
Huokoinen grafiitti on grafiittia, jolla on korkea huokoisuus ja alhainen tiheys. SIC -kidekasvuprosessissa huokoisella grafiitilla on merkittävä rooli massansiirron tasaisuuden parantamisessa, vähentäen vaihemuutoksen esiintymisnopeutta ja parantamalla kidemuotoa.
Huokoisen grafiitin käyttö parantaa raaka -aineiden lämpötilan ja lämpötilan tasaisuutta, lisää upokkaan aksiaalilämpötilaeroa ja sillä on myös tietty vaikutus raaka -aineen pinnan uudelleenkiteyttämisen heikentämiseen; Kasvukammiossa huokoinen grafiitti parantaa materiaalivirtauksen stabiilisuutta koko kasvuprosessin ajan, lisää kasvualueen C/Si -suhdetta, auttaa vähentämään vaihemuutoksen todennäköisyyttä, ja samalla huokoisella grafiitilla on myös rooli kiderajapinnan parantamisessa.

(3) huopa
Pehmeä huopa ja kova huopa on molemmat tärkeiden lämpöeristysmateriaalien merkitys sic -kidekasvussa ja epitaksiaalisissa yhteyksissä.

(4) grafiittikalvo
Grafiittipaperi on funktionaalinen materiaali, joka on valmistettu korkean hiilen hiutalegrafiitista kemiallisen käsittelyn ja korkean lämpötilan rullauksen avulla. Sillä on korkea lämmönjohtavuus, sähkönjohtavuus, joustavuus ja korroosionkestävyys.

(5) komposiittimateriaalit
Hiilihiilinen lämpökenttä on yksi aurinkosähköisen yhden kidehuuunin tuotannon ydinkulutustarvikkeista.

Semicorex -tuotanto

Semicorex Tee grafiitti pienerä, räätälöityjä tuotantomenetelmiä. Pienen erätuotanto tekee tuotteista hallittavissa. Koko prosessia ohjataan ohjelmoitavilla logiikkaohjaimilla (PLC), yksityiskohtaiset prosessitiedot tallennettiin, mikä mahdollistaa täydellisen elinkaaren jäljitettävyyden.

Koko paahtoprosessin aikana resistiivisyydessä saavutettu konsistenssi eri paikoissa ja tiukan lämpötilanhallinnan ylläpidossa. Tämä varmistaa grafiittimateriaalien homogeenisuuden ja luotettavuuden.

Semicorex käyttää täysin isostaattista puristustekniikkaa, joka eroaa muista toimittajista; Se tarkoittaa, että grafiitti on erittäin yhtenäinen ja se on osoittautunut erityisen tärkeäksi epitaksiaalisissa prosesseissa. Kattava materiaalin yhtenäisyyskokeet suoritettiin, mukaan lukien tiheys, resistiivisyys, kovuus, taivutuslujuus ja lujuus eri näytteiden välillä.