PSS-etsausalusta kiekkojen käsittelyyn

Semicorexin PSS-etsaustelineet kiekkojen käsittelyyn on suunniteltu erityisesti vaativiin epitaksilaitesovelluksiin. Ultrapuhdas grafiittialustamme on ihanteellinen ohutkalvopinnoitusvaiheisiin, kuten MOCVD, epitaksisuskeptorit, pannukakku- tai satelliittialustoille sekä kiekkojen käsittelyyn, kuten etsaukseen. Kiekkojen käsittelyyn tarkoitetulla PSS-etsausalustalla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet ja korkea lämmönjohtavuus. Tuotteemme ovat kustannustehokkaita ja niillä on hyvä hintaetu. Palvelemme monia Euroopan ja Amerikan markkinoita ja odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorexin PSS-etsausalusta kiekkojen käsittelyyn on suunniteltu ankariin ympäristöihin, joita tarvitaan epitaksiaaliseen kasvuun ja kiekkojen käsittelyyn. Ultrapuhdas grafiittitelineemme on suunniteltu tukemaan kiekkoja ohutkalvopinnoitusvaiheiden aikana, kuten MOCVD ja epitaksisuskeptorit, pannukakku- tai satelliittialustoja. SiC-päällysteisellä kantoaineella on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet ja korkea lämmönjohtavuus. Tuotteemme ovat kustannustehokkaita ja tarjoavat hyvän hintaedun.

PSS-etsausalustan parametrit kiekkojen käsittelyyn

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC p-vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Raekoko	μm	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J kg-1 K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin Modulus	Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtavuus	(W/mK)	300