SiC prosessiputket

Semicorex SiC prosessiputket ovat tärkeitä rakenteellisia komponentteja hapetuksessa, diffuusiossa ja RTA/RTP:ssä puolijohteiden valmistusprosessissa. Se on yleensä halkaisijaltaan suuri putki reaktoriuunitilana, kaikki kemialliset prosessit tapahtuvat sisällä. Joten lujuus ja lämpöiskun kestävyys ovat molemmat hyvin peruspisteitä tuotteelle.

SiC-prosessiputket ovat valmistaneetsintrattu piikarbidi, se voi olla SiSiC, SSiC tai RSiC, ja pinnalla oleva CVD SiC -pinnoite, joka muodostaa erittäin puhtaan kerroksen. Se voi estää hiukkasten, tuhkan jne. aiheuttaman saastumisen. Ja materiaalilla on erittäin korkea lämpöiskun kestävyys, joten piikarbidiprosessiputket voivat pysyä vakaina korkeissa lämpötiloissa ja estää epäpuhtauksia saostumasta korkeissa lämpötiloissa ja siten saastuttamasta ympäristöä.

Nämä piikarbidiprosessiputket on suunniteltu käytettäväksi ilmakehissä, joissa on reaktiivista kaasua (happi), suojakaasua (typpi) ja minimaalisia määriä kloorivetyä, ja ne tarjoavat erinomaisen kemiallisen kestävyyden, lämpöstabiilisuuden ja materiaalin puhtauden 1250 °C:seen asti. Semicorex SiC -prosessiputket yhdistävät huippuluokan 3D-tulostuksen valmistuksen kemialliseen höyrypinnoituspinnoitteeseen (CVD) ja tarjoavat erinomaisen suorituskyvyn ja käyttöiän äärimmäisissä lämpö- ja kemiallisissa olosuhteissa.

Semicorex SiC -prosessiputket valmistetaan 3D-tulostukseen integroidulla muovausprosessilla tavanomaisen puristusmuovatun tai kootun putken sijaan. Tämä valmistusprosessi mahdollistaa jatkuvan, yhtenäisen keraamisen rakenteen ilman liitoksia ja heikkoja alueita, mikä luo korkean monimutkaisuuden ja mittatarkkuuden, mikä voi lievittää jännityskeskittymiä ja parantaa mekaanista lujuutta. Lisäksi monoliittinen rakenne tarjoaa maakaasutiiviin tiivisteen, mikä vähentää saastumista ja vuotoja korkean lämpötilan prosesseissa.

TheSiCrungon on erittäin vähän epäpuhtauksia sisältävä materiaali (< 300 ppm), joka tarjoaa erinomaisen materiaalin puhtauden ja stabiilisuuden reaktiivisissa ilmakehissä. Lisäksi putki on päällystetty CVD-piikarbidikerroksella (< 5 ppm) korroosionkestävyyden ja pinnan suojauksen parantamiseksi.

Semicorex tarjoaa räätälöidyn palvelun, voimme tuottaa asiakkaiden piirustusten mukaan vaadittujen eritelmien vaatimusten mukaisesti. Joten Semicorex SiC -prosessiputket voivat vaihtoehtoisesti soveltua paitsi vaakasuuntaisiin uuneihin myös pystyuuneihin.