Robot End Effector

Semicorex on johtava itsenäisesti omistama piikarbidilla päällystetyn grafiitin, tarkkuuskoneistetun erittäin puhtaan grafiitin valmistaja, joka keskittyy puolijohteiden valmistuksen piikarbidipäällysteiseen grafiittiin, piikarbidikeramiikkaan ja MOCVP-alueisiin. Robot End Effectorillamme on hyvä hintaetu ja se kattaa monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.

Lähetä kysely

Tuotteen Kuvaus

Robot End Effector on robotin käsi, joka siirtää puolijohdekiekkoja kiekkojen prosessointilaitteiston ja alustan välillä. Robot End Effectorin on oltava mitoiltaan tarkka ja lämpöstabiili, samalla kun sillä on sileä, kulutusta kestävä pinta, jotta kiekkoja voidaan käsitellä turvallisesti vahingoittamatta laitteita tai tuottamatta hiukkaskontaminaatiota. Erittäin puhdas piikarbidi (SiC) -pinnoite Robot End Effector tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden, tasaisen lämpötasaisuuden ja yhtenäisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden sekä kestävän kemiallisen kestävyyden.

Robot End Effectorin parametrit

CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot
SiC-CVD-ominaisuudet
Kristallirakenne	FCC Î² -vaihe
Tiheys	g/cm³	3.21
Kovuus	Vickersin kovuus	2500
Jyvän koko	Î¼m	2~10
Kemiallinen puhtaus	%	99.99995
Lämpökapasiteetti	J·kg-1 ·K-1	640
Sublimaatiolämpötila	℃	2700
Feleksuaalinen voima	MPa (RT 4-piste)	415
Youngin moduuli	Gpa (4 pt bend, 1300â)	430
Lämpölaajeneminen (C.T.E)	10-6K-1	4.5
Lämmönjohtokyky	(W/mK)	300