Silikonietsauslevy PSS-etsaussovelluksiin

Semicorexin Silicon Etch Plate PSS-etsaussovelluksiin on korkealaatuinen, erittäin puhdas grafiittipidike, joka on suunniteltu erityisesti epitaksiaaliseen kasvuun ja kiekkojen käsittelyprosesseihin. Telineemme kestää kovia ympäristöjä, korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. PSS-etsaussovelluksiin tarkoitetulla piietsauslevyllä on erinomaiset lämmönjakoominaisuudet, korkea lämmönjohtavuus ja se on kustannustehokas. Tuotteitamme käytetään laajasti monilla Euroopan ja Amerikan markkinoilla, ja odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksi Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorexin Silicon Etch Plate PSS-etsaussovelluksiin on suunniteltu vaativimpiin epitaksilaitesovelluksiin. Äärimmäisen puhdas grafiittitelineemme kestää kovia ympäristöjä, korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. SiC-päällysteisellä kantoaineella on erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet, korkea lämmönjohtavuus ja se on kustannustehokas.

Piietsauslevyn parametrit PSS-etsaussovelluksiin

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC p-vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Raekoko	μm	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J kg-1 K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin Modulus	Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtavuus	(W/mK)	300