Loppuefektori kiekkojen käsittelyyn

Semicorex End Effector for Wafer Handling -levyt ovat mittatarkkoja ja lämpöstabiileja, ja niissä on sileä, hankausta kestävä CVD SiC -pinnoitekalvo, joka käsittelee kiekkoja turvallisesti vahingoittamatta laitteita tai tuottamatta hiukkaskontaminaatiota, joka voi siirtää puolijohdekiekkoja kiekkojen käsittelylaitteiston ja alustan välillä. tarkasti ja tehokkaasti. Erittäin puhdas piikarbidi (SiC) -pinnoitteemme End Effector kiekkojen käsittelyyn tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden, tasaisen lämpötasaisuuden tasaisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden saavuttamiseksi sekä kestävän kemiallisen kestävyyden.

Semicorexilla keskitymme tarjoamaan asiakkaillemme korkealaatuisia ja kustannustehokkaita tuotteita. End Effectorillamme kiekkojen käsittelyyn on hintaetu, ja sitä viedään monille Euroopan ja Amerikan markkinoille. Haluamme olla pitkäaikainen kumppanisi, joka toimittaa tasalaatuisia tuotteita ja poikkeuksellista asiakaspalvelua.

End Effectorin parametrit kiekkojen käsittelyä varten

End Effectorin ominaisuudet kiekkojen käsittelyyn

Erittäin puhdas piikarbidipinnoite käytetty CVD-menetelmää

Erinomainen lämmönkestävyys ja lämmön tasaisuus

Hieno SiC-kidepinnoitettu sileäksi pinnaksi

Korkea kestävyys kemiallista puhdistusta vastaan

Materiaali on suunniteltu siten, että halkeamia ja delaminaatiota ei tapahdu.