Ammattimaisena valmistajana haluamme tarjota sinulle puolijohdekomponentteja. Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidilla päällystetyt komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme ulottuu grafiittitarvikkeista kiteenviljelyn kuumille vyöhykkeille (lämmittimet, upokassuskeptorit, eristeet) erittäin tarkkoihin grafiittikomponentteihin kiekkojen käsittelylaitteisiin, kuten piikarbidilla päällystettyihin grafiittisuskeptoreihin Epitaxy- tai MOCVD-käyttöön.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidilla (SiC) päällystettyä grafiittirakennetta, joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden sekä tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
End Effector →
Pääteefektori on robotin käsi, joka siirtää puolijohdekiekkoja kiekkojen käsittelylaitteiston ja alustan asemien välillä.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorexin ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorex-yksikiteiset piielektrodit toimivat sekä elektrodeina että etsauskaasureiteinä kiekkojen etsausprosessin aikana. Semicorex-yksikiteiset piielektrodit ovat välttämättömiä piikomponentteja, jotka on suunniteltu erityisesti huippuluokan puolijohteiden etsauksen valmistukseen, mikä voi auttaa parantamaan syövytyksen tarkkuutta ja tasaisuutta.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Cantilever Paddles ovat tarkasti suunniteltuja komponentteja, jotka on suunniteltu korkean lämpötilan ja erittäin puhtaiden puolijohteiden käsittelysovelluksiin. Semicorex tarjoaa korkealaatuisia ulokepäitä, jotka täyttävät edistyneiden kiekkojen käsittely- ja lämmönhallintajärjestelmien vaativat vaatimukset.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-piietsausrenkaat ovat tarkkoja renkaan muotoisia etsauskomponentteja, jotka on valmistettu erittäin puhtaasta yksikidepiistä. Ne ovat plasmaetsauslaitteissa käytettyjä keskeisiä piiosia, jotka on suunniteltu erityisesti luomaan optimaaliset plasmaetsausolosuhteet. Valitse Semicorex, valitse korkealaatuiset silikonisyövytysrenkaat.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-uuniputket LPCVD:lle ovat tarkasti valmistettuja putkimaisia komponentteja, joissa on tasainen ja tiheä CVD SiC -pinnoite. Erityisesti kehittyneeseen matalapaineiseen kemialliseen höyrypinnoitusprosessiin suunnitellut Semicorex-uuniputket LPCVD:tä varten pystyvät tarjoamaan sopivia korkean lämpötilan ja matalapaineisen reaktioympäristön parantamaan kiekkojen ohutkalvopinnoituksen laatua ja saantoa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex CVD SiC -pinnoitetut uuniputket ovat korkealuokkaisia putkimaisia komponentteja, jotka on valmistettu erityisesti korkean lämpötilan puolijohteiden käsittelyyn, kuten puolijohdekiekkojen hapetukseen, diffuusioon ja hehkutukseen. Edistyneitä prosessointitekniikoita ja kypsää valmistuskokemusta hyödyntäen Semicorex on sitoutunut toimittamaan tarkkuuskoneistettuja CVD SiC -pinnoitettuja uuniputkia markkinoiden johtavalla laadulla arvostetuille asiakkaillemme.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC -prosessiputket on valmistettu erittäin puhtaasta piikarbidikeramiikasta, jossa on CVD SiC -pinnoite, se soveltuu Semiconductorin vaakasuoraan uuniin. Ottaen huomioon tuotteiden laadun ja huoltopalvelun, Semicorex haluaa tehdä korkealaatuista liiketoimintaa maailmanlaajuisten asiakkaidemme kanssa.*
Lue lisääLähetä kysely