Silikoniset etsausrenkaat

Piietsausrenkaat ovat olennaisia ​​komponentteja CCP/ICP-etsauslaitteiston plasmaetsauskammiossa, ja ne sijoitetaan tyypillisesti puolijohdekiekon ympärille. Niiden ensisijainen tehtävä on tukea puolijohdekiekkoa, ylläpitää tasaista plasman jakautumista, suojata kiekon reunaa ja auttaa näin luomaan optimaaliset toimintaolosuhteet plasmaetsausprosessille.

Semicorex-piietsausrenkaiden edut

1. Ensiluokkainen materiaalivalinta

Semicorex-piietsausrenkaat on valmistettu huolellisesti valitusta erittäin puhtaasta MCZ:stäyksikiteinen pii, joka tarjoaa seuraavat erinomaiset ominaisuudet verrattuna perinteiseen CZ-monokiteiseen piin.

Korkea puhtaus: Puhtaus on yli 99,9999999%, mikä tarkoittaa, että Semicorex-piietsausrenkaat eivät sisällä lähes lainkaan epäpuhtauksia. Tämä erittäin puhtaus voi tehokkaasti välttää komponenttien epäpuhtauksien aiheuttamat häiriöt etsausprosessin aikana, mikä takaa korkean etsaustarkkuuden.

Vakaa rakenne: MCZ-monokiteisellä piillä on ylivoimainen kiderakenne, jossa on vähemmän vikoja kuin perinteisellä CZ-monokiteisellä piillä. Tämä vakaa kiderakenne antaa Semicorex-piietsausrenkaille paremman korroosionkestävyyden plasmakorroosiota vastaan ​​ja mahdollistaa niiden kestämisen ankarissa etsauskäyttöolosuhteissa.

Erinomainen resistiivisyyden tasaisuus:Semicorex-piietsausrenkaattuottaa poikkeuksellisen tasaisen vastuksen, kun RRG < 5 %. Low Res. (<0,02 Ω·cm), Keskires. (0,2–25 Ω·cm), korkea resoluutio (> 100 Ω·cm). Tämä erinomainen resistiivisyyden tasaisuus voi minimoida epätasaisen plasman jakautumisen, joka johtuu liian suuresta tai pienestä resistanssista, mikä edistää ihanteellista sähkökenttää erittäin tarkkaan plasmaetsaukseen.

2. Tarkkuuskäsittely ja tiukka laaduntarkastus

Semicorexilla on kokenut tekninen tiimi, joka voi tarjota henkilökohtaisia ​​räätälöityjä ja teknisiä arviointeja arvostetuille asiakkaillemme, ja se on myös luonut järjestelmälliset käsittely- ja tarkastusmenettelyt tuotteiden laadun takaamiseksi.

Joustavat räätälöintipalvelut: Semicorex tukee asiakkaan piirustusten mukaista räätälöintiä, ja piietsausrenkaiden suurin mukautettu halkaisija voi olla jopa 470 mm.

Korkeatasoinen pintakäsittely: Kiillotustarkkuutta voidaan valvoa tiukasti Ra < 0,1 µm:n rajoissa, ja hienohionnalla saadaan pintakäsittely Ra > 0,1 µm.

Tiukka laaduntarkastus: Mittausmittauksella, resistiivisyystestauksella ja visuaalisella tarkastuksella varmistetaan, että piietsausrenkaissa ei ole siruja, naarmuja, halkeamia, tahroja ja muita vikoja.