Alumiinikiekkojen kiillotuslevyt

Semicorex-alumiinioksidikiekko kiillotuslevytovat tarkkuuskoneistettuja osia, jotka on valmistettu erittäin puhtaasta alumiinioksidista isostaattipuristuksen, korkean lämpötilan sintrauksen ja tarkkuuskoneistuksen avulla. Ne ovat ihanteellisia tarkkuuskiillotussovelluksiin, joissa on tiukat vaatimukset erittäin korkealle pinnan tarkkuudelle ja tehokkuudelle, erityisesti puolijohdekiekkojen kiillotukseen, koska alumiinioksidikeramiikka tarjoaa poikkeukselliset fysikaaliset ja kemialliset ominaisuudet.

---

Pitkä käyttöikä takaa erinomaisen kulutuskestävyyden

Korkea kulutuskestävyys on välttämätön tarkkuuskoneistuksessa käytettäville kiekkojen kiillotuslevyille. Alumiinioksidikeramiikan Mohs-kovuus on noin 9, toiseksi vain timantin ja piikarbidin jälkeen, minkä ansiosta kiekkojen kiillotuslevyt kestävät suuria nopeuksia ja kovaa kitkakäyttöä puolijohdekiekkojen kiillotuksen aikana pienellä kulumishäviöllä. Tämän erinomaisen kulutuskestävyyden ansiosta alumiinioksidikiekkojen kiillotuslevyillä on pitkä käyttöikä, mikä vähentää merkittävästi laitteiden seisokkeja vaihtoa varten ja vähentää ylläpito- ja vaihtokustannuksia.

Poikkeuksellinen lämmönkestävyys ja korkeiden lämpötilojen kestävyys

Alumiinioksidikiekkojen kiillotuslevyt voivat säilyttää fysikaaliset ominaisuutensa ja kitkakykynsä 1000 ℃ korkean lämpötilan ympäristöissä poikkeuksellisen lämmönkestävyytensä ja korkean lämpötilan kestävyyden ansiosta. Ne sopivat korkean lämpötilan työolosuhteisiin, jotka johtuvat toistuvasta kitkasta, välttäen tehokkaasti lämpömuodonmuutoksia ja auttavat pitämään kiillotuspinnan tasaisena.

Luotettava kemiallinen korroosionkestävyys

Alumiinioksidikiekkojen kiillotuslevyillä on luotettava kemiallinen korroosionkestävyys. Ne kestävät useimpia happoja ja emäksiä sekä yleisiä CMP-prosessissa käytettyjä kemiallisia kiillotusliuoksia. Kemiallinen korroosio ei vaaranna niiden pinnan tasaisuutta, mikä vaikuttaa puolijohdekiekkojen pinnan laatuun.

---

Sovellukset Semicorex Alumina kiekkojen kiillotuslevyille

1. Semiconductor kiekkojen kiillotus

Alumiinioksidikiekkojen kiillotuslevyjä käytetään laajasti piin, piikarbidin, safiirin ja erilaisten kiekkosubstraattien hionnassa, karkeassa kiillotuksessa ja viimeistelykiillotuksessa. Erittäin alhaisen karheutensa ja nanomittakaavan pinnan tasaisuuden ansiosta alumiinioksidikiekkojen kiillotuslevyt voivat ihanteellisesti täyttää edistyneiden puolijohdeprosessien, kuten etsauksen ja litografian, tiukat pinnanlaatuvaatimukset.

2. Kiekkojen ohennus ja reunojen kiillotus

Kiekkojen ohennusprosessin aikana alumiinioksidikiekkojen kiillotuslevyjä voidaan käyttää kiekkojen paksuuden tarkkaan säätelyyn ja taustamateriaalien tasaiseen poistamiseen. Reunojen kiillotusprosessissa alumiinioksidin kiillotuslevyt voivat myös auttaa saavuttamaan optimaalisen kiekon reunan laadun poistamalla purseet ja viat kiekkojen reunoista.