Yksikiteiset piielektrodit

Yksikiteiset piielektroditasennetaan tyypillisesti etsauskammion yläosaan, joka toimii ylempänä elektrodina. Yksikiteisten piielektrodien pinnalla on tasaisesti jakautuneita mikroreikiä, jotka voivat viedä syövytyskaasua tasaisesti reaktiokammioon. Syövytysprosessin aikana ne työskentelevät alemman elektrodin kanssa tasaisen sähkökentän luomiseksi, mikä osaltaan tarjoaa ihanteelliset toimintaolosuhteet tarkkuusetsaukselle.

Huolelliset materiaalivalinnat

Semicorex valitsee korkealaatuisen MCZ-kasvatetun monokiteisen piin valmistaakseen yksikiteisiä piielektrodeja, jotka tarjoavat alan johtavan tuotteen suorituskyvyn ja laadun.

1. Erittäin puhdas

Semicorex-yksikiteisillä piielektrodeilla on erittäin korkea puhtausaste, yli 99,9999999%, mikä tarkoittaa, että sisäisten metalliepäpuhtauksien pitoisuus on erittäin alhainen.

2. Poikkeuksellinen vastuksen tasaisuus

Poikkeaa perinteisestä CZ-yksikiteisestä piistä, Semicorexin käyttämä MCZ-kasvatettu yksikiteinen pii saavuttaa resistiivisyyden tasaisuuden alle 5 %. Sen matala res. ohjataan alle 0,02 Ω·cm, keskiresoluutio. on välillä 0,2 - 25 Ω·cm ja korkea resoluutio. on välillä 70-90 Ω·cm (muokkaus on saatavilla pyynnöstä).

3. Erinomainen materiaalirakenne

MCZ-menetelmällä kasvatettu yksikiteinen pii tarjoaa vakaamman rakenteen ja vähemmän vikoja, minkä ansiosta Semicorexin yksikiteiset piielektrodit tarjoavat huomattavan plasmakorroosionkestävyyden ja kestävät ankarat etsauskäyttöolosuhteet.

---

Korkeatasoinen käsittelytarkkuus

Semicorexyksikiteinen piielektrodit valmistetaan täydellisen tuotantoprosessin kautta piiharkista valmiisiin tuotteisiin, mukaan lukien viipalointi, pintahionta, reikien poraus, märkäsyövytys ja pinnan kiillotus. Semicorex ylläpitää tiukkaa tarkkuusohjausta jokaisessa vaiheessa varmistaakseen, että elektrodien halkaisija, paksuus, pinnan tasoisuus, reikien etäisyys ja aukko pysyvät ihanteellisissa toleransseissa.

1. Mikroreikien käsittely

Yksikiteisten piielektrodien mikrorei'issä on tasaiset etäisyydet ja tasaiset halkaisijat (vaihtelevat 0,2-0,8 mm), ja sisäseinät ovat sileät ja purseet. Tämä takaa tehokkaasti tasaisen ja vakaan etsauskaasun syötön, mikä varmistaa kiekkojen etsauksen tasaisuuden ja tarkkuuden.

2. Käsittelyn tarkkuus

Yksikiteisten Semicorex-piielektrodien käsittelytarkkuutta säädetään 0,3 mm:n sisällä, ja niiden kiillotustarkkuutta voidaan valvoa tiukasti alle 0,1 µm:n ja hienohionta on alle 1,6 µm.