Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidin keraamiset komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme vaihtelee kiekkojen käsittelylaitteiden kulutusosista, kuten piikarbidikiekkovene, ulokelapat, putket jne. Epitaxy- tai MOCVD-laitteille.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidia (SiC), joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden sekä tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
Ulokemela →
Cantilever Paddle on keskeinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti diffuusio- tai LPCVD-uuneissa prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP.
Prosessiputki →
Prosessiputki on tärkeä komponentti, joka on erityisesti suunniteltu erilaisiin puolijohdekäsittelysovelluksiin, kuten RTP, diffuusio.
Vohveliveneet →
Wafer Boatia käytetään puolijohdeprosessoinnissa, ja se on huolellisesti suunniteltu varmistamaan, että herkät kiekot pysyvät turvassa tuotannon kriittisten vaiheiden aikana.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorex ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorexilla on myös keraamisia tuotteita alumiinioksidista (Al2O3), piinitridistä (Si3N4), alumiininitridistä (AIN), zirkoniumoksidista (ZrO2), komposiittikeramiikasta jne.
Erityisesti äärimmäisiin lämpötiloihin suunnitellut kuumapuristetut boorinitridiupokkaat ovat välttämättömiä keraamisia astioita, jotka toimivat loistavina ratkaisuina sekä metallin sulatus- ja haihdutusprosesseihin että puolijohdekiteiden kasvuprosesseihin.
Lue lisääLähetä kyselyValmistettu korkealaatuisista piikarbidimateriaaleista, SIC-lämpöparin suojaputket ovat edistyksellisiä keraamisia ratkaisuja, joita käytetään suojaamaan termopareja toimimasta normaalisti vaativissa korkeissa lämpötiloissa. Valitse Semicorex tarkkuussuunniteltuja SIC-lämpöparin suojaputkia varten, jotka takaavat tasaisen laadun, kustannustehokkaan jäähdytystehokkuuden ja maksimaalisen.
Lue lisääLähetä kyselyKorkean suorituskyvyn piikarbidikeramiikasta valmistetut piikarbidijäähdytyskanavat ovat tehokkaita putkikomponentteja, joita käytetään korkean lämpötilan teollisuusuunien jäähdytysprosesseissa. Valitse Semicorex tarkkuussuunniteltuihin piikarbidijäähdytyskanaviin, jotka takaavat tasaisen laadun, kustannustehokkaan hinnan ja maksimaalisen jäähdytystehokkuuden.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Carbon Ceramic Brake on valmistettu edistyneistä hiilikeraamikomposiiteista, jotka ovat edistyksellisiä materiaaleja, jotka sopivat erittäin hyvin korkeisiin lämpötiloihin. Semicorex toimittaa räätälöityjä tuotteita sovellusten ja asiakkaiden vaatimusten mukaan.*
Lue lisääLähetä kyselySilicon Carbide ICP Etching Plate on korvaamaton kiekkojen pidike, joka on valmistettu erittäin puhtaasta sintratusta piikarbidikeramiikasta. Semicorexin erityisesti suunnittelema se toimii ratkaisevana mahdollistajana induktiivisesti kytkettyjen plasma (ICP) syövytys- ja pinnoitusjärjestelmien kannalta huippuluokan puolijohdeteollisuudessa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin alumiininitridiupokkaat valmistetaan puolijohdeluokan AlN-keramiikasta, joka on korkean suorituskyvyn reaktioastioita, joita käytetään haastavissa ja korkeissa lämpötiloissa. Semicorex tarjoaa räätälöityä tuotantoa asiakkaan tarpeiden mukaan, hoitaen sekä suuria tilauksia että pienten erien prototyyppitarpeita.
Lue lisääLähetä kysely