Ammattimaisena valmistajana haluamme tarjota sinulle puolijohdekomponentteja. Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidilla päällystetyt komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme ulottuu grafiittitarvikkeista kiteenviljelyn kuumille vyöhykkeille (lämmittimet, upokassuskeptorit, eristeet) erittäin tarkkoihin grafiittikomponentteihin kiekkojen käsittelylaitteisiin, kuten piikarbidilla päällystettyihin grafiittisuskeptoreihin Epitaxy- tai MOCVD-käyttöön.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidilla (SiC) päällystettyä grafiittirakennetta, joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden sekä tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
End Effector →
Pääteefektori on robotin käsi, joka siirtää puolijohdekiekkoja kiekkojen käsittelylaitteiston ja alustan asemien välillä.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorexin ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorex-sic-sormet ovat tarkkuusmuodostettuja komponentteja, jotka on valmistettu korkeapuhtaasta piikarbidista, jotka on suunniteltu suorittamaan puolijohdevalmistuksen äärimmäisten vaatimusten mukaisesti. Semicorexin valitseminen tarkoittaa pääsyä edistyneeseen materiaaliosaamiseen, korkean tarkkuuden käsittelyyn ja luotettaviin ratkaisuihin, jotka luottavat kriittisiin kiekkojen käsittelysovelluksiin.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC-kansi on erittäin puhdas piikarbidikomponentti, joka on suunniteltu äärimmäisiin puolijohdeprosessointiympäristöihin. Semicorexin valitseminen tarkoittaa vertaansa vailla olevaa materiaalin laatua, tarkkuustekniikkaa ja räätälöityjä ratkaisuja, joihin johtavat puolijohteiden valmistajat luottavat ympäri maailmaa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-piielektrodit ovat korkean suorituskyvyn komponentteja, jotka yhdistävät tehokkaan sähköjohdon tarkkoihin kaasun jakautumisominaisuuksiin. Semicorexin valitseminen tarkoittaa kumppanuutta luotettavan asiantuntijan kanssa, joka tarjoaa parempaa laatua, edistyneitä valmistustekniikoita ja luotettavia, muokattavia piielektrodiratkaisuja, jotka on räätälöity erityistarpeisiisi.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex-piidomeneet ovat erittäin puhtaita piitaikantoa, joka on suunniteltu kidekasvuun, puolijohde- ja aurinkosähkövalmistusprosesseihin, mikä tarjoaa poikkeuksellisen lämpöstabiilisuuden ja saastumisen hallinnan. Semicorexin valitseminen tarkoittaa tarkkuuden suunnittelemien veneiden käyttöä tiukassa laadunvalvonnassa johdonmukaisen suorituskyvyn varmistamiseksi vaativimmissa ympäristöissä.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Coating Heaterin CVD SiC -pinnoite tarjoaa erinomaisen suorituskyvyn lämmityselementtien suojaamisessa ankarilta, syövyttäviltä ja reaktiivisilta ympäristöiltä, joita usein kohdataan prosesseissa, kuten metalli-orgaaninen kemiallinen höyrypinnoitus (MOCVD) ja epitaksiaalinen kasvu.**
Lue lisääLähetä kyselyKaasunjakelulevynä tai kaasusuihkupäänä tunnettu metallisuihkupää on kriittinen komponentti, jota käytetään laajasti puolijohteiden valmistusprosesseissa. Sen ensisijainen tehtävä on jakaa kaasut tasaisesti reaktiokammioon varmistaen, että puolijohdemateriaalit joutuvat tasaisesti kosketukseen prosessin kanssa. kaasut.**
Lue lisääLähetä kysely