Semicorexin etsaustelineen pidike PSS-etsaukseen on suunniteltu vaativimpiin epitaksilaitteiden sovelluksiin. Äärimmäisen puhdas grafiittitelineemme kestää kovia ympäristöjä, korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. SiC-päällysteisellä kantoaineella on erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet, korkea lämmönjohtavuus ja se on kustannustehokas. Tuotteitamme käytetään laajasti monilla Euroopan ja Amerikan markkinoilla, ja odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksi Kiinassa.
Olemme Semicorexilla suunnitelleet PSS-etsaukseen tarkoitetun etsaustelineen pidikkeen erityisesti ankariin ympäristöihin, joita tarvitaan epitaksiaaliseen kasvuun ja kiekkojen käsittelyyn. Ultrapuhdas grafiittitelineemme on ihanteellinen ohutkalvopinnoitusvaiheisiin, kuten MOCVD, epitaksisuskeptorit, pannukakku- tai satelliittialustoille sekä kiekkojen käsittelyyn, kuten etsaukseen. SiC-päällysteisellä kantoaineella on korkea lämmön- ja korroosionkestävyys, erinomaiset lämmönjako-ominaisuudet ja korkea lämmönjohtavuus. Tuotteemme ovat kustannustehokkaita ja tarjoavat hyvän hintaedun.
Ota meihin yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja PSS-etsauksen etsaustelineen pidikkeestämme.
PSS-etsauksen etsaustelineen kannattimen parametrit
CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC p-vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
PSS-etsauksen etsaustelineen ominaisuudet
- Vältä irroitumista ja varmista, että kaikki pinnat ovat pinnoitettuja
Korkean lämpötilan hapettumiskestävyys: Stabiili korkeissa lämpötiloissa aina 1600°C asti
Korkea puhtaus: valmistettu CVD-kemiallisella höyrypinnoituksella korkean lämpötilan kloorausolosuhteissa.
Korroosionkestävyys: korkea kovuus, tiheä pinta ja hienojakoisia hiukkasia.
Korroosionkestävyys: happo, alkali, suola ja orgaaniset reagenssit.
- Saavuta paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio
- Takaa lämpöprofiilin tasaisuus
- Estä kontaminaatio tai epäpuhtauksien leviäminen