Semicorex on johtava itsenäisesti omistama piikarbidilla päällystetyn grafiitin, tarkkuuskoneistetun erittäin puhtaan grafiitin valmistaja, joka keskittyy puolijohteiden valmistuksen piikarbidipäällysteiseen grafiittiin, piikarbidikeramiikkaan ja MOCVP-alueisiin. Robot End Effectorillamme on hyvä hintaetu ja se kattaa monet Euroopan ja Amerikan markkinat. Odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Robot End Effector on robotin käsi, joka siirtää puolijohdekiekkoja kiekkojen käsittelylaitteiston ja alustan asemien välillä. Robot End Effectorin on oltava mitoiltaan tarkka ja lämpöstabiili, samalla kun sillä on sileä, hankausta kestävä pinta, jotta kiekkoja voidaan käsitellä turvallisesti vahingoittamatta laitteita tai tuottamatta hiukkaskontaminaatiota. Erittäin puhdas piikarbidi (SiC) -pinnoite Robot End Effector tarjoaa erinomaisen lämmönkestävyyden, tasaisen lämpötasaisuuden ja yhtenäisen epikerroksen paksuuden ja kestävyyden sekä kestävän kemiallisen kestävyyden.
Robot End Effectorin parametrit
CVD-SIC-pinnoitteen tärkeimmät tiedot |
||
SiC-CVD-ominaisuudet |
||
Kristallirakenne |
FCC p-vaihe |
|
Tiheys |
g/cm³ |
3.21 |
Kovuus |
Vickersin kovuus |
2500 |
Raekoko |
μm |
2~10 |
Kemiallinen puhtaus |
% |
99.99995 |
Lämpökapasiteetti |
J kg-1 K-1 |
640 |
Sublimaatiolämpötila |
℃ |
2700 |
Feleksuaalinen voima |
MPa (RT 4-piste) |
415 |
Youngin Modulus |
Gpa (4 pt bend, 1300 ℃) |
430 |
Lämpölaajeneminen (C.T.E) |
10-6K-1 |
4.5 |
Lämmönjohtavuus |
(W/mK) |
300 |
Robot End Effectorin ominaisuudet
Erittäin puhdasta SiC-pinnoitettua grafiittia
Erinomainen lämmönkestävyys ja lämmön tasaisuus
Hieno SiC-kidepinnoitettu sileäksi pinnaksi
Korkea kestävyys kemiallista puhdistusta vastaan
Materiaali on suunniteltu siten, että halkeamia ja delaminaatiota ei tapahdu.