Yksikiteinen piitasoinen kohde

Yksikiteinen piitasomaista kohdetta käsitellään yleensä korkean tarkkuuden leikkauslaitteistolla Czochralski-menetelmällä valmistetuista yksikiteisistä piiharkista. Vastatakseen asiakkaiden tarpeiden monipuolisuuteen, monokiteinen piitasokohde voidaan leikata haluttuihin muotoihin arvostetuille asiakkaillesi. Tarkka hionta- ja kiillotuskäsittelytekniikka varmistaa kohdemateriaalin erinomaisen pinnan tasaisuuden ja takaa vahvan ohuiden kalvojen kerrostumisen.

Yksikiteinen piin tasokohde sijoitetaan tyhjiöreaktiokammioon yhdessä päällystettävän substraatin kanssa kalvopinnoitusprosessin aikana. Kun yksikiteistä piitasokohdetta pommitetaan korkeaenergisilla ioneilla, sen pinnalla olevat piiatomit ruiskutetaan pois. Nämä sputteroidut piiatomit sitten kulkeutuvat ja kerrostuvat substraatin pinnalle muodostaen lopulta piiohutkalvon.

Yksikiteinen piin tasokohde toimii materiaalilähteenä ohutkalvopinnoituksessa. Kaikki kiekon pinnalle kerrostuneet piiatomit ovat peräisin yksikiteisistä piin tasomaisista kohteista. Siksi monokiteisen piin tasomaisen kohteen laatu määrittää suoraan kerrostetun ohutkalvon puhtauden, tasaisuuden ja muut keskeiset ominaisuudet.

Erinomainen puhtausominaisuus antaa yksikiteisen piin tasomaisen kohteen kyvyn estää epäpuhtauksia saastuttamasta ohutta kalvoa. Tämä parantaa merkittävästi puolijohdelaitteiden sähköistä suorituskykyä. Ohutkalvojen yhtenäisyyden ja tarttuvuuden parantaminen hyötyy sen erittäin järjestäytyneestä kiderakenteesta, joka mahdollistaa sputteroituvien hiukkasten kulkeutumisen ja saostumisen kiekon pinnalle säännöllisemmin. Tasomaisen rakenteen suunnittelu soveltuu suuren alueen ja nopean sputteroinnin vaatimuksiin ja soveltuu laajamittaisiin tuotantoskenaarioihin, kuten puolijohdekiekoihin ja näyttöpaneeleihin.