Kammion kansia käytetään luomaan puhdas, inertti ja suojattu ympäristö saostuskammioihin, jotta ne altistuvat plasmalle ja korkealle lämpötilalle saostus- tai syövytysprosessien aikana. Semicorex-kammion kannet ovat kestäviä keraamisia komponentteja, jotka on päällystetty piikarbidilla kemiallisella höyrypinnoitusmenetelmällä (CVD) ja jotka kestävät hyvin näitä haastavia ympäristöjä.