Piikarbidi-kasettiveneet

Semicorexpiikarbidi kasettiveneitäovat välttämättömiä kantokomponentteja, joiden vakaa ja luja rakenne pitävät, siirtävät ja käsittelevät useita puolijohdekiekkoja turvallisesti ja tarkasti. Niitä käytetään laajalti erilaisissa korkean lämpötilan puolijohdeprosesseissa, jotta varmistetaan optimaalinen lämmön ja kaasun virtauksen jakautuminen tasaisten käsittelytulosten saavuttamiseksi.

Huolellisesti valittu raaka-aine

Täsmälleen puolijohdeluokan piikarbidijauheesta korkean lämpötilan sintrauksella valmistetuilla Semicorex-piikarbidi-kasettiveneillä on seuraavat erinomaiset ominaisuudet.

1. Erittäin puhdas:Substraatin epäpuhtauspitoisuus säädetään alle 100 PPM:n jaCVD piikarbidipinnoite voi saavuttaa alle 1 ppm.

2. Luotettava korroosionkestävyys:Piikarbidikeramiikka tarjoaa vahvan korroosionkestävyyden, ja se kestää useimpien happojen (kuten suolahapon, rikkihapon ja fluorivetyhapon), emästen (kuten natriumhydroksidin), liuottimien ja hapettavien väliaineiden aiheuttamaa korroosiota.

3. Poikkeuksellinen lämmönhallintakapasiteetti:Poikkeuksellisen lämmönkestävyyden ja alhaisen lämpölaajenemiskertoimen ansiosta piikarbidista valmistetut kasettiveneet voivat säilyttää kemialliset ominaisuutensa ja mekaanisen lujuutensa myös ollessaan alttiina pitkäaikaisille käyttöolosuhteille korkeassa, noin 1250 °C:n lämpötilassa.

Tarkasti suunniteltu rakenne

1. Vaakasuora runkorakenne:Semicorex-piikarbidikasettiveneiden vaakasuoran runkorakenteen ansiosta ne sopivat täydellisesti vaakasuoraan korkean lämpötilan uuniputkiin.

2. Tasaisesti sijoitetut lovet:Semicorex-piikarbidi-kasettiveneissä on lukuisia tasaisin väliajoin olevia lovea, ja ne voivat pitää kiekon tiukasti paikallaan, mikä voi merkittävästi estää ei-toivottuja naarmuja, hankausta ja kiekkojen siirtymisestä aiheutuvia vaurioita, mikä varmistaa tehokkaasti puolijohdeprosessin vakauden ja kiekkojen tuoton.

3. Monipaikkainen suunnittelu:Useat useiden kiekkojen kuljettamiseen suunnitellut aukot mahdollistavat Semicorex-piikarbidikasettiveneiden yhden erän käsittelyn tehokkuuden ja tuotannon yleisen tehokkuuden parantamisen.

4. Avoin arkkitehtuuri:Semicorex-piikarbidi-kasettiveneissä on harkittu avoin arkkitehtuuri, joka voi auttaa saavuttamaan tasaisen kaasun jakautumisen ja riittävän reaktiokontaktin, mikä minimoi tehokkaasti epäjohdonmukaiset prosessitulokset.