CVD SiC-pinnoitetut uuniputket

Semicorex CVD SiC-pinnoitettuuunin putketovat halkaisijaltaan suuria prosessiputkia, jotka tarjoavat vakaan reaktiokammion puolijohdekiekon käsittelyyn korkeassa lämpötilassa. Ne on tehty toimimaan ilmakehissä, jotka sisältävät happea (reagenssikaasu), typpeä (suojakaasu) ja pieniä määriä kloorivetyä, ja niiden vakaa käyttölämpötila on noin 1250 celsiusastetta.

Semicorex CVD SiC -pinnoitettujen uuniputkien edut

1. Kehittynyt muovaustekniikka ja joustava räätälöity valmistus

Muodostettu 3D-tulostustekniikalla, SemicorexCVD SiC-pinnoitetuissa uuniputkissa on saumaton, kiinteä keraaminen rakenne ilman heikkoja kohtia. Tämä muovaustekniikka takaa poikkeuksellisen kaasutiiviin tiiviyden, joka estää tehokkaasti ulkoiset epäpuhtaudet ja ylläpitää puolijohdekiekkojen käsittelyyn tarvittavan lämpötilan, paineen ja ilmakehän ympäristöt.

Lisäksi 3D-tulostustekniikka tukee myös monimutkaisen muodon tuotantoa ja tarkkaa mittasäätöä. Räätälöityjä tuotteita on saatavana halkaisijan, pituuden, seinämän paksuuden ja toleranssien mukaan eri vaatimusten mukaisesti, jotta varmistetaan täydellinen yhteensopivuus asiakkaiden pysty- tai vaaka-uunien kanssa.

2. Huolellinen materiaalin valinta ja puhtauden valvonta

Semicorex CVD SiC -pinnoitetut uuniputket on valmistettu huolellisesti valitusta puolijohdelaatuisesta erittäin puhtaasta materiaalista. Niiden matriisin epäpuhtauspitoisuus on säädetty alle 300 PPM:ään ja CVD SiC -pinnoitteen epäpuhtauspitoisuus rajoitetaan alle 5 PPM:ään. Tämä tiukka puhtauden säätö vähentää merkittävästi korkean lämpötilan käyttöolosuhteissa saostuvien metalliepäpuhtauksien aiheuttamaa kiekkojen kontaminaatiota, mikä parantaa huomattavasti lopullisten puolijohdelaitteiden saantoa ja suorituskykyä. Lisäksi CVD SiC -pinnoitteen käyttö parantaa Semicorex CVD SiC -pinnoitettujen uuniputkien korkeiden lämpötilojen kestävyyttä, kemiallista korroosionkestävyyttä ja lämpöstabiilisuutta, mikä pidentää huomattavasti niiden käyttöikää ankarissa käyttöolosuhteissa.

Semicorex CVD SiC -pinnoitetut uuniputket tarjoavat monia etuja, ja ne pystyvät tarjoamaan vakaan, sopivan ja erittäin puhtaan reaktiotilan puolijohdekiekkojen käsittelyyn. Tasainen lämpötilan jakautuminen ja tasainen kaasuilmapiiri uuneissa, jotka Semicorex CVD SiC -pinnoitettujen uuniputkien mahdollistavat, auttavat saavuttamaan tarkemman seostusdiffuusio, lämpöhapetus, hehkutus ja ohutkalvopinnoitus.