Ammattimaisena valmistajana haluamme tarjota sinulle puolijohdekomponentteja. Semicorex on kumppanisi puolijohdekäsittelyn parantamisessa. Piikarbidipinnoitteemme ovat tiheitä, korkeita lämpötiloja ja kemikaaleja kestäviä, ja niitä käytetään usein koko puolijohteiden valmistuksen syklissä, mukaan lukien puolijohdekiekkojen ja -kiekkojen käsittely ja puolijohteiden valmistus.
Erittäin puhtaat piikarbidilla päällystetyt komponentit ovat keskeisiä puolijohteen prosesseissa. Valikoimamme ulottuu grafiittitarvikkeista kiteenviljelyn kuumille vyöhykkeille (lämmittimet, upokassuskeptorit, eristeet) erittäin tarkkoihin grafiittikomponentteihin kiekkojen käsittelylaitteisiin, kuten piikarbidilla päällystettyihin grafiittisuskeptoreihin Epitaxy- tai MOCVD-käyttöön.
Edut puolijohdeprosesseille
Ohutkalvopinnoitusvaiheiden, kuten epitaksia tai MOCVD:tä, tai kiekkojen käsittelyprosessin, kuten etsauksen tai ioni-implanttien, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidilla (SiC) päällystettyä grafiittirakennetta, joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden ja kestävän kemiallisen kestävyyden sekä tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden takaamiseksi.
Kammion kannet →
Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävien kammiokansien on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta.
End Effector →
Pääteefektori on robotin käsi, joka siirtää puolijohdekiekkoja kiekkojen käsittelylaitteiston ja alustan asemien välillä.
Tulorenkaat →
SiC-pinnoitettu kaasun sisääntulorengas MOCVD-laitteistolla Yhdistelmäkasvulla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, joka on erittäin stabiili äärimmäisissä olosuhteissa.
Tarkennusrengas →
Semicorex toimittaa piikarbidilla päällystetty tarkennusrengas on todella vakaa RTA-, RTP- tai voimakkaaseen kemialliseen puhdistukseen.
Wafer Chuck →
Semicorexin ultralitteät keraamiset tyhjiökiekkojen istukat on erittäin puhdasta piikarbidia, jota käytetään kiekkojen käsittelyprosessissa.
Semicorex Silicon Jalusta Boat on 9N erittäin puhdas kiekkojen alusta, joka on suunniteltu tarkkaan ja vakaaseen kiekkojen tukemiseen korkean lämpötilan hapetus-, diffuusio- ja LPCVD-prosesseissa. Valitse Semicorex vertaansa vailla olevan materiaalin puhtauden, tarkan koneistuksen ja todistetun luotettavuuden vuoksi*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Silicon Injector on erittäin puhdas putkimainen komponentti, joka on suunniteltu tarkkaan ja kontaminaatiovapaaseen kaasun toimitukseen LPCVD-polypiipinnoitusprosesseissa. Valitse Semicorex alan johtavaan puhtauteen, tarkkaan koneistukseen ja todistettuun luotettavuuteen.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Silicon Wafer Boat on erittäin puhdas kantoaine, joka on suunniteltu korkean lämpötilan puolijohdeuuneihin, ja se tukee kiekkoja hapetus- ja pelkistysprosesseissa 1200–1250 °C:ssa. Semicorex tarjoaa ylivertaisia tuotteita, erittäin puhtaan suorituskyvyn ja luotettavia tuloksia, jotka parantavat suoraan laitteen tuottoa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex Silicon Shield Ring on erittäin puhdas piikomponentti, joka on suunniteltu edistyneisiin plasmaetsausjärjestelmiin ja joka toimii sekä suojasuojana että apuelektrodina. Semicorex varmistaa erittäin puhtaan suorituskyvyn, prosessin vakauden ja erinomaiset etsaustulokset tarkasti suunnitelluilla puolijohdekomponenteilla.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC Ceramic Paddle on erittäin puhdas ulokekomponentti, joka on suunniteltu korkean lämpötilan puolijohdeuuneihin ja jota käytetään pääasiassa hapetus- ja diffuusioprosesseissa. Semicorexin valitseminen tarkoittaa, että pääset käyttämään edistyneitä keraamisia ratkaisuja, jotka takaavat poikkeuksellisen vakauden, puhtauden ja kestävyyden kriittisissä kiekkojen käsittelysovelluksissa.*
Lue lisääLähetä kyselySemicorex SiC -pinnoitetut Halfmoon Parts ovat tarkasti suunniteltuja komponentteja, jotka on suunniteltu olennaiseksi osaksi epitaksiaalilaitteita, joissa kaksi puolikuun muotoista osaa muodostavat täydellisen ydinkokoonpanon. Semicorexin valitseminen tarkoittaa luotettavien, erittäin puhtaiden ja kestävien ratkaisujen varmistamista, jotka takaavat vakaan kiekon tuen ja tehokkaan lämmönjohtavuuden kehittyneelle puolijohdevalmistukselle.*
Lue lisääLähetä kysely