Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidin keraamiset komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme vaihtelee kiekkojen käsittelylaitteiden kulutusosista, kuten piikarbidikiekkovene, ulokelapat, putket jne. Epitaxy- tai MOCVD-laitteille.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidia (SiC), joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden sekä tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
Ulokemela →
Cantilever Paddle on keskeinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti diffuusio- tai LPCVD-uuneissa prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP.
Prosessiputki →
Prosessiputki on tärkeä komponentti, joka on erityisesti suunniteltu erilaisiin puolijohdekäsittelysovelluksiin, kuten RTP, diffuusio.
Vohveliveneet →
Wafer Boatia käytetään puolijohdeprosessoinnissa, ja se on huolellisesti suunniteltu varmistamaan, että herkät kiekot pysyvät turvassa tuotannon kriittisten vaiheiden aikana.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorex ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorexilla on myös keraamisia tuotteita alumiinioksidista (Al2O3), piinitridistä (Si3N4), alumiininitridistä (AIN), zirkoniumoksidista (ZrO2), komposiittikeramiikasta jne.
Semicorex Silicon Carbide Boat on korkean suorituskyvyn komponentti, joka on suunniteltu käytettäväksi puolijohdediffuusioprosesseissa ja tarjoaa poikkeuksellisen lämmönkestävyyden, kulutuskestävyyden ja kemiallisen kestävyyden. Valitse Semicorex sen edistyneiden valmistusominaisuuksien vuoksi. Se toimittaa luotettavia, korkealaatuisia tuotteita, jotka takaavat optimaalisen suorituskyvyn vaativissa puolijohde- ja teollisuussovelluksissa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex asettaa etusijalle laadun ja suorituskyvyn varmistaen, että jokainen SiC-tiiviste täyttää tiukat alan standardit. Huippuluokan valmistusprosessimme takaavat, että tuotteemme tuottavat yhtenäisiä ja luotettavia tuloksia, mikä tekee Semicorexista edistyneen keramiikan alan johtavan aseman.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Grinding Media on valmistettu piikarbidikeramiikasta, materiaalista, joka tunnetaan poikkeuksellisesta kovuudestaan ja kestävyydestään. SiC Grinding Media on suunniteltu täyttämään erilaisten teollisten sovellusten tiukat vaatimukset, ja se tarjoaa vertaansa vailla olevan tehokkuuden ja pitkäikäisyyden.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex 6 Inch SiC Boat on korkean suorituskyvyn piikarbidista valmistettu kiekkoteline, joka on suunniteltu käytettäväksi korkean lämpötilan puolijohdeprosesseissa, kuten hapetuksessa ja diffuusiossa. Semicorex tarjoaa korkealaatuisia tuotteita, joilla on poikkeuksellinen lämmönkestävyys, erinomainen kemiallinen kestävyys ja sitoutuminen luotettavaan, pitkäkestoiseen suorituskykyyn vaativissa puolijohdesovelluksissa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Vertical Silicon Boat on kriittinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa. Semicorex toimittaa räätälöityjä pystysuuntaisia piiveneitä, joilla on vertaansa vailla oleva laatu ja tarkkuus, räätälöity vastaamaan puolijohdeteollisuuden tiukkoja vaatimuksia.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin Si3N4-tiivisterengas edustaa merkittävää edistystä keramiikkatekniikassa, ja se on valmistettu Si3N4:stä, poikkeuksellisesta epäorgaanisesta materiaalista. Tämä keramiikka on tunnettu ainutlaatuisesta ominaisuudestaan, joka ei kutistu sintrausprosessin aikana, mikä varmistaa mittavakauden ja yhtenäisyyden.
Lue lisääLähetä kysely