SiC-pinnoitetut kaasunsiirtolevyt

Semicorex on hieno esimerkki edistyneistä puolijohdelaatuisista materiaaleista ja huippuluokan valmistustekniikoistaSiC-pinnoitettukaasunohjauslevyt on valmistettu tarkasti erittäin puhtaasta grafiitista niiden matriiseina, joissa on tiheä piikarbidipinnoite kemiallisen höyrypinnoituksen avulla. Kaasunohjauslevyt on suunniteltu pääasiassa jakamaan reaktiokaasu tasaisesti kiekon pinnalle, jotta varmistetaan täydelliset reaktiot käsittelyn aikana, mikä helpottaa yhtenäisten ja yhtenäisten yksikiteisten ohuiden kalvojen muodostumista.

Semicorex SiC -pinnoitettujen kaasunohjauslevyjen edut

1. Korkea materiaalin puhtaus

Semicorex noudattaa tiukkoja tuotteiden laatustandardeja huolellisesta materiaalivalinnasta alkaen. Tämän raaka-aineen tiukan puhtausvalvonnan ansiosta Semicorex SiC -pinnoitetut kaasunpoistolevyt tarjoavat alhaisen epäpuhtauspitoisuuden ja tarjoavat erinomaisen puhtauden. Tämä voi merkittävästi estää metalli-ioneja ja muita epäpuhtauksia vaarantamasta puolijohteiden epitaksiaalisia prosesseja.

2. Erinomainen lämmönkestävyys

Näissä järjestelmissä käytettäviltä komponenteilta vaaditaan poikkeuksellista lämpöstabiilisuutta, koska puolijohdeepitaksilaitteet toimivat tyypillisesti yli 1400 °C:n lämpötiloissa. Tämä poikkeuksellinen lämmönkestävyys voi varmistaa, että Semicorex SiC -pinnoitetut kaasunohjauslevyt kestävät haastavia korkean lämpötilan käyttöolosuhteita ja voivat tehokkaasti estää korkean lämpötilan aiheuttaman epäpuhtauksien vapautumisen käytön aikana, mikä auttaa takaamaan epitaksiaalisten kiekkojen laadun ja tuoton.

3. Huomattava korkean lämpötilan korroosionkestävyys

Suojaamattomat grafiittimatriisit ovat alttiita korroosiolle ja hiukkasten muodostumiselle, minkä vuoksi kaasunpoistolevyt käsitellään yleensä piikarbidipinnoitteella niiden korroosionkestävyyden parantamiseksi. Tiheällä piikarbidipinnoitteella päällystetyt Semicorex SiC -pinnoitetut kaasunpoistolevyt tarjoavat erinomaisen hapettumisen ja kemiallisen korroosionkestävyyden, minkä ansiosta ne toimivat tasaisesti pitkän käyttöiän ajan jopa haastavissa korkeissa lämpötiloissa ja syövyttävissä käyttöolosuhteissa.

4. Joustavat mukautusmahdollisuudet

Semicorex on varustettu useilla edistyneillä prosessointilaitteilla, kuten CNC-työstölaitteet, pintahiomakoneet ja ultraääniporauslaitteet, jotka tarjoavat kokeneita prosessointiominaisuuksia. Semicorex pystyy tarjoamaan joustavia räätälöintipalveluita asiakkaan piirustusten mukaan ja räätälöimään SiC-pinnoitettujen kaasunohjauslevyjen mitat, toleranssit, pinnan tasaisuuden, reikien halkaisijat ja reikien etäisyydet varmistaakseen saumattoman yhteensopivuuden asiakkaiden epitaksiaalisten laitteiden kanssa.