Koti > Tuotteet > Piikarbidipinnoitettu > PSS-etsausteline > PSS-etsausalusta kiekkojen käsittelyyn
PSS-etsausalusta kiekkojen käsittelyyn

PSS-etsausalusta kiekkojen käsittelyyn

Semicorexin PSS-etsaustelineet kiekkojen käsittelyyn on suunniteltu erityisesti vaativiin epitaksilaitesovelluksiin. Ultrapuhdas grafiittialustamme on ihanteellinen ohutkalvopinnoitusvaiheisiin, kuten MOCVD, epitaksisuskeptorit, pannukakku- tai satelliittialustoille sekä kiekkojen käsittelyyn, kuten etsaukseen. Kiekkojen käsittelyyn tarkoitetulla PSS-etsausalustalla on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet ja korkea lämmönjohtavuus. Tuotteemme ovat kustannustehokkaita ja niillä on hyvä hintaetu. Palvelemme monia Euroopan ja Amerikan markkinoita ja odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Semicorexin PSS-etsausalusta kiekkojen käsittelyyn on suunniteltu ankariin ympäristöihin, joita tarvitaan epitaksiaaliseen kasvuun ja kiekkojen käsittelyyn. Ultrapuhdas grafiittitelineemme on suunniteltu tukemaan kiekkoja ohutkalvopinnoitusvaiheiden aikana, kuten MOCVD ja epitaksisuskeptorit, pannukakku- tai satelliittialustoja. SiC-päällysteisellä kantoaineella on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet ja korkea lämmönjohtavuus. Tuotteemme ovat kustannustehokkaita ja tarjoavat hyvän hintaedun.


PSS-etsausalustan parametrit kiekkojen käsittelyyn

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot

SiC-CVD-ominaisuudet

Kristallirakenne

FCC p-vaihe

Tiheys

g/cm³

3.21

Kovuus

Vickersin kovuus

2500

Raekoko

μm

2~10

Kemiallinen puhtaus

%

99.99995

Lämpökapasiteetti

J kg-1 K-1

640

Sublimaatiolämpötila

2700

Feleksuaalinen voima

MPa (RT 4-piste)

415

Youngin Modulus

Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)

430

Lämpölaajeneminen (C.T.E)

10-6K-1

4.5

Lämmönjohtavuus

(W/mK)

300


PSS-etsausalustan ominaisuudet kiekkojen käsittelyyn

- Vältä irroitumista ja varmista, että kaikki pinnat ovat pinnoitettuja

Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys: Stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti

Korkea puhtaus: valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.

Korroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia.

Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.

- Saavuta paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio

- Takaa lämpöprofiilin tasaisuus

- Estä kontaminaatio tai epäpuhtauksien leviäminen





Hot Tags: PSS-etsausalusta kiekkojen käsittelyyn, Kiina, valmistajat, toimittajat, tehdas, räätälöity, irtotavarana, edistynyt, kestävä
Aiheeseen liittyvä luokka
Lähetä kysely
Ole hyvä ja lähetä kyselysi alla olevalla lomakkeella. Vastaamme sinulle 24 tunnin kuluessa.
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept