Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidin keraamiset komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme vaihtelee kiekkojen käsittelylaitteiden kulutusosista, kuten piikarbidikiekkovene, ulokelapat, putket jne. Epitaxy- tai MOCVD-laitteille.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidirakennetta (SiC), joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden, tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
Ulokemela →
Cantilever Paddle on keskeinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti diffuusio- tai LPCVD-uuneissa prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP.
Prosessiputki →
Prosessiputki on tärkeä komponentti, joka on erityisesti suunniteltu erilaisiin puolijohdekäsittelysovelluksiin, kuten RTP, diffuusio.
Vohveliveneet →
Wafer Boatia käytetään puolijohdeprosessoinnissa, ja se on huolellisesti suunniteltu varmistamaan, että herkät kiekot pysyvät turvassa tuotannon kriittisten vaiheiden aikana.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorex ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorexilla on myös keraamisia tuotteita alumiinioksidista (Al2O3), piinitridistä (Si3N4), alumiininitridistä (AIN), zirkoniumoksidista (ZrO2), komposiittikeramiikasta jne.
Semicorex SiC Vacuum Chuck edustaa vaativalle puolijohdeteollisuudelle räätälöidyn tarkkuustekniikan huippua. Tämä innovatiivinen laite on valmistettu grafiittisubstraateista ja parannettu huippumodernilla kemiallisella höyrypinnoitustekniikalla (CVD), ja se yhdistää saumattomasti piikarbidipinnoitteen (SiC) vertaansa vailla olevat ominaisuudet. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Wafer Chuck on puolijohteiden valmistuksen innovaation huippu, ja se on tärkeä osa puolijohteiden valmistusprosessia. Huolellisella tarkkuudella ja huipputekniikalla valmistettu istukka tukee ja stabiloi piikarbidikiekkoja tuotannon eri vaiheissa. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Zirconia ZrO2 Robot Arm, tärkeä komponentti puolijohteiden käsittelyssä saumattomaan kiekkojen siirtoon ja käsittelyyn. Tämä keraaminen varsi on suunniteltu kestämään korkeita lämpötiloja, syövyttäviä ja hankaavia ympäristöjä, ja se tarjoaa vertaansa vailla olevan kestävyyden ja luotettavuuden. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Zirkonia keraaminen suutin, joka on valmistettu huolellisesti yksityiskohtiin, tämä suutin edustaa huippuosaamista sekä kaasujen että nesteiden virtausnopeuden ohjaamisessa vertaansa vailla tasaisesti ja tarkasti. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-alumiininitridikeraaminen istukka edustaa huippuluokan ratkaisua puolijohdekiekkojen käsittelyyn, joka on erityisesti suunniteltu pitämään kiekot tukevasti paikoillaan eri valmistusvaiheiden aikana. Tämä sähköstaattisena istukana (ESC) toimiva innovatiivinen laite hyödyntää alumiininitridikeramiikan poikkeuksellisia ominaisuuksia varmistaakseen tarkan ja luotettavan kiekon säilytyksen. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyVoit olla varma, että ostat alumiininitridikiekkotelineen tehtaaltamme. Semicorex-alumiininitridi (AlN) -kiekkopidike on välttämätön komponentti puolijohdekäsittelyssä, ja se toimii keskeisenä alustana herkkien kiekkojen turvalliselle pitämiselle eri valmistusvaiheissa. Valmistettu korkealaatuisesta alumiininitridimateriaalista, joka tunnetaan poikkeuksellisesta lämmönjohtavuudestaan, mekaanisesta lujuudestaan ja sähköeristysominaisuuksistaan, tämä kiekkopidike takaa optimaaliset olosuhteet tarkalle ja tehokkaalle puolijohteiden valmistusprosessille. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kysely