Räätälöity huokoinen keraaminen istukka on erinomainen työkappaleen kiinnitys- ja kiinnitysratkaisu, joka on suunniteltu yksinomaan puolijohteiden valmistukseen. Valitsemalla Semicorexin voit hyötyä luotettavasta laadusta, räätälöintipalveluista ja parantuneesta tuottavuudesta.
Mukautettuhuokoinen keraaminen istukkasisältää pohjan ja huokoisen keraamisen levyn. Tyhjiöjärjestelmään liitettäessä matalapaineinen ympäristö luodaan poistamalla ilma kiekon ja keramiikan väliltä. Tyhjiön alipaineessa kiekko kiinnittyy tiukasti istukan pintaan, mikä lopulta saavuttaa turvallisen ja vakaan kiinnityksen ja asennon.
Semicorex priorisoi jatkuvasti arvostettujen asiakkaidemme perustarpeet ja tarjoaa korkeatasoisia ja yksilöllisiä palveluita. Tarjoamme monipuolisen valikoiman vaihtoehtoja, jotka varmistavat, että lopulliset räätälöidyt huokoiset keraamiset istukat mukautuvat saumattomasti erimuotoisiin ja -kokoisiin työkappaleisiin, mikä parantaa tehokkaasti laitteiden toimintatehokkuutta ja tuotannon vakautta.
Tekniset tiedot:
|
Koko |
4 tuumaa/6 tuumaa/8 tuumaa/12 tuumaa |
|
Tasaisuus |
2μm/2μm/3μm/3μm tai enemmän |
|
Materiaali huokoista keraamista levyä |
Alumiinioksidi ja piikarbidi |
|
Huokoisen keraamisen huokoskoko |
5-50 μm |
|
Huokoisen keramiikan huokoisuus |
35–50 % |
|
Antistaattinen toiminto |
Valinnainen |
|
Pohjamateriaali |
Ruostumaton teräs, alumiiniseos ja keramiikka (piikarbidi) |
Tarkkuustyöstetty räätälöity huokoinen keraaminen istukka tarjoaa tasaisen adsorptiovoiman jakautumisen työkappaleen pinnalla, mikä estää tehokkaasti työkappaleen muodonmuutoksia tai epätasaisen voimankäytön aiheuttamia koneistusvirheitä. Lisäksi vahvan kemiallisen korroosionkestävyytensä ja poikkeuksellisen korkeiden lämpötilojen kestävyytensä ansiosta räätälöity huokoinen keraaminen istukka säilyttää vakaan pitkäaikaisen toiminnan haastavissa ja monimutkaisissa tuotantoympäristöissä.
Sovellusskenaariot:
1. Puolijohteiden valmistus: kiekkojen käsittely, kuten kiekkojen ohennus, kuutioiminen, hionta, kiillotus; kemiallinen höyrypinnoitus (CVD) ja fyysinen höyrypinnoitus (PVD); ioni-istutus.
2. Aurinkosähkökennojen valmistus: Piikiekkojen paloittelu, pinnoitus ja pakkausprosessit aurinkokennoissa.
3. Tarkkuustyöstö: Ohuiden, hauraiden tai erittäin tarkkojen työkappaleiden kiinnitys ja kiinnitys.