Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidin keraamiset komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme vaihtelee kiekkojen käsittelylaitteiden kulutusosista, kuten piikarbidikiekkovene, ulokelapat, putket jne. Epitaxy- tai MOCVD-laitteille.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidia (SiC), joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden sekä tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
Ulokemela →
Cantilever Paddle on keskeinen komponentti, jota käytetään puolijohteiden valmistusprosesseissa, erityisesti diffuusio- tai LPCVD-uuneissa prosesseissa, kuten diffuusio ja RTP.
Prosessiputki →
Prosessiputki on tärkeä komponentti, joka on erityisesti suunniteltu erilaisiin puolijohdekäsittelysovelluksiin, kuten RTP, diffuusio.
Vohveliveneet →
Wafer Boatia käytetään puolijohdeprosessoinnissa, ja se on huolellisesti suunniteltu varmistamaan, että herkät kiekot pysyvät turvassa tuotannon kriittisten vaiheiden aikana.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorex ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorexilla on myös keraamisia tuotteita alumiinioksidista (Al2O3), piinitridistä (Si3N4), alumiininitridistä (AIN), zirkoniumoksidista (ZrO2), komposiittikeramiikasta jne.
Semicorexin esittämä piinitriditela on valmistettu kaasupainesintratusta piinitridistä (Si3N4), joka on korkean suorituskyvyn keraaminen materiaali.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC pyörivä tiivisterengas on suunniteltu toimimaan korkean paineen ja korkean lämpötilan olosuhteissa. Sen vakaus ja kestävyys tällaisissa ympäristöissä tekevät siitä korvaamattoman osan tiivistyssovelluksissa, joissa perinteiset materiaalit saattavat epäonnistua.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Robot Arm on korkean suorituskyvyn piikarbidikeraaminen robottikäsivarsi, joka on suunniteltu tarkkuuteen ja kestävyyteen puolijohteiden valmistusprosesseissa. Valitse Semicorex, jotta voimme tarjota innovatiivisia, luotettavia ja laadukkaita ratkaisuja puolijohdeteollisuuden tarpeisiin.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC -veneet ovat korkean suorituskyvyn keraamisia piikarbidikiekon pidikkeitä, jotka on suunniteltu tarkkuuteen ja kestävyyteen diffuusioprosesseissa. Valitse Semicorex saadaksesi vertaansa vailla olevaa laatua, alan asiantuntemusta ja räätälöityjä ratkaisuja, jotka optimoivat valmistustehokkuutta.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Wafer Boat Holder on erittäin puhdas piikarbidikeraaminen komponentti, joka on suunniteltu N-tyypin TOPCon-prosessiin aurinkokennojen diffuusiossa ja tarjoaa poikkeuksellisen tarkkuuden, kestävyyden ja luotettavuuden. Valitse Semicorex, jos haluat puolijohdemateriaalien innovatiivisia ratkaisuja, joiden taustalla on vertaansa vailla oleva asiantuntemus ja sitoutuminen laatuun.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Silicon Carbide Wafer Boats ovat puolijohteiden ja aurinkosähköjen valmistukseen tarkoitettuja osia, jotka tarjoavat erinomaisen lämpöstabiilisuuden, mekaanisen lujuuden ja kemiallisen kestävyyden. Valitse Semicorex sen huipputeknologian, erinomaisen materiaalilaadun ja sitoutumisen vuoksi toimittamaan luotettavia, pitkäikäisiä tuotteita, jotka täyttävät kehittyneiden teollisten prosessien vaatimukset.*
Lue lisääLähetä kysely