8 tuuman Epi -ylärengas

Semicorex 8 tuuman EPI -ylärengas on erikoistunut komponentti epitaksiaalisia (EPI) laskeumajärjestelmiä, jotka tarjoavat korkean suorituskyvyn reaktiokammion ylärenkaan. Keskittymällä puolijohdekiekkojen epitaksiaalisen kasvun aikana rakenteelliseen eheyteen ja lämmön stabiilisuuteen EPI-ylärengas on valmistettu korkeapuhtaasta grafiitista ja päällystetty piikarbidilla (SIC) kestämään puolijohdevalmistuksen lämpötilan ja kemiallisesti reaktiivisia ympäristöjä.

Epitaksiaalireaktoreissa ylärengas auttaa säilyttämään kiekkoympäristön ja sillä on tärkeä rooli lämpötilan tasaisuudessa ja kaasun virtauksessa laskeutumisen aikana osana alttiiden kokoonpanoa. Grafiittisubstraatin sic -pinnoite tarjoaa EPI -ylärenkaan lämpöstabiilisuuteen ja inertin ympäristöön, jota tarvitaan grafiittiydin suojaamiseksi prosessien kaasulle altistumisesta EPI -ylärenkaan (vety, silaani, klorosilaanit jne.) Suorituksen aikana. SIC -kerroksen kovuus ja johtavuus parantaa EPI -ylärenkaan suorituskykyä estämällä hajoamisen ja sallimalla vakaampia kerroksia koko tuotantosyklin ajan.

Sitoutumalla mitat tarkkuuteen, päällystetun konsistenssiin ja toistettavuuteen 8 tuuman EPI -ylärengas valmistetaan tarkkuustekniikalla. Grafiittialusta on koneistettu tiukkaan toleranssiin ja puhdistetaan termisesti erottamiseen epäpuhtauksiin, mikä tuottaa puhtaan substraatin, jolla on erinomainen puhtaus ja lujuus. SIC -pinnoite levitetään kemiallisen höyryn laskeutumisen (CVD) avulla tiheän, johdonmukaisen ja voimakkaasti sitovan suojakerroksen muodostamiseksi. Tämä prosessi minimoi hiukkasten muodostumisen ja antaa pinnoitteen ylläpitää pinnan eheyttä laajennetun käytön aikana.

Puolijohdevalmistajat luottavat EPI-ylärenkaan kriittisten kammion parametrien ylläpitämiseksi ja vikavapaiden kiekkojen tukemiseksi tuotannon aikana. Kokoonpano on suunniteltu käytettäväksi johtavien OEM-8-tuumaisten kiekkojen käsittelyjärjestelmien kanssa. Mukautettuja vaihtoehtoja on saatavana paksuuden, pintapinnan ja uritetun mallin parempaan lämmönhallintaan tai jopa kaasun jakaumaan.

SIC -päällystetyn grafiitin ominaisuuksien noudattaminen tähän sovellukseen vie yhdistelmää parhaat ominaisuudet molemmista materiaaleista; Grafiitti on erittäin konettavissa ja siinä on lämmön iskunkestävyys yhdistettynä piiharbidiin, joka on kovempi, korroosiokestävä ja sillä on pidempi käyttöikä. Tämä yhdistelmä antaa sinulle viime kädessä EPI -ylärenkaan, joka on luotettava korkeassa lämpötilassa, ja takaa puhtaan ja vakaan prosessointiympäristön, joka vähentää huoltovälejä ja tarjoaa yleisesti parannetut laitteet käyttöaikaa.

Grafiittikomponenteilla on välttämätön ja tärkeä rooli puolijohteiden valmistuksessa. Grafiittimateriaalin laatu vaikuttaa merkittävästi lopputuotteen laatuun. Grafiittierän johdonmukaisuus ja materiaalinen homogeenisuus hallitaan ja taataan koko tuotantoprosessin ajan.

1.Malli-erätuotanto, käyttämällä pientä hiilihappoa, jonka kapasiteetti on vain 50 kuutiometriä.

2. Jokaista materiaalia tarkkaillaan ja seurataan.

3.Tämpötilavalvonta uunin useissa pisteissä varmistaa vähimmäislämpötilaerot.

4.Temperatuurin seuranta materiaalin useissa kohdissa varmistaa vähimmäislämpötilaerot.

Semicorexin 8-tuumainen EPI-ylärengas tarjoaa poikkeuksellisen suorituskyvyn, erä-erä-konsistenssin ja todistetun luotettavuuden vaikeimmissa puolijohteiden pii-, piikarbidissa tai muissa puolijohde-epitaksiprosesseissa. Jokaisessa valmistusvaiheessa tuotamme tuotteita, joilla on laadunvalvonta, mikä tarkoittaa, että jokainen puolijohdeteollisuudelle ostettu tuote ylittää laadun eritelmät.

Valitse Semicorexin 8 tuuman EPI-ylärengas epitaksisovelluksellesi hyödyntääksesi tarkkuustekniikan, erinomaisten materiaalien ja sovelluskohtaisen räätälöinnin tarjolla olevia mahdollisuuksia satojen ja laitteen suorituskyvyn parantamiseksi.