SiC-pinnoite on ohut kerros suskeptoriin kemiallisen höyrypinnoitusprosessin (CVD) kautta. Piikarbidimateriaali tarjoaa useita etuja piihin verrattuna, mukaan lukien 10-kertainen sähkökentän voimakkuus, 3-kertainen kaistaväli, joka tarjoaa materiaalille korkean lämpötilan ja kemiallisen kestävyyden, erinomaisen kulutuskestävyyden sekä lämmönjohtavuuden.
Semicorex tarjoaa räätälöityä palvelua, auttaa sinua innovoimaan komponentteja, jotka kestävät pidempään, lyhentävät kiertoaikoja ja parantavat tuottoa.
SiC-pinnoitteella on useita ainutlaatuisia etuja
Korkean lämpötilan kestävyys: CVD SiC -pinnoitettu suskeptori kestää korkeita lämpötiloja jopa 1600 °C:een ilman merkittävää lämpöhajoamista.
Kemiallinen kestävyys: Piikarbidipinnoite tarjoaa erinomaisen kestävyyden monenlaisille kemikaaleille, mukaan lukien hapot, emäkset ja orgaaniset liuottimet.
Kulutuskestävyys: SiC-pinnoite tarjoaa materiaalille erinomaisen kulutuskestävyyden, mikä tekee siitä sopivan sovelluksiin, joihin liittyy suurta kulumista.
Lämmönjohtavuus: CVD SiC -pinnoite tarjoaa materiaalille korkean lämmönjohtavuuden, mikä tekee siitä sopivan käytettäväksi korkeissa lämpötiloissa, jotka vaativat tehokasta lämmönsiirtoa.
Suuri lujuus ja jäykkyys: Piikarbidilla päällystetty suskeptori tarjoaa materiaalille korkean lujuuden ja jäykkyyden, joten se sopii sovelluksiin, jotka vaativat suurta mekaanista lujuutta.
SiC-pinnoitetta käytetään erilaisissa sovelluksissa
LED-valmistus: CVD SiC -pinnoitettua suskeptoria käytetään erilaisten LED-tyyppien valmistuksessa, mukaan lukien sininen ja vihreä LED, UV-LED ja syvä-UV-LED, korkean lämmönjohtavuuden ja kemiallisen kestävyyden vuoksi.
Matkaviestintä: CVD SiC -pinnoitettu suskeptori on tärkeä osa HEMT:tä GaN-on-SiC-epitaksiaalisen prosessin loppuunsaattamiseksi.
Puolijohteiden käsittely: CVD SiC -päällystettyä suskeptoria käytetään puolijohdeteollisuudessa erilaisiin sovelluksiin, mukaan lukien kiekkojen käsittely ja epitaksiaalinen kasvu.
SiC-pinnoitetut grafiittikomponentit
Valmistettu Silicon Carbide Coating (SiC) -grafiitista, pinnoite levitetään CVD-menetelmällä tiettyihin korkeatiheyksisten grafiittien laatuihin, joten se voi toimia korkean lämpötilan uunissa yli 3000 °C:ssa inertissä ilmakehässä, 2200 °C:ssa tyhjiössä. .
Materiaalin erikoisominaisuudet ja pieni massa mahdollistavat nopeat lämmitysnopeudet, tasaisen lämpötilan jakautumisen ja erinomaisen hallinnan tarkkuuden.
Semicorex SiC Coatingin materiaalitiedot
Tyypillisiä ominaisuuksia |
Yksiköt |
Arvot |
Rakenne |
|
FCC p-vaihe |
Suuntautuminen |
Murto-osa (%) |
111 mieluummin |
Bulkkitiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Lämpölaajeneminen 100–600 °C (212–1112 °F) |
10-6K-1 |
4.5 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
Johtopäätös CVD SiC -pinnoitettu suskeptori on komposiittimateriaali, jossa yhdistyvät suskeptorin ja piikarbidin ominaisuudet. Tällä materiaalilla on ainutlaatuisia ominaisuuksia, kuten korkea lämpötilan ja kemikaalien kestävyys, erinomainen kulutuskestävyys, korkea lämmönjohtavuus sekä korkea lujuus ja jäykkyys. Nämä ominaisuudet tekevät siitä houkuttelevan materiaalin erilaisiin korkean lämpötilan sovelluksiin, mukaan lukien puolijohdekäsittely, kemiallinen käsittely, lämpökäsittely, aurinkokennojen valmistus ja LED-valmistus.
Semicorex 8 tuuman EPI -ylärengas on sic -päällystetty grafiittikomponentti, joka on suunniteltu käytettäväksi ylempänä kansirenkaana epitaksiaalisten kasvujärjestelmissä. Valitse Semicorex teollisuuden johtavaa materiaalin puhtautta, tarkkaa työstöä ja johdonmukaista pinnoitteen laatua, jotka varmistavat vakaan suorituskyvyn ja pidennetyn komponentin käyttöikän korkean lämpötilan puolijohdeprosesseissa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex 8 tuuman EPI -alusormus on vankka sic -päällystetty grafiittikomponentti, joka on välttämätön epitaksiaalikiekkojen käsittelyyn. Valitse Semicorex vertaansa vailla olevalle materiaalille, pinnoitteen tarkkuus ja luotettava suorituskyky jokaisessa tuotantosyklissä.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex 8 tuuman EPI-alttiu on korkean suorituskyvyn sic-päällystetty grafiittikiekko-kantaja, joka on suunniteltu käytettäväksi epitaksiaalisessa laskeutumislaitteessa. Semicorexin valitseminen varmistaa erinomaisen materiaalin puhtauden, tarkkuuden valmistuksen ja johdonmukaisen tuotteiden luotettavuuden, joka on räätälöity vastaamaan puolijohdeteollisuuden vaativia standardeja.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex sic -kantaja ICP: lle on korkean suorituskyvyn kiekkojen pidike, joka on valmistettu sic-päällystetystä grafiitista, joka on suunniteltu erityisesti käytettäväksi induktiivisesti kytkettyyn plasman (ICP) etsaus- ja laskeumajärjestelmiin. Valitse Semicorex maailman johtavalle anisotrooppiselle grafiitin laatulle, tarkkuus pienen valmistus ja tinkimätön sitoutuminen puhtauteen, johdonmukaisuuteen ja prosessien suorituskykyyn.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-grafiittikannut epitaksiaalireaktoreille on sic-päällystetty grafiittikomponentti, jolla on tarkkuusmikro-reikiä kaasun virtaukselle, optimoitu korkean suorituskyvyn epitaksiaaliseen laskeutumiseen. Valitse Semicorex erinomaiselle pinnoitustekniikalle, räätälöinnin joustavuudelle ja teollisuudelle luottavaiselle laadusta.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex sic -päällysteinen levy on tarkkuusmuodostettu komponentti, joka on valmistettu grafiitista, jossa on korkeapuhelin piikarbidipinnoite, joka on suunniteltu vaativiin epitaksiaalisiin sovelluksiin. Valitse Semicorex alan johtavaa CVD-pinnoitustekniikkaa, tiukkaa laadunvalvontaa ja todistettu luotettavuus puolijohteiden valmistusympäristöissä.*
Lue lisääLähetä kysely