Sic -päällystetyt kiekko -operaattorit

Semicorex sic -päällystetyt kiekko-kantajat ovat edistyneitä komponentteja, jotka tukevat kiekkoja korkean lämpötilan prosesseissa puolijohdesovelluksissa, kuten epitaksiaalisen kasvun, diffuusion ja CVD: n. Kantajat tarjoavat rakenteellisia hyötyjä korkean puhtaan grafiitista yhdistettynä suurimpiin pintaetuihin käyttämällä tiheää ja yhtenäistäSic -pinnoiteOptimaalisen lämpöstabiilisuuden, kemiallisen resistenssin ja mekaanisen lujuuden saavuttamiseksi vaivalloisissa prosessointiolosuhteissa.

Korkean puhtaan grafiittiydin optimaalisen lämmönjohtavuuden saavuttamiseksi

SIC-päällystetyt kiekko-kantajat ovat substraattimateriaalia erittäin hienosta viljasta, korkean puhtaan grafiitista. Se on tehokas lämpöjohdin, joka on sekä kevyt että konettavissa oleva, se voidaan valmistaa monimutkaisiksi geometrioiksi, joita ainutlaatuinen kiekko- ja prosessitekijät vaativat. Grafiitti tarjoaa tasaisen lämmityksen kiekon pinnalla, joka rajoittaa lämpögradienttien ja lämpökäsittelyvaurioiden esiintymistä.

Tiheä sic -pinnoite pintasuojelua ja prosessien yhteensopivuutta varten

Grafiittikantaja on päällystetty korkealla puhtaasti, CVD -piidarbidilla. SIC -pinnoite tarjoaa läpäisemättömän, huokosvapaan suojan korroosiolta, hapettumiselta ja prosessin kaasun saastumista lajeilta, kuten vedystä, kloorista ja silaanista. Lopputuloksena on pieni osa, kova kantaja, joka ei hajoa tai menetä ulottuvuuden stabiilisuutta, valitse altistuu lukuisille lämpösykleille ja edustaa huomattavasti vähentynyttä potentiaalia kiekkojen saastumiselle.

Edut ja keskeiset ominaisuudet

Lämpövastus: SIC -pinnoitteet ovat stabiileja lämpötiloihin, jotka ylittävät 1600 ° C, mikä on optimoitu korkean lämpötilan epitaksin ja diffuusiotarpeiden suhteen.

Erinomainen kemiallinen resistentti: se kestää kaikki syövyttävät prosessikaasut ja puhdistuskemikaalit ja sallii pidemmän käyttöiän ja vähemmän seisokkeja.

Matala hiukkasten muodostuminen: SIC -pinta minimoi hiutaleet ja hiukkasten leviämisen ja pitää puhdasta prosessiympäristöä, joka on elintärkeä laitteen saannolle.

Mittaohjaus: Tarkalleen suunniteltu toleranssien sulkemiseksi yhtenäisen kiekkojen tuen varmistamiseksi, jotta sitä voidaan käsitellä automaattisesti kiekkojen kanssa.

Kustannusten vähentäminen: Pidemmät elinkaaret ja alhaisemmat kunnossapitotarpeet tarjoavat alhaisemmat omistuskustannukset (TCO) kuin perinteiset grafiitti- tai paljaat operaattorit.

Sovellukset:

SIC-päällystetyt kiekko-kantajat käytetään laajasti voimapuolijohteiden, yhdistelmäpuolijohteiden (kuten GAN, sic), MEMS-, LED-levyjen ja muiden laitteiden valmistuksessa, jotka vaativat korkean lämpötilan prosessointia aggressiivisissa kemiallisissa ympäristöissä. Ne ovat erityisen välttämättömiä epitaksiaalireaktoreissa, joissa pinnan puhtaus, kestävyys ja lämmön tasaisuus vaikuttavat suoraan kiekkojen laatuun ja tuotannon tehokkuuteen.

Räätälöinti ja laadunvalvonta

PuolikuoriSic -päällystettyKiekkojen kantajat tuotetaan tiukkojen laadunvalvontaprotokollien alla. Meillä on myös joustavuus vakiokokojen ja kokoonpanojen kanssa, ja voimme räätälöityjä insinööriratkaisuja, jotka täyttävät asiakasvaatimukset. Olipa sinulla 4 tuuman tai 12 tuuman kiekko-muoto, voimme optimoida kiekko-kantajat vaaka- tai pystysuuntaisten reaktorien, erän tai yhden kiekkojen prosessoinnin ja erityisten epitaksireseptien suhteen.