Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidin keraamiset komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme vaihtelee kiekkojen käsittelylaitteiden kulutusosista, kuten piikarbidikiekkovene, ulokelapat, putket jne. Epitaxy- tai MOCVD-laitteille.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidirakennetta (SiC), joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden, tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
Ulokemela →
Cantilever Paddle on keskeinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti diffuusio- tai LPCVD-uuneissa prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP.
Prosessiputki →
Prosessiputki on tärkeä komponentti, joka on erityisesti suunniteltu erilaisiin puolijohdekäsittelysovelluksiin, kuten RTP, diffuusio.
Vohveliveneet →
Wafer Boatia käytetään puolijohdeprosessoinnissa, ja se on huolellisesti suunniteltu varmistamaan, että herkät kiekot pysyvät turvassa tuotannon kriittisten vaiheiden aikana.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorex ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorexilla on myös keraamisia tuotteita alumiinioksidista (Al2O3), piinitridistä (Si3N4), alumiininitridistä (AIN), zirkoniumoksidista (ZrO2), komposiittikeramiikasta jne.
Semicorex Silicon Carbide Chuck on pitkälle erikoistunut komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistuksessa. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa*.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Chuck tai piikarbidiistukka on erikoistunut komponentti, jota käytetään pääasiassa puolijohteiden valmistuksessa ja tarkkuustyöstösovelluksissa. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-litografiakoneen runko on olennainen rakennekomponentti, joka on suunniteltu tukemaan ja vakauttamaan monimutkaisia fotolitografiaprosesseihin liittyviä koneita. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-alumiinioksidikeraamiset kiekkojen istukat eivät rajoitu yhteen toimialaan; Niiden ainutlaatuiset ominaisuudet tekevät niistä soveltuvia monenlaisiin sovelluksiin. Puolijohdesektorilla niitä käytetään kiekkojen pitämiseen sirun valmistuksen aikana. Kemianteollisuudessa niiden korroosionkestävyys tekee niistä ihanteellisia aggressiivisten aineiden käsittelyyn. Ympäristösovellukset hyötyvät niiden vakaudesta ja kulutuksenkestävyydestä, kun taas niiden mekaanisia ominaisuuksia hyödynnetään toiminnallisten materiaalien kehittämisessä. Me Semicorexilla olemme omistautuneet valmistamaan ja toimittamaan korkean suorituskyvyn alumiinioksidikeraamisia kiekkoistukkaita, jotka yhdistävät laadun ja kustannustehokkuuden.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Powder, joka tunnetaan myös nimellä piikarbidijauhe, on hienoksi jauhettua materiaalia, joka koostuu pääasiassa N-tyypin α-faasista piikarbidia. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex N-tyypin piikarbidijauhe (SiC) on erittäin puhdasta, seostettua piikarbidimateriaalia, joka on erityisesti suunniteltu edistyneisiin kiteiden kasvatussovelluksiin. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kysely