Ammattimaisena valmistajana haluamme tarjota sinulle puolijohdekomponentteja. Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidilla päällystetyt komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme ulottuu grafiittitarvikkeista kiteenviljelyn kuumille vyöhykkeille (lämmittimet, upokassuskeptorit, eristeet) erittäin tarkkoihin grafiittikomponentteihin kiekkojen käsittelylaitteisiin, kuten piikarbidilla päällystettyihin grafiittisuskeptoreihin Epitaxy- tai MOCVD-käyttöön.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidilla (SiC) päällystettyä grafiittirakennetta, joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden sekä tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
End Effector →
Pääteefektori on robotin käsi, joka siirtää puolijohdekiekkoja kiekkojen käsittelylaitteiston ja alustan asemien välillä.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorexin ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorex-kiekkojen reunan hioma-chuck on keraaminen levy, joka on valmistettu korkean puhtaan valkoisesta alumiinioksidista, joka on suunniteltu kiekkojen reunan hiontaan puolijohteiden valmistuksessa. Semicorexin valitseminen varmistaa erinomaisen materiaalin laadun, tarkkuustekniikan ja luotettavan suorituskyvyn, jotka tukevat vaativimpia kiekkojen käsittelyympäristöjä.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex -huokoiset alumiinioksidit ovat mikrohuokoisia mustia alumiinioksidi -tyhjiölaitteita, joiden huokoisuus on 35–40%, jotka on suunniteltu tarjoamaan tasainen imu ja turvallinen kiekkojen käsittely puolijohteiden valmistuksessa. Semicorexin valitseminen tarkoittaa luotettavaa keraamista tekniikkaa, erinomaista materiaalin laatua ja johdonmukaista suorituskykyä, jotka suojaavat saannon ja prosessin vakauden.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex AL2O3 -tyhjiöskyselyt ovat mikrohuokoisia keraamisia adsorptiolaitteita, jotka on valmistettu mustasta alumiinioksidista huokoisuudella 35–40%, erityisesti suunniteltu kiekkojen käsittelyyn puolijohdesovelluksissa. Semicorexin valitseminen tarkoittaa edistyneen keraamisen tekniikan, tarkkuustekniikan ja luotettavan tuotteen laadun hyötymistä, jotka varmistavat vakaan suorituskyvyn vaativissa puhdashuoneympäristöissä.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-alumiinioksidi-keraaminen käsivarsi on erittäin puhdas robottikomponentti, joka on suunniteltu tarkkaan ja saastumattoman kiekkojen käsittelyyn puolijohteiden valmistuksessa. Semicorexin valitseminen varmistaa, että edistyneen alumiinioksidin keraamisen materiaalin laadun lisäksi myös tarkkuus käsityötaito, joka takaa kestävyyden, puhtauden ja luotettavuuden kriittisissä prosessiympäristöissä.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex sic -syöttörenkaat ovat korkean suorituskyvyn piikarbidikomponentteja, jotka on suunniteltu puolijohdekäsittelylaitteisiin, jotka tarjoavat poikkeuksellisen lämpöstabiilisuuden, kemiallisen vastus- ja tarkkuuskoneen. Semicorexin valitseminen tarkoittaa pääsyä luotettaviin, räätälöityihin ja saastumattomiin ratkaisuihin, joihin johtavat puolijohteiden valmistajat luottavat.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC -varsi on erittäin puhdas piikarbidikomponentti, joka on suunniteltu tarkkaan kiekkojen käsittelyyn ja sijoittamiseen puolijohteiden valmistuksessa. Semicorexin valitseminen varmistaa vertaansa vailla olevan materiaalien luotettavuuden, kemiallisen resistenssin ja tarkkuustekniikan, jotka tukevat vaativimpia puolijohdeprosesseja.*
Lue lisääLähetä kysely