Ammattimaisena valmistajana haluamme tarjota sinulle puolijohdekomponentteja. Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidilla päällystetyt komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme ulottuu grafiittitarvikkeista kiteenviljelyn kuumille vyöhykkeille (lämmittimet, upokassuskeptorit, eristeet) erittäin tarkkoihin grafiittikomponentteihin kiekkojen käsittelylaitteisiin, kuten piikarbidilla päällystettyihin grafiittisuskeptoreihin Epitaxy- tai MOCVD-käyttöön.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidilla (SiC) päällystettyä grafiittirakennetta, joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden sekä tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
End Effector →
Pääteefektori on robotin käsi, joka siirtää puolijohdekiekkoja kiekkojen käsittelylaitteiston ja alustan asemien välillä.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorexin ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorex SiC Heating Filament on piikarbidilla päällystetty grafiittilämmitin, joka on suunniteltu kiekkojen lämmitykseen edistyneessä puolijohdevalmistuksessa. Semicorexin valitseminen tarkoittaa luotettavan kumppanin valitsemista, joka toimittaa erittäin puhtaita materiaaleja, tarkkoja räätälöityjä ja pitkäkestoista suorituskykyä vaativimpiin lämpöprosesseihin.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-piikarbidiistukat on suunniteltu erityisesti valolitografialaitteita varten, ja niillä on useita etuja, kuten suuri tarkkuus, erittäin kevyt paino, korkea jäykkyys, alhainen lämpölaajenemiskerroin ja erinomainen kulutuskestävyys.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Furnace Tubes ovat erittäin puhtaita piikarbidiputkia, jotka on valmistettu edistyneellä 3D-tulostustekniikalla ja jotka on suunniteltu korkean lämpötilan aurinkosähköprosesseihin. Semicorex toimittaa huippuluokan piikarbidiratkaisuja, joilla on erinomainen lujuus, vakaus ja luotettavuus, joihin aurinkoenergiateollisuus luottaa maailmanlaajuisesti.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Paddles ovat erittäin puhdasta piikarbidista valmistettua ulokevartta, joka on suunniteltu kiekkojen kuljetukseen korkean lämpötilan hapetus- ja diffuusiouuneissa yli 1000 ℃. Semicorexin valitseminen tarkoittaa poikkeuksellisen materiaalilaadun, tarkkuussuunnittelun ja pitkän aikavälin luotettavuuden varmistamista, joihin johtavat puolijohdevalmistajat luottavat.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Focus Ring on erittäin puhdas piikarbidirengaskomponentti, joka on suunniteltu optimoimaan plasman jakautuminen ja kiekkoprosessin tasaisuus puolijohteiden valmistuksessa. Semicorexin valitseminen tarkoittaa tasaisen laadun, edistyneen materiaalisuunnittelun ja luotettavan suorituskyvyn varmistamista, joihin johtavat puolijohdevalmistajat luottavat maailmanlaajuisesti.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-kiekkojen reunan hioma-chuck on keraaminen levy, joka on valmistettu korkean puhtaan valkoisesta alumiinioksidista, joka on suunniteltu kiekkojen reunan hiontaan puolijohteiden valmistuksessa. Semicorexin valitseminen varmistaa erinomaisen materiaalin laadun, tarkkuustekniikan ja luotettavan suorituskyvyn, jotka tukevat vaativimpia kiekkojen käsittelyympäristöjä.*
Lue lisääLähetä kysely