TaC-pinnoitusgrafiitti syntyy pinnoittamalla erittäin puhtaan grafiittisubstraatin pinta hienolla kerroksella tantaalikarbidia patentoidulla kemiallisella höyrypinnoitusprosessilla (CVD).
Tantaalikarbidi (TaC) on yhdiste, joka koostuu tantaalista ja hiilestä. Siinä on metallisen sähkönjohtavuus ja poikkeuksellisen korkea sulamispiste, mikä tekee siitä tulenkestävän keraamisen materiaalin, joka tunnetaan lujuudestaan, kovuudestaan sekä lämmön- ja kulutuskestävyydestään. Tantaalikarbidien sulamispiste on huipussaan noin 3880 °C puhtaudesta riippuen, ja sillä on yksi korkeimmista binääriyhdisteiden sulamispisteistä. Tämä tekee siitä houkuttelevan vaihtoehdon, kun korkeammat lämpötilavaatimukset ylittävät suorituskykyominaisuudet, joita käytetään yhdistepuolijohteiden epitaksiaalisissa prosesseissa, kuten MOCVD ja LPE.
Semicorex TaC Coatingin materiaalitiedot
Projektit |
Parametrit |
Tiheys |
14,3 (gm/cm³) |
Emissiokyky |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Kovuus (HK) |
2000 |
Resistanssi (ohm-cm) |
1×10-5 |
Lämpöstabiilisuus |
<2500 ℃ |
Grafiitin mitan muutos |
-10~-20um (viitearvo) |
Pinnoitteen paksuus |
≥20um tyypillinen arvo (35um±10um) |
|
|
Yllä olevat ovat tyypillisiä arvoja |
|
Semicorex-tantaalikarbidilla päällystetty rengas on tärkeä komponentti, jota käytetään puolijohteiden käsittelyssä. Se on suunniteltu erikoispinnoitteella, joka palvelee useita toimintoja grafiittikomponenttien tehokkuuden ja pitkäikäisyyden parantamiseksi puolijohdekoneissa. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC Coated Graphite Parts ovat tarkasti valmistettuja komponentteja, jotka on erityisesti suunniteltu kestämään puolijohdekäsittelyn vaativaa ympäristöä. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC Coating Graphite Cover edustaa huippuluokan ratkaisua lämpösovellusten alalla kiteiden kasvuun ja epitaksiaalisiin (epi) prosesseihin. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC Coating Ring on keskeinen komponentti monokiteiden kasvussa lämpökentässä. Tämä tarkasti ja innovatiivisesti muotoiltu erikoistunut ohjausrengas on ratkaisevassa roolissa monikiteisessä monokiteisen materiaalin tuotantoprosessissa. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC Coated Wafer Susceptor on keskeinen komponentti, jota käytetään metalliorgaanisissa kemiallisissa höyrypinnoitusuuneissa (MOCVD) puolijohteiden epitaksiaalisessa (epi) käsittelyssä. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kyselySemicorex TaC Tantaali Carbide Coated Plate on huippuluokan ratkaisu, joka on suunniteltu täyttämään puolijohteiden valmistuksen tiukat vaatimukset, erityisesti epitaksiaalisessa (epi) prosessointivaiheessa. Semicorex on sitoutunut tarjoamaan laadukkaita tuotteita kilpailukykyiseen hintaan, odotamme innolla tulevaa pitkäaikaiseksi kumppaniksesi Kiinassa.
Lue lisääLähetä kysely