Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidin keraamiset komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme vaihtelee kiekkojen käsittelylaitteiden kulutusosista, kuten piikarbidikiekkovene, ulokelapat, putket jne. Epitaxy- tai MOCVD-laitteille.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidirakennetta (SiC), joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden, tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
Ulokemela →
Cantilever Paddle on keskeinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti diffuusio- tai LPCVD-uuneissa prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP.
Prosessiputki →
Prosessiputki on tärkeä komponentti, joka on erityisesti suunniteltu erilaisiin puolijohdekäsittelysovelluksiin, kuten RTP, diffuusio.
Vohveliveneet →
Wafer Boatia käytetään puolijohdeprosessoinnissa, ja se on huolellisesti suunniteltu varmistamaan, että herkät kiekot pysyvät turvassa tuotannon kriittisten vaiheiden aikana.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorex ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorexilla on myös keraamisia tuotteita alumiinioksidista (Al2O3), piinitridistä (Si3N4), alumiininitridistä (AIN), zirkoniumoksidista (ZrO2), komposiittikeramiikasta jne.
Semicorex SiC Fine Powder on korkealaatuinen, erittäin hieno jauhe, joka tunnetaan poikkeuksellisesta puhtaudesta ja kontrolloidusta hiukkaskokojakaumasta. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyPoikkeuksellisen puhtaasta piikarbidista valmistettu Semicorex High-Purity SiC Boat osoittaa erinomaisen lämpöstabiilisuuden, mekaanisen kestävyyden ja kemikaalien kestävyyden. Tämä materiaalivalinta on kriittinen mahdollisen saastumisen vähentämiseksi, kiekkojen suojaamiseksi vahingoilta ja puolijohteiden valmistuksessa esiintyvien tiukkojen olosuhteiden kestämiseksi. Semicorexin sitoutuminen markkinoiden johtavien laadukkaiden tuotteiden valmistukseen ja toimittamiseen yhdistettynä kilpailukykyisiin veronäkökohtiin vahvistaa innokkuuttamme luoda kumppanuuksia puolijohdekiekkojen kuljetusvaatimustesi täyttämiseksi.
Lue lisääLähetä kyselyPoikkeuksellisen puhtaasta piikarbidista valmistettu Semicorex SiC Boat for Wafer Handling sisältää rakenteen, joka sisältää tarkkoja rakoja kiekkojen kiinnittämiseksi, mikä vähentää liikettä käytön aikana. Piikarbidin valinta materiaaliksi takaa kovuuden ja kimmoisuuden lisäksi myös kyvyn kestää korkeita lämpötiloja ja altistumista kemikaaleille. Tämä tekee SiC Boatista kiekkojen käsittelyyn keskeisen osan monissa puolijohteiden tuotantovaiheissa, kuten kiteiden viljelyssä, diffuusiossa, ionien istuttamisessa ja syövytyksessä.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex PBN/PG -lämmittimet (pyrolyyttinen boorinitridi/pyrolyyttinen grafiitti) on suunniteltu edistyneistä boorinitridikeraamisista materiaaleista, jotka on valmistettu huolellisesti kestämään yli 1700 °C:n äärimmäisiä lämpötiloja. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselyBoorinitridikeramiikasta valmistetut Semicorex PBN Heater Chucks ovat huippuluokan lämmönhallintaratkaisujen eturintamassa. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Pyrolyyttiset boorinitridilämmittimet edustavat suorituskyvyn ja luotettavuuden huippua korkeiden lämpötilojen sovelluksissa. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kysely