Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidin keraamiset komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme vaihtelee kiekkojen käsittelylaitteiden kulutusosista, kuten piikarbidikiekkovene, ulokelapat, putket jne. Epitaxy- tai MOCVD-laitteille.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidirakennetta (SiC), joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden, tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
Ulokemela →
Cantilever Paddle on keskeinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti diffuusio- tai LPCVD-uuneissa prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP.
Prosessiputki →
Prosessiputki on tärkeä komponentti, joka on erityisesti suunniteltu erilaisiin puolijohdekäsittelysovelluksiin, kuten RTP, diffuusio.
Vohveliveneet →
Wafer Boatia käytetään puolijohdeprosessoinnissa, ja se on huolellisesti suunniteltu varmistamaan, että herkät kiekot pysyvät turvassa tuotannon kriittisten vaiheiden aikana.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorex ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorexilla on myös keraamisia tuotteita alumiinioksidista (Al2O3), piinitridistä (Si3N4), alumiininitridistä (AIN), zirkoniumoksidista (ZrO2), komposiittikeramiikasta jne.
Semicorex ICP Etching Plate on edistyksellinen, korkean suorituskyvyn komponentti, joka on suunniteltu erityisesti puolijohdesovelluksiin ja joka on valmistettu piikarbidista (SiC). Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa*.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC -heijastin on keskeinen elementti erilaisissa puolijohteiden valmistusprosesseissa. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa*.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC keraamiset lämmönsiirtolevyt, jotka perustuvat piikarbidiin primaarimateriaalina, läpikäyvät korkean lämpötilan sintrauksen 2250 °C:ssa, jolloin saadaan erittäin lasitettu, nollahuokoinen tiheä keraaminen kappale, jonka SiC-pitoisuus on ≥99,3 %. Näiden keraamien taivutuslujuus on ≥410 MPa ja lämmönjohtavuus 140 W/m.k, ja ne ovat ainoita materiaaleja, jotka kestävät vahvojen happojen, kuten fluorivetyhapon (HF) ja rikkihapon (H2SO4) aiheuttamaa korroosiota puolijohdeteollisuudessa. Me Semicorexilla olemme sitoutuneet valmistamaan ja toimittamaan korkean suorituskyvyn keraamisia SiC-lämmönsiirtolevyjä, jotka yhdistävät laadun ja kustannustehokkuuden. **
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-piikarbidin keraamiset rakenneosat, jotka on saatu sintraamalla yhteenliitetyistä piikarbidin rakeista, ovat laajalti käytössä autoteollisuudessa, mekaanisissa, kemiallisissa, puolijohde-, avaruusteknologia-, mikroelektroniikka- ja energiasektoreilla, ja ne täyttävät tärkeitä tehtäviä erilaisissa sovelluksissa näillä aloilla. Huomattavien ominaisuuksiensa ansiosta piikarbidikeraamisista rakenneosista on tullut ihanteellinen materiaali vaativiin olosuhteisiin, joille ovat ominaisia korkeat lämpötilat, korkeat paineet, korroosio ja hankaus, ja ne tarjoavat luotettavan suorituskyvyn ja pitkäikäisyyden haastavissa käyttöympäristöissä.**
Lue lisääLähetä kyselyAlumiinioksidikeraamiset laipat ovat suunniteltuja komponentteja, jotka tarjoavat huomattavia etuja erityisesti olosuhteissa, joissa lämpöstabiilisuus, painonäkökohdat ja korroosionkestävyys ovat ensiarvoisen tärkeitä. Nämä laipat eivät ole vain kestäviä ja luotettavia, vaan ne lisäävät myös niiden järjestelmien yleistä tehokkuutta ja kustannustehokkuutta, joissa niitä käytetään. Niiden ainutlaatuiset ominaisuudet tekevät niistä erinomaisen valinnan edistyneille suunnitteluratkaisuille useilla teollisuuden aloilla. Me Semicorexilla olemme omistautuneet valmistamaan ja toimittamaan korkean suorituskyvyn alumiinioksidikeraamisia laippoja, jotka yhdistävät laadun ja kustannustehokkuuden.**
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Alumina Vacuum Chuck on tarkkuuspitolaite, joka on suunniteltu edistyneisiin valmistus- ja tutkimussovelluksiin. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa*.
Lue lisääLähetä kysely