Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidin keraamiset komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme vaihtelee kiekkojen käsittelylaitteiden kulutusosista, kuten piikarbidikiekkovene, ulokelapat, putket jne. Epitaxy- tai MOCVD-laitteille.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidirakennetta (SiC), joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden, tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
Ulokemela →
Cantilever Paddle on keskeinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti diffuusio- tai LPCVD-uuneissa prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP.
Prosessiputki →
Prosessiputki on tärkeä komponentti, joka on erityisesti suunniteltu erilaisiin puolijohdekäsittelysovelluksiin, kuten RTP, diffuusio.
Vohveliveneet →
Wafer Boatia käytetään puolijohdeprosessoinnissa, ja se on huolellisesti suunniteltu varmistamaan, että herkät kiekot pysyvät turvassa tuotannon kriittisten vaiheiden aikana.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorex ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorexilla on myös keraamisia tuotteita alumiinioksidista (Al2O3), piinitridistä (Si3N4), alumiininitridistä (AIN), zirkoniumoksidista (ZrO2), komposiittikeramiikasta jne.
Semicorex-alumiininitridieristerenkaat ovat välttämättömiä komponentteja edistyneessä puolijohteiden valmistuksessa, erityisesti suurtaajuisissa lämpökäsittelyprosesseissa. Niiden ainutlaatuinen yhdistelmä korkean lämpötilan stabiilisuutta, ylivoimaisia tiivistysominaisuuksia, poikkeuksellista lämmönjohtavuutta ja luontaista kestävyyttä tekee niistä välttämättömiä tarkan prosessin ohjauksen, korkean laitteiden tuoton ja laitteiden pidennetyn käyttöiän varmistamiseksi puolijohteiden valmistuksen vaativassa ympäristössä. Me Semicorexilla olemme sitoutuneet valmistamaan ja toimittamaan korkean suorituskyvyn alumiininitridieristerenkaita, jotka yhdistävät laadun ja kustannustehokkuuden.**
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-alumiininitridielektrostaattiset istukat tarjoavat vakuuttavan yhdistelmän ominaisuuksia, jotka tekevät niistä ihanteellisen sopivia puolijohdekiekkojen käsittelyn vaativiin vaatimuksiin. Niiden kyky tarjota varma ja tasainen kiekkojen kiinnitys, erinomainen lämmönhallinta ja kestävyys ankaria prosessointiympäristöjä vastaan johtavat parantuneeseen laitteen suorituskykyyn, korkeampiin saantoihin ja alentuneisiin valmistuskustannuksiin. Me Semicorexilla olemme sitoutuneet valmistamaan ja toimittamaan korkean suorituskyvyn alumiininitridielektrostaattisia istukkaa, jotka yhdistävät laadun ja kustannustehokkuuden.**
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC -kiekkojen tarkastusistukat ovat edistyneen puolijohteiden valmistuksen kriittisiä mahdollistajia, jotka vastaavat kasvaviin tarkkuuden, puhtauden ja suorituskyvyn vaatimuksiin. Niiden ylivoimaiset materiaaliominaisuudet tuovat konkreettisia etuja koko kiekkojen valmistusprosessin ajan, mikä viime kädessä lisää tuottoa, parantaa laitteen suorituskykyä ja alentaa kokonaistuotantokustannuksia. Me Semicorexilla olemme sitoutuneet valmistamaan ja toimittamaan korkean suorituskyvyn piikarbidikiekkojen tarkastusistukat, jotka yhdistävät laadun ja kustannustehokkuuden.**
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Alumina Ceramic Robotic Arm, joka tunnetaan myös nimellä kiekkoja käsittelevä keraaminen robottivarsi tai keraaminen piikiekkojen käsittelyhaarukka, on korkean suorituskyvyn puolijohdelaitteiden komponentti. Sen suunnittelussa on otettu huomioon puolijohteiden valmistuksen tiukat vaatimukset. Korkean lämpötilan kestävyyden, kulutuskestävyyden, kemiallisen vakauden ja erinomaisten sähköeristysominaisuuksiensa ansiosta alumiinioksidikeraamivarrella on korvaamaton rooli maailmanlaajuisessa puolijohdeteollisuudessa. Me Semicorexilla olemme sitoutuneet valmistamaan ja toimittamaan korkean suorituskyvyn alumiinioksidikeraamista robottivartta, joka yhdistää laadun ja kustannustehokkuuden.**
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC -diffuusiouuniputken edistyneet materiaaliominaisuudet, mukaan lukien korkea taivutuslujuus, erinomainen hapettumisen ja korroosionkestävyys, korkea kulutuskestävyys, alhainen kitkakerroin, erinomaiset korkean lämpötilan mekaaniset ominaisuudet ja erittäin korkea puhtaus, tekevät siitä välttämättömän puolijohdeteollisuudessa , erityisesti diffuusiouunisovelluksiin. Me Semicorexilla olemme omistautuneet valmistamaan ja toimittamaan korkean suorituskyvyn piikarbididiffuusiouuniputkea, joka yhdistää laadun ja kustannustehokkuuden.**
Lue lisääLähetä kyselyLaadukkaiden materiaaliominaisuuksiensa ansiosta Semicorex SiC Diffusion Boat edustaa optimaalista toimivuutta useilla käyttöparametreilla: kovuus, kimmoisuus sekä lämpö- ja kemiallinen kestävyys jne. Tämä materiaalivalinta on ratkaisevan tärkeä kontaminaatioriskien vähentämisessä, kiekkojen suojaamisessa ja kestävyyden kannalta. Puolijohteiden valmistusprosesseissa vallitsevat vaativat olosuhteet. Me Semicorexilla olemme sitoutuneet valmistamaan ja toimittamaan korkean suorituskyvyn piikarbididiffuusioveneitä, jotka yhdistävät laadun ja kustannustehokkuuden.**
Lue lisääLähetä kysely