Semicorex on suuri piikarbidilla päällystetyn grafiittisusseptorin valmistaja ja toimittaja Kiinassa. Keskitymme puolijohdeteollisuuteen, kuten piikarbidikerroksiin ja epitaksipuolijohteisiin. Puolijohdelaitteiden kaasunottorenkaallamme on hyvä hintaetu ja se kattaa monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Semicorex-kaasun sisääntulorengas puolijohdelaitteistoille on SiC Coated, joka on tiheä, kulutusta kestävä piikarbidi (SiC) pinnoite. Sillä on korkeat korroosion- ja lämmönkestävyysominaisuudet sekä erinomainen lämmönjohtavuus. Levitämme piikarbidia ohuina kerroksina grafiitin päälle käyttämällä kemiallista höyrypinnoitusprosessia (CVD).
Kaasun sisääntulorengas puolijohdelaitteistoille on suunniteltu saavuttamaan paras laminaarinen kaasuvirtauskuvio, mikä varmistaa lämpöprofiilin tasaisuuden. Tämä auttaa estämään kontaminaatiota tai epäpuhtauksien leviämistä varmistaen korkealaatuisen epitaksiaalisen kasvun kiekon sirulla.
Ota yhteyttä jo tänään saadaksesi lisätietoja puolijohdelaitteiden kaasunottorenkaastamme.
Puolijohdelaitteiden kaasun sisääntulorenkaan parametrit
CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC p-vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
Puolijohdelaitteiden kaasun sisääntulorenkaan ominaisuudet
● Erittäin puhdas piikarbidipinnoitettu grafiitti
● Erinomainen lämmönkestävyys ja lämmön tasaisuus
● Hieno SiC-kidepinnoitettu sileäksi pinnaksi
● Kestää hyvin kemiallista puhdistusta
● Materiaali on suunniteltu siten, että halkeamia ja delaminaatiota ei tapahdu.