CVD SiC-pinnoitetut ylemmät maadoitusrenkaat

CVD SiC-pinnoitettuja ylempiä maadoitusrenkaita asennetaan tyypillisesti plasmaetsauslaitteiston reaktiokammion yläalueelle, joka ympäröi kiekon sähköstaattista istukkaa. CVD SiC -pinnoitetut ylämaarenkaat ovat elintärkeitä koko etsausjärjestelmälle, joka voi toimia fyysisenä esteenä suojaten laitteen komponentteja plasmahyökkäykseltä ja säätää sisäistä sähkökenttää ja rajoittaa plasman jakautumisaluetta tasaisen syövytyksen varmistamiseksi.

Plasmaetsaus on puolijohdevalmistuksessa laajalti käytetty kuivaetsaustekniikka, joka toimii hyödyntämällä plasman ja puolijohdemateriaalien pinnan välisiä fysikaalisia ja kemiallisia vuorovaikutuksia poistamaan valikoivasti tiettyjä alueita, jolloin saadaan aikaan tarkkuusrakenteiden käsittely. Vaativassa plasmaetsauksen ympäristössä korkeaenerginen plasma aiheuttaa aggressiivista korroosiota ja hyökkäystä reaktiokammion sisällä oleviin komponentteihin. Luotettavan ja tehokkaan toiminnan varmistamiseksi kammion osilla on oltava erinomainen korroosionkestävyys, mekaaniset ominaisuudet ja alhaiset kontaminaatioominaisuudet. Semicorex CVD SiC -pinnoitetut ylemmän maadoitusrenkaat on suunniteltu täydellisesti näihin ankariin, korkean korroosion käyttöympäristöihin.

Luotettava CVD SiC -pinnoite

Semicorex CVD SiC -pinnoitetut ylemmän maadoitusrenkaat on päällystetty tehokkaalla CVD SiC -pinnoitteella, mikä parantaa entisestään niiden suorituskykyä ja kestävyyttä.

1. Erittäin puhdas

TheSiC pinnoiteValmistettu CVD-prosessilla, ja siinä on erinomainen tiivistys erittäin puhtaalla (puhtaus yli 99,9999%), mikä voi estää Semicorex CVD SiC -pinnoitettuja ylempiä maarenkaita korkean energian plasmahyökkäyksestä etsaussovelluksissa, jolloin vältetään matriiseista peräisin olevien epäpuhtaushiukkasten aiheuttama kontaminaatio.

2. Parempi korroosionkestävyys

CVD-prosessilla valmistettu SiC-pinnoite tarjoaa paremman korroosionkestävyyden, minkä ansiosta Semicorex CVD:llä päällystetyt ylemmän maadoitusrenkaat kestävät tehokkaasti plasman aiheuttamaa haastavaa korroosiota (erityisesti syövyttäviä kaasuja, kuten halogeeneja ja fluoria).

3. Parannetut mekaaniset ominaisuudet

Semicorex CVD SiC -pinnoitetut ylemmät maadoitusrenkaat kestävät intensiivistä plasmapommittelua, mekaanista rasitusta ja toistuvaa käsittelyä ilman muodonmuutoksia tai murtumia pitkäaikaisen käytön aikana CVD SiC -pinnoitteen parannetun kovuuden ja kulutuskestävyyden ansiosta.

Korkeatasoinen käsittely ja laaduntarkastus

Sopeutuakseen täydellisesti vaativiin puolijohteiden etsausolosuhteisiin, Semicorex CVD SiC -pinnoitetut ylämaarenkaat läpikäyvät tarkan koneistuksen ja tiukan tarkastuksen.

Pintakäsittely: Kiillotustarkkuus on Ra < 0,1 µm; hienohiontatarkkuus on Ra > 0,1 µm

Käsittelyn tarkkuus on ≤ 0,03 mm

Laaduntarkastus:

Semicorex solid CVD SiC -renkaille tehdään ICP-MS (induktiivisesti kytketty plasmamassaspektrometria) -analyysi. Semicorex solid CVD SiC -renkaille tehdään mittamittaus, resistiivisyystestaus ja visuaalinen tarkastus, mikä takaa, että tuotteissa ei ole siruja, naarmuja, halkeamia, tahroja ja muita vikoja.