Tyhjiöskyselyt

Semicorex-tyhjiöskyselyt ovat tarkkuussuunniteltuja ratkaisuja, jotka on suunniteltu tarjoamaan turvallisia, vakaita ja tehokkaita kiekkojen käsittelyä puolijohteiden valmistusprosesseissa. Näitä tyhjiötukikoita käytetään pääasiassa kiekkojen pitämiseen eri prosessointivaiheiden aikana, mikä varmistaa kiekkojen minimaaliset vauriot, maksimaalisen stabiilisuuden ja parannetun prosessin tehokkuuden. Tyhjiöskyselyt ovat saatavana useissa perusmateriaaleissa ja keraamisissa levyissä, jotka tarjoavat räätälöityjä ratkaisuja puolijohdeteollisuuden ja muiden tarkkuusteollisuuden monipuolisten tarpeiden tyydyttämiseksi.

Tärkeimmät ominaisuudet ja materiaalit

Semicorex tarjoaa erilaisia ​​perusmateriaalivaihtoehtoja tyhjiöpakkaukselle, mikä mahdollistaa räätälöinnin erityisten sovellusvaatimusten perusteella:

Perusmateriaalit:

• SUS430: Ruostumattomasta teräksestä valmistettu perusmateriaali, joka tunnetaan lujuudestaan ​​ja korroosionkestävyydestään, tarjoavat erinomaisen mekaanisen stabiilisuuden.
• Alumiiniseos 6061: Kevyt, mutta vahva, tämä alumiinipohja tarjoaa korkean korroosionkestävyyden ja on ihanteellinen sovelluksiin, joissa paino on huolenaihe.
• Alumiinioksidi -keraaminen (99% alumiinioksidi): Tarjoaa korkean lämpöstabiilisuuden ja kulumiskestävyyden. Se on erinomainen valinta tarkkaan ympäristöihin, joissa lämpövastus on kriittinen.
• Graniitti: Tunnettu jäykkyydestään ja erinomaisesta värähtelyn vaimennusominaisuuksistaan, graniitti tarjoaa erinomaisen vakauden ja tarkkuuden kiekkojen käsittelyn aikana.
• Piharbidi (sic) keraaminen: tarjoaa korkean kovuuden, lämmönjohtavuuden ja kemiallisen korroosion vastustuskyvyn. Se on täydellinen korkean lämpötilan ja aggressiiviseen ympäristöön.

Keraamiset levyt:

Alumiinioksidi (al₂o₃): Alumiinioksidilevyt tunnetaan korkeista sähköeristysominaisuuksistaan, kulutuskestävyydestään ja korkean lämpötilan stabiilisuudesta. Ne sopivat ympäristöihin, joissa minimaalinen saastuminen ja korkea suorituskyky ovat ratkaisevan tärkeitä.

Piekarbidi (sic): sic -keraamiset levyt tarjoavat poikkeuksellisen kovuuden, korkean lämmönjohtavuuden ja stabiilisuuden kohonneissa lämpötiloissa, mikä tekee niistä ihanteellisia edistyneisiin kiekkojen käsittelyprosesseihin puolijohdetuotannossa.

Tasaisuus tarkkuus ja materiaalivalinta

Istuimen pinnan tasaisuus on kriittinen tekijä varmistaakseen oikeiden kiekkojen käsittelyn ja optimaalisen prosessituloksen. Materiaalivalinta vaikuttaa tasaisuuden tarkkuuteen, samoin kuin tyhjiön istunnon kokonaispainoon ja lämpöominaisuuksiin.

Tasoitus tarkkuus:

Alumiiniseos 6061: tarjoaa erinomaisen tasaisuuden tarkkuudella, mikä tekee siitä suositun valinnan vähemmän vaativille kiekkojen käsittelytehtäville.

SUS430: Vaikka SUS430 tarjoaa kiinteän mekaanisen stabiilisuuden, se on hiukan alhaisempi tasaisuus kuin alumiiniseos.

Alumiinioksidi -keraaminen (99% alumiinioksidi): tarjoaa parhaan tasaisuuden tarkkuuden sen korkean ulottuvuuden stabiilisuuden vuoksi korkeissa lämpötiloissa ja mekaanisessa jännityksessä.

Graniitti: Stabiilisuudestaan ​​tunnettu graniitti tarjoaa tarkan tasaisuuden, etenkin värähteluherkissä ympäristöissä.

Piiharbidikeraaminen: tarjoaa erinomaisen tasaisuuden tarkkuuden ja on ihanteellinen erittäin tarkkaan kiekkojen käsittelyyn korkean lämpötilan sovelluksissa.

Painon näkökohdat

Tyhjiöpoikun paino on toinen tärkeä tekijä, etenkin sovelluksissa, joissa istunnon helppo käsittely ja manipulointi on keskeinen näkökohta.