SiC-pinnoitetut grafiitti-MOCVD-suskeptorit

SiC-pinnoitetut grafiitti MOCVD-suskeptoritovat keskeisiä komponentteja, joita käytetään metalliorgaanisissa kemiallisissa höyrypinnoituslaitteissa (MOCVD), jotka vastaavat kiekkosubstraattien pitämisestä ja lämmittämisestä. Ylivoimaisen lämmönhallintansa, kemiallisen kestävyytensä ja mittastabiiliutensa ansiosta SiC-pinnoitettuja grafiitti-MOCVD-suskeptoreita pidetään optimaalisena vaihtoehtona korkealaatuiseen kiekkosubstraattien epitaksiaan.

Kiekkojen valmistuksessaMOCVDteknologiaa käytetään epitaksiaalisten kerrosten rakentamiseen kiekkosubstraattien pinnalle, valmistaen edistyneiden puolijohdelaitteiden valmistusta. Koska useat tekijät vaikuttavat epitaksiaalisten kerrosten kasvuun, kiekkosubstraatteja ei voida sijoittaa suoraan MOCVD-laitteistoon pinnoitusta varten. SiC-pinnoitettuja grafiitti-MOCVD-suskeptoreita tarvitaan pitämään ja lämmittämään kiekkosubstraatteja, mikä luo vakaat lämpöolosuhteet epitaksiaalisten kerrosten kasvulle. Siksi SiC-pinnoitettujen grafiitti-MOCVD-suskeptorien suorituskyky määrittää suoraan ohutkalvomateriaalien tasaisuuden ja puhtauden, mikä puolestaan ​​​​vaikuttaa kehittyneiden puolijohdelaitteiden valmistukseen.

Semicorex valitseeerittäin puhdasta grafiittiamatriisimateriaalina sen piikarbidilla päällystetyille grafiitti-MOCVD-suskeptoreille ja pinnoittaa sitten tasaisesti grafiittimatriisinpiikarbidipinnoitus CVD-tekniikalla. Perinteiseen tekniikkaan verrattuna CVD-tekniikka parantaa merkittävästi piikarbidipinnoitteen ja grafiittimatriisin välistä sidoslujuutta, jolloin saadaan tiheämpi pinnoite, jolla on vahvempi tarttuvuus. Piikarbidipinnoite säilyttää rakenteellisen eheytensä ja kemiallisen stabiilisuutensa jopa vaativassa korkean lämpötilan syövyttävässä ympäristössä pitkän ajan, mikä estää tehokkaasti syövyttävien kaasujen ja grafiittimatriisin välisen suoran kosketuksen. Tämä estää tehokkaasti grafiittimatriisin korroosion ja estää grafiittihiukkasia irtoamasta ja saastuttamasta kiekkosubstraatteja ja epitaksiaalikerroksia, mikä varmistaa puolijohdelaitteiden valmistuksen puhtauden ja tuoton.

Semicorexin SiC-pinnoitettujen grafiitti-MOCVD-suskeptorien edut

1. Erinomainen korroosionkestävyys

2. Korkea lämmönjohtavuus

3. Erinomainen lämmönkestävyys

4. Alhainen lämpölaajenemiskerroin

5. Poikkeuksellinen lämpöiskun kestävyys

6. Korkea pinnan sileys

7. Kestävä käyttöikä