Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidin keraamiset komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme vaihtelee kiekkojen käsittelylaitteiden kulutusosista, kuten piikarbidikiekkovene, ulokelapat, putket jne. Epitaxy- tai MOCVD-laitteille.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidia (SiC), joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden sekä tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
Ulokemela →
Cantilever Paddle on keskeinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti diffuusio- tai LPCVD-uuneissa prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP.
Prosessiputki →
Prosessiputki on tärkeä komponentti, joka on erityisesti suunniteltu erilaisiin puolijohdekäsittelysovelluksiin, kuten RTP, diffuusio.
Vohveliveneet →
Wafer Boatia käytetään puolijohdeprosessoinnissa, ja se on huolellisesti suunniteltu varmistamaan, että herkät kiekot pysyvät turvassa tuotannon kriittisten vaiheiden aikana.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorex ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorexilla on myös keraamisia tuotteita alumiinioksidista (Al2O3), piinitridistä (Si3N4), alumiininitridistä (AIN), zirkoniumoksidista (ZrO2), komposiittikeramiikasta jne.
SiC Ceramic Seal Ring on tunnettu vankasta suorituskyvystään ja kestävyydestään. Semicorex tarjoaa korkealaatuisia SiC-keraamisia tiivisterenkaita, jotka täyttävät nykyaikaisen teollisuuden tiukat vaatimukset. Näistä renkaista on tullut välttämättömiä mekaanisten tiivisteiden tehokkuuden ja luotettavuuden parantamisessa.**
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Furnace Tube on korvaamaton voimavara puolijohdevalmistajille, jotka pyrkivät tehostamaan diffuusioprosessejaan. Vertaansa vailla olevien materiaaliominaisuuksiensa, tarkan suunnittelunsa ja helppokäyttöisyytensä ansiosta piikarbidiuuniputkimme on ihanteellinen ratkaisu tuoton ja tuotteen laadun parantamiseen. Luota Semicorexiin tarjoamaan huippuluokan ratkaisuja, joita tarvitset menestyäksesi nopeatempoisessa puolijohdemaailmassa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin SiC Plate on välttämätön työkalu kaikille LED-teollisuuden valmistajille, jotka haluavat optimoida ICP-etsausprosessinsa. Poikkeuksellisten materiaaliominaisuuksiensa, tarkan suunnittelunsa ja integroinnin helppouden ansiosta SiC-levymme on ihanteellinen valinta tehokkuuden ja tuotteiden laadun parantamiseen. Luota Semicorexiin, että se toimittaa ratkaisuja, joita tarvitset pysyäksesi puolijohdeteollisuuden eturintamassa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin AlN Heater on suunniteltu tukemaan ja lämmittämään piikiekkoja. Tämä erittäin puhtaasta alumiininitridistä (AlN) valmistettu lämmitin tarjoaa joukon edistyneitä ominaisuuksia, jotka vastaavat erilaisten erittäin tarkkojen sovellusten tarpeita, erityisesti puolijohdeteollisuudessa.**
Lue lisääLähetä kyselySemicorexin AIN-substraatti loistaa erinomaisessa lämmönhallinnassa ja sähköeristyksessä tarjoten vankan ratkaisun, joka on valmistettu erittäin puhtaasta AlN-keramiikasta. Tämä valkoinen keraaminen materiaali on ylistetty kattavista ominaisuuksistaan.**
Lue lisääLähetä kyselySemicorex esittelee ylpeänä Al2O3-substraatin, monipuolisen ja tehokkaan materiaalin, joka on valmistettu erittäin puhtaasta alumiinioksidista (alumiinioksidista). Tämä edistyksellinen keraaminen alusta on ylistetty sen poikkeuksellisista ominaisuuksista, mikä tekee siitä kulmakiven useilla korkean teknologian teollisuudenaloilla, mukaan lukien elektroniikka, optoelektroniikka ja kiinteäoksidipolttokennot.**
Lue lisääLähetä kysely