Mikrohuokoinen keraaminen istukka

Semicorex mikrohuokoinen keraaminen istukka avainkomponenttina kiekkojen käsittelyssä puolijohteessa. Mikrohuokoisen keraamisen istukan ydinosana mikrohuokoisen keraamisen reiät ovat yleensä erittäin pieniä, huokoisuuden tulee olla noin 30-50%. Reiän halkaisijan on oltava mikrotasoinen, jopa nanotasoinen. Se voi taata työkappaleen kiinnittymisen tiukasti tyhjiöistukkaan, estää huonojen tekijöiden pinnan naarmuja, kolhuja jne. alipaineista johtuen. Tällä välin, kun alumiinioksidityhjiöistukkaa käytetään elektronisten komponenttien fotolitografiaprosessin aikana, se vaatii yleensä huokoistaAlumiinioksidikeramiikkaistukan on oltava musta, jotta vältetään istukasta heijastuvan hajavalon aiheuttamat häiriöt.

Koska rakennealumiinioksidityhjiöistukka on suhteellisen yksinkertainen, valmistus- ja ylläpitokustannukset ovat alhaiset, ja adsorptiovoimaa on myös suhteellisen helppo säätää, kiekko voi olla ehdottoman vakaa ja kiinteä käsittelyn aikana säätämällä tyhjiöpumpun työtilaa tai istukkaiden välistä etäisyyttä. Kuitenkin, kun kiekkoa käsitellään tyhjiössä tai matalapaineisessa ympäristössä, kuten kemiallisessa höyrysaostuksessa, paine-eroon perustuva tyhjiöistukka ei voi toimia, mikä rajoittaa sen sovelluksia. Lisäksi, kun kiekko imeytyy mikrohuokoisen keraamisen istukan pinnalle, se vääntyy ilmanpaineen takia, minkä jälkeen kiekko voi pomppia takaisin käsittelyn jälkeen, mikä johtaa leikkauspinnan aaltoilevaan pintaan, pinnan heikkenemiseen ja käsittelyn tarkkuuteen. Joten mikrohuokoista keraamista istukkaa käytetään tyypillisesti joidenkin litteiden ja hyvin suljettujen komponenttien, kuten metallilevyn, kiinnittämiseen tai kantamiseen. Ja puolijohdeprosessoinnissa sitä sovellettiin tavallisesti halvemmassa prosessissa.

Semicorexin mikrohuokoiset keraamiset istukat ovat erittäin tarkkoja tyhjiönpidätyskomponentteja, jotka on suunniteltu sovelluksiin, jotka vaativat tasaista puristusvoimaa, erinomaista tasaisuutta ja likaantumatonta toimintaa. OEM-laitteiden valmistajille ja edistyneille tuotantoympäristöille kehitetyt Semicorex-keraamiset istukat tarjoavat vakaan ja toistettavan työkappaleen kiinnityksen, kun mekaaninen kiinnitys tai tavanomaiset tyhjiöistukkamallit eivät riitä.

Tärkeimmät suorituskykyominaisuudet

Tasainen tyhjiön jakautuminen koko pinnan poikki

Toisin kuin perinteiset tyhjiöistukat, jotka perustuvat erillisiin tyhjiöreikiin, Semicorexin mikrohuokoisissa keraamisissa istukkaissa on täysin yhdistetty mikrohuokoinen rakenne jakaakseen tyhjiön tasaisesti istukan pinnalle.

Tämä suunnittelu tarjoaa:

Tasainen pitovoima koko kosketusalueella

Vähentynyt paikallinen jännitys ja työkappaleen muodonmuutos

Parempi vakaus ohuille, hauraille tai taipuisille alustoille

Tämän seurauksena nämä istukat soveltuvat erityisen hyvin piikiekkojen, lasipaneeleiden, safiirialustojen, keramiikan ja komposiittimateriaalien käsittelyyn.

Korkea tasaisuus ja mittavakaus

Semicorexin mikrohuokoiset keraamiset istukat valmistetaan käyttämällä tarkkoja sintraus- ja pintakäsittelyprosesseja korkean tasaisuuden ja pitkän aikavälin mittavakauden saavuttamiseksi.

Tyypillistä tasaisuutta voidaan säätää mikronitason toleranssien sisällä koosta ja sovelluksesta riippuen

Alhainen lämpölaajeneminen minimoi muodonmuutoksen lämpötilan vaihteluissa

Tämä varmistaa tasaisen paikannustarkkuuden hionta-, kiillotus-, tarkastus- ja litografiaan liittyvissä prosesseissa.

Puhdas, hiukkaseton toiminta

Kehittyneet keraamiset materiaalit ovat luonnostaan ​​ei-metallisia, ei-magneettisia ja korroosionkestäviä, joten Semicorexin mikrohuokoiset keraamiset istukat sopivat puhtaisiin ja herkkiin valmistusympäristöihin.

Keskeisiä etuja ovat:

Ei metallikontaminaatiota

Alhainen hiukkastuotanto

Yhteensopivuus puhdastilasovellusten kanssa

Nämä ominaisuudet tekevät niistä ihanteellisia puolijohteiden valmistukseen, optisten komponenttien valmistukseen ja tarkkuuselektroniikan käsittelyyn.

Materiaali- ja rakenneedut

Hallittu mikrohuokoinen keraaminen rakenne

Semicorexin mikrohuokoisten keraamisten istukkaiden huokoskoko ja huokoisuus on huolellisesti suunniteltu tasapainottamaan tyhjiön virtausnopeutta, pitovoimaa ja mekaanista lujuutta.

Tasainen huokosten jakautuminen tukee vakaata tyhjiön suorituskykyä

Mikrohuokoinen rakenne vähentää äkillistä painehäviötä käytön aikana

Parempi pitovarmuus verrattuna porattuihin tyhjiöistoihin

Tämä rakenne varmistaa tasaisen istukan suorituskyvyn jatkuvan käytön aikana.

Tyypilliset sovellukset

Semicorexin mikrohuokoisia keraamisia istukkaa käytetään laajalti:

Puolijohdekiekkojen hionta ja kiillotus

Lasin, safiirin ja keraamisen alustan käsittely

Optisten komponenttien valmistus

Tarkkuustyöstö- ja metrologiset järjestelmät

Niiden vakaa ja toistettava suorituskyky tekee niistä hyvin soveltuvia automatisoituihin, erittäin tarkkoihin tuotantolinjoihin.

FAQ – Semicorexin mikrohuokoinen keraaminen istukka

Mikä on mikrohuokoisen keraamisen istukan tärkein etu?

Se tarjoaa tasaisen alipainepitovoiman koko pinnalla minimoiden muodonmuutoksia ja parantaen prosessin vakautta.

Soveltuvatko Semicorex-keraamiset istukat ohuille kiekkoille?

Kyllä. Ne ovat erityisen tehokkaita ohuille, hauraille tai taipuisille työkappaleille, jotka vaativat tasaista paineen jakautumista.

Voidaanko Semicorexin mikrohuokoisia keraamisia istukkaita mukauttaa OEM-laitteisiin?

Kyllä. Mitat, huokoisuus ja pinnan tekniset tiedot voidaan räätälöidä OEM-kohtaisiin sovelluksiin.

Miten mikrohuokoiset keraamiset istukat huolletaan?

Säännöllinen siivous riittää yleensä. Keraaminen rakenne kestää kulumista, korroosiota ja kemiallista hajoamista.