Piikarbidin kammion kansi

Kiteen kasvatuksessa ja kiekkojen käsittelyssä käytettävän piikarbidikammion kannen on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex on suuri piikarbidilla päällystetyn grafiittisusseptorin valmistaja ja toimittaja Kiinassa. Tuotteillamme on hyvä hintaetu ja ne kattavat monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Silicon Carbide Chamber Kannen, jota käytetään yksikidekasvatus- tai MOCVD- tai kiekkojen käsittelyprosessissa, on kestettävä korkeita lämpötiloja ja kovaa kemiallista puhdistusta. Semicorex toimittaa erittäin puhdasta piikarbidilla (SiC) päällystettyä grafiittirakennetta, joka tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden, tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epi-kerroksen paksuuden ja kestävyyden saavuttamiseksi sekä kestävän kemiallisen kestävyyden. Ne kestävät haihtuvien esiastekaasujen, plasman ja korkean lämpötilan yhdistelmän.
Piikarbidikammion kansi on suunniteltu saavuttamaan paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio, mikä varmistaa lämpöprofiilin tasaisuuden. Tämä auttaa estämään kontaminaatiota tai epäpuhtauksien leviämistä varmistaen korkealaatuisen epitaksiaalisen kasvun kiekon sirulla.
Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja piikarbidikammion kannesta.

Piikarbidikammion kannen parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC p-vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Raekoko	μm	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J kg-1 K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin Modulus	Gpa (4 pt bend, 1300 ℃)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtavuus	(W/mK)	300