Keraamiset piikarbidikiekkoveneet

Ensiluokkainen materiaalivalikoima

Semicorex-piikarbidikeramiikan erinomaiset ominaisuudetvohveliveneitäjohtuu korkealaatuisista raaka-aineista. Puolijohdelaatuisesta SiSiC-materiaalista valmistetuilla ja CVD SiC -pinnoitteella päällystetyillä piikarbidikeraamisilla kiekkoveneillä on seuraavat erinomaiset ominaisuudet.

1. Erittäin puhdas, ei metallien epäpuhtauksien vapautumista

Substraatin epäpuhtaus: ＜100 ppm

CVD SiC -pinnoitteen epäpuhtaus: ＜1 ppm

2. Erinomainen lämmönkestävyys

Piikarbidikeraamiset kiekkoveneet pystyvät toimimaan tasaisesti 1250 ℃:n korkeissa lämpötiloissa, ja ne tarjoavat minimaalisen muodonmuutoksen ja virumisenkestävyyden.

3. Korkea mekaaninen lujuus

Piikarbidisillä on korkea kovuus ja kulutuskestävyys, minkä ansiosta Semicorex-piikarbidikeraamiset kiekot kestävät naarmuja, hankausta ja vaurioita, joten ne toimivat hyvin pitkäaikaisessa käytössä ja kestävät vaurioita.

4. Poikkeuksellinen korroosionkestävyys

Koska piikarbidi kestää vahvojen happojen ja emästen aiheuttamaa korroosiota,  Semicorex-piikarbidikeraamiset kiekot voivat säilyttää rakenteellisen eheytensä ja toiminnallisen suorituskykynsä jopa erittäin syövyttävissä työolosuhteissa.

Optimoitu rakennesuunnittelu

Semicorex-piikarbidikeraamiset kiekot on suunniteltu panoskiekkojen käsittelyyn, niiden optimoitu rakenteellinen runko varmistaa vakaan eräkiekon tuen ja tasaisen prosessin vakauden jokaiselle kiekolle.

1,3-pylväinen pystytukirakenne

Semicorex-piikarbidikeraamisten kiekkojen pystysuora rakenne mahdollistaa niiden sopivuuden saumattomasti pystysuoraan uunisovelluksiin. Tämän rakenteen ansiosta emicorex-piikarbidikeraamiset kiekot voivat helpottaa prosessikaasujen tasaista kiertoa ja lämpöenergian tasaista jakautumista korkean lämpötilan uunissa.

2. Tasaisesti jakautuneet puristuspaikat

Semicorex-piikarbidi keraamiset kiekkoveneet on varustettu useilla tarkkuuskoneistetuilla rakoilla niiden tukipylväissä. Niiden tasaisin välimatkoin sijoitetut raon puristusvälit saavuttavat sopivan rakovälin, mikä mahdollistaa piikarbidikeraamiset kiekot kiinnittämään puolijohdekiekot tukevasti, mikä osaltaan parantaa kiekkojen lämpökäsittelyn tulosten yhtenäisyyttä.

Semicorex-piikarbidikeraamisia kiekkoveneitä, joilla on niin monia erinomaisia ​​suorituskykyä ja toimintoja, käytetään laajalti puolijohdekiekkojen valmistuksen ydinprosesseissa, kuten hapetuksessa, diffuusiossa, ioni-istutuksissa ja korkean lämpötilan hehkutuksessa.