Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidin keraamiset komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme vaihtelee kiekkojen käsittelylaitteiden kulutusosista, kuten piikarbidikiekkovene, ulokelapat, putket jne. Epitaxy- tai MOCVD-laitteille.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidia (SiC), joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden sekä tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
Ulokemela →
Cantilever Paddle on keskeinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti diffuusio- tai LPCVD-uuneissa prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP.
Prosessiputki →
Prosessiputki on tärkeä komponentti, joka on erityisesti suunniteltu erilaisiin puolijohdekäsittelysovelluksiin, kuten RTP, diffuusio.
Vohveliveneet →
Wafer Boatia käytetään puolijohdeprosessoinnissa, ja se on huolellisesti suunniteltu varmistamaan, että herkät kiekot pysyvät turvassa tuotannon kriittisten vaiheiden aikana.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorex ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorexilla on myös keraamisia tuotteita alumiinioksidista (Al2O3), piinitridistä (Si3N4), alumiininitridistä (AIN), zirkoniumoksidista (ZrO2), komposiittikeramiikasta jne.
Semicorex-piinitridilevyt ovat erittäin lujaa keraamisia substraatteja, jotka on suunniteltu tuottamaan poikkeuksellista lämmön suorituskykyä ja mekaanista luotettavuutta edistyneille voimamoduuleille. Semicorexin valitseminen tarkoittaa tarkkuuden valmistuksen, tiukan laadunvalvonnan ja materiaalitekniikan asiantuntemusta, joka varmistaa johdonmukaisen suorituskyvyn jopa vaativimmissa sovelluksissa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex sic -asennusveneet ovat korkean suorituskyvyn kiekkokantoainetta, joka on suunniteltu käytettäväksi pystysuorissa uuniprosesseissa, tarjoamalla poikkeuksellisen vakauden, puhtauden ja kestävyyden. Valitse Semicorex tinkimättömään laatuun, tarkkuusvalmistukseen ja todistettuun luotettavuuteen puolijohteiden lämpökäsittelyssä.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-sic-putket ovat korkean suorituskyvyn piikarbidikeraamisia komponentteja, jotka on suunniteltu puolijohdeuunipisteisiin, tuottaen poikkeuksellisia lämpö-, mekaanisia ja kemiallisia stabiilisuutta vaativissa prosessiympäristöissä. Valitse Semicorex tarkkuussuunniteltuihin sic-putkiin, jotka takaavat yhdenmukaisen laadun, pidentyneen käyttöiän ja uunin maksimaalisen tehokkuuden.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-vaakasuuntainen kammiouuni SIC-veneet ovat erittäin puhdasta piiharbidikantajaa, joka on suunniteltu turvalliseen kiekkojen hallintaan korkean lämpötilan vaakasuoran uunin prosessoinnin aikana. Semicorexin valitseminen tarkoittaa tarkalla tekniikkaa, poikkeuksellista kestävyyttä ja erinomaista lämpösuorituskykyä johdonmukaisen, korkean tuotannon tuotannon kannalta.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex -piikarbidisannat peilit tarjoavat poikkeuksellisen tarkkuuden, nopeuden ja vakauden vaativimmille optisille skannaussovelluksille. Valitse Semicorex SIC-tekniikan vertaansa vailla olevalle asiantuntemukselle, joka tarjoaa räätälöityjä geometrioita, premium-pinnoitteita ja todistettu luotettavuus korkean suorituskyvyn optisissa järjestelmissä.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex sic -peilit ovat korkean suorituskyvyn piikarbidi-optisia komponentteja, jotka on suunniteltu äärimmäisen tarkkuuden suhteen sovelluksissa, kuten optiset skannausjärjestelmät, litografia ja avaruuspohjaiset teleskoopit. Valitse Semicorex edistyneestä valmistusosaamisesta, muokattavissa olevista malleista ja poikkeuksellisesta pinnan viimeistelystä, jotka varmistavat vertaansa vailla olevan vakauden, heijastavuuden ja luotettavuuden vaativimmissa ympäristöissä.*
Lue lisääLähetä kysely