Kaasun sisääntulorenkaita käytetään peittämään kiekon reuna ja kehä, suojaamaan kriittisiä kammion osia puhtaan, inertin ja suojatun ympäristön luomiseksi ja pidentäen niiden käyttöikää saostuskammioissa, jotta ne altistuvat plasmalle ja korkealle lämpötilalle saostuksen tai kiekkojen käsittelyn aikana. , joten vahva plasman kestävyys ja korkea puhtaus ovat kriittisiä kiekkojen lopulliselle tuotolle.
Semicorex CVD SiC -pinnoitetut renkaat, jotka on suunniteltu erityisesti näihin vaativiin epitaksilaitesovelluksiin.